Maschinenbetten aus Granit finden aufgrund ihrer hervorragenden Stabilität, Steifigkeit und Schwingungsdämpfung breite Anwendung in Anlagen zur Waferbearbeitung. Montage, Prüfung und Kalibrierung eines solchen Maschinenbetts erfordern ein präzises und sorgfältiges Vorgehen, um eine genaue und zuverlässige Funktion zu gewährleisten. In diesem Artikel führen wir Sie Schritt für Schritt durch die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Granit-Maschinenbetts für Anlagen zur Waferbearbeitung.
Schritt 1: Überprüfung und Vorbereitung der Granit-Oberflächenplatte
Im ersten Schritt muss die Granit-Oberflächenplatte auf Mängel oder Beschädigungen überprüft werden. Untersuchen Sie die Platte auf Risse, Absplitterungen oder Kratzer und stellen Sie sicher, dass sie sauber und frei von Verunreinigungen ist. Sollten Sie Beschädigungen oder Mängel feststellen, muss die Platte repariert oder ausgetauscht werden.
Nachdem die Messplatte geprüft wurde, muss mit einer Wasserwaage sichergestellt werden, dass sie absolut plan ist. Sollten Abweichungen von der Planheit festgestellt werden, müssen diese mithilfe von Unterlegscheiben oder anderen Ausgleichsmaßnahmen korrigiert werden.
Schritt 2: Positionierung des Maschinenbetts aus Granit
Im zweiten Schritt wird der Maschinentisch aus Granit in seine endgültige Position gebracht. Achten Sie darauf, dass der Tisch waagerecht und stabil steht und richten Sie ihn mit den übrigen Anlagen zur Waferbearbeitung aus. Der Maschinentisch aus Granit muss fest fixiert werden, um jegliche Bewegung während des Betriebs zu verhindern.
Schritt 3: Anbringen der Komponenten der Wafer-Bearbeitungsanlage
Im dritten Schritt werden die Komponenten der Waferbearbeitungsanlage auf dem Granitmaschinentisch befestigt. Dies sollte sorgfältig gemäß den Anweisungen des Herstellers erfolgen, wobei darauf zu achten ist, dass alle Komponenten fest sitzen.
Schritt 4: Prüfung des Maschinenbetts aus Granit auf Stabilität und Schwingungsdämpfung
Nachdem alle Komponenten der Waferbearbeitungsanlage montiert sind, müssen die Stabilität und die Schwingungsdämpfungseigenschaften des Granitmaschinenbetts geprüft werden. Dazu wird die Waferbearbeitungsanlage an einen Schwingungsanalysator angeschlossen und einer Reihe von Tests unterzogen.
Diese Tests helfen dabei, etwaige Vibrationsquellen und die Amplitude der Vibrationen zu ermitteln, die das Maschinenbett aus Granit absorbieren kann. Alle dabei festgestellten Probleme sollten behoben und das Vibrationsdämpfungssystem des Maschinenbetts entsprechend angepasst werden.
Schritt 5: Kalibrierung des Maschinenbetts der Granitbearbeitungsanlage
Nachdem die Stabilität und die Schwingungsdämpfungseigenschaften des Maschinenbetts aus Granit geprüft und eingestellt wurden, muss das Bett kalibriert werden, um eine präzise Nutzung zu gewährleisten. Dazu wird ein hochpräzises Messsystem verwendet, um die Ebenheit der Messplatte zu bestimmen und das Maschinenbett entsprechend auszurichten.
Abschluss
Die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Maschinenbetts aus Granit erfordert ein präzises und sorgfältiges Vorgehen, um eine genaue und zuverlässige Funktion zu gewährleisten. Durch die Einhaltung dieser Schritte stellen Sie sicher, dass Ihre Waferbearbeitungsanlagen auf einem stabilen und robusten Fundament stehen, was für höchste Präzision und zuverlässige Leistung unerlässlich ist.
Veröffentlichungsdatum: 29. Dezember 2023