Maschinengestelle aus Granit finden breite Anwendung in der Fertigungsindustrie, insbesondere in der Waferverarbeitung. Sie sind ein wesentlicher Bestandteil der Maschinen für die effiziente und präzise Bearbeitung von Wafern. Montage, Prüfung und Kalibrierung eines solchen Maschinengestells erfordern Sorgfalt und Fachkenntnisse. In diesem Artikel beschreiben wir Schritt für Schritt die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Granit-Maschinengestells für Waferverarbeitungsanlagen.
1. Montage des Granit-Maschinensockels
Der erste Schritt beim Zusammenbau eines Maschinenfundaments aus Granit besteht darin, alle benötigten Komponenten vorzubereiten und deren Qualität zu prüfen. Zu den Komponenten eines Granitmaschinenfundaments gehören unter anderem eine Granitplatte, ein Aluminiumrahmen, Nivellierfüße und Schrauben. Im Folgenden sind die einzelnen Schritte zum Zusammenbau eines Granitmaschinenfundaments beschrieben:
Schritt 1 - Legen Sie die Granitplatte auf eine ebene und saubere Oberfläche.
Schritt 2 - Befestigen Sie den Aluminiumrahmen mit Schrauben um die Granitplatte und achten Sie darauf, dass der Rahmen bündig mit den Kanten des Granits abschließt.
Schritt 3 - Bringen Sie die Nivellierfüße an der Unterseite des Aluminiumrahmens an, um sicherzustellen, dass die Maschinenbasis waagerecht steht.
Schritt 4 - Ziehen Sie alle Schrauben fest und vergewissern Sie sich, dass der Granit-Maschinensockel stabil und fest steht.
2. Testen des Granit-Maschinenfundaments
Nach der Montage des Granit-Maschinenfundaments muss dieses auf seine einwandfreie Funktion geprüft werden. Die Prüfung umfasst die Kontrolle von Ebenheit, Planheit und Stabilität. Im Folgenden sind die Schritte zur Prüfung des Granit-Maschinenfundaments aufgeführt:
Schritt 1 - Überprüfen Sie mithilfe einer Präzisionswasserwaage die Ebenheit des Maschinenfundaments, indem Sie die Wasserwaage an verschiedenen Stellen der Granitplatte ansetzen.
Schritt 2 – Überprüfen Sie die Ebenheit des Maschinenfundaments mithilfe einer Richtlatte oder einer Messplatte, indem Sie diese an verschiedenen Stellen der Granitplatte anlegen. Die Ebenheitstoleranz sollte weniger als 0,025 mm betragen.
Schritt 3 – Belasten Sie den Maschinensockel, um seine Stabilität zu prüfen. Die Belastung darf keine Verformung oder Bewegung des Maschinensockels verursachen.
3. Kalibrierung des Granitmaschinenfußes
Die Kalibrierung des Granit-Maschinenfußes umfasst die Justierung der Positioniergenauigkeit der Maschine und deren Ausrichtung mit anderen Maschinenkomponenten, um optimale Leistung zu gewährleisten. Hier sind die Schritte zur Kalibrierung des Granit-Maschinenfußes:
Schritt 1 - Installieren Sie die Messinstrumente, wie z. B. eine optische Plattform oder ein Laserinterferometersystem, auf dem Granit-Maschinensockel.
Schritt 2 - Führen Sie eine Reihe von Tests und Messungen durch, um die Positionierungsfehler und Abweichungen der Maschine zu ermitteln.
Schritt 3 - Passen Sie die Positionierungsparameter der Maschine an, um Fehler und Abweichungen zu minimieren.
Schritt 4 - Führen Sie eine abschließende Überprüfung durch, um sicherzustellen, dass die Maschinenbasis korrekt kalibriert ist und keine Messfehler oder Abweichungen vorliegen.
Abschluss
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Montage, Prüfung und Kalibrierung einer Granit-Maschinenbasis für Waferbearbeitungsprodukte entscheidend für die Erzielung hoher Präzision und Genauigkeit im Fertigungsprozess ist. Mit den erforderlichen Komponenten, Werkzeugen und Fachkenntnissen gewährleistet die Befolgung der oben beschriebenen Schritte die korrekte Montage, Prüfung und Kalibrierung der Granit-Maschinenbasis. Eine fachgerecht konstruierte und kalibrierte Granit-Maschinenbasis liefert effiziente und präzise Ergebnisse bei der Waferbearbeitung.
Veröffentlichungsdatum: 07.11.2023