Granit-Maschinenfundamente werden aufgrund ihrer hervorragenden Stabilität, ihrer vibrationsdämpfenden Eigenschaften und ihrer thermischen Beständigkeit häufig in der Halbleiterwafer-Bearbeitung eingesetzt. Um die Vorteile dieses hochwertigen Materials optimal zu nutzen und seine Langlebigkeit zu gewährleisten, sollten die folgenden Tipps für die sachgemäße Verwendung und Wartung beachtet werden.
Zunächst ist es wichtig, die Granitbasis der Maschine sauber zu halten und den Kontakt mit scheuernden oder ätzenden Substanzen zu vermeiden. Wischen Sie die Oberfläche regelmäßig mit einem weichen, feuchten Tuch und einem milden Reinigungsmittel ab. Verwenden Sie keine Lösungsmittel, Säuren oder aggressive Reinigungsmittel, da diese die Steinoberfläche beschädigen können.
Zweitens ist sicherzustellen, dass der Maschinensockel ordnungsgemäß installiert und waagerecht ausgerichtet ist, um unnötige Bewegungen oder Vibrationen zu vermeiden. Dies kann durch Überprüfung der Ausrichtung des Sockels mit einer Präzisionswasserwaage und gegebenenfalls durch Justierung der Nivellierfüße erfolgen.
Drittens ist es wichtig, die Temperaturbedingungen am Maschinensockel zu beachten. Granit hat zwar einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und ist temperaturschockbeständig, kann aber dennoch durch extreme Temperaturschwankungen beeinträchtigt werden. Vermeiden Sie daher Standorte mit direkter Sonneneinstrahlung oder starken Temperaturschwankungen.
Viertens: Vermeiden Sie es, schwere Lasten oder Stoßkräfte auf den Granitsockel der Maschine einzuwirken. Obwohl es sich um ein sehr robustes Material handelt, kann es durch übermäßige Krafteinwirkung beschädigt werden. Sollten schwere Lasten auf der Maschine platziert werden müssen, verwenden Sie eine Schutzschicht, um das Gewicht gleichmäßig zu verteilen und punktuelle Belastungen zu vermeiden.
Abschließend ist darauf zu achten, dass alle Reparaturen oder Änderungen am Maschinensockel von einem qualifizierten Techniker mit Erfahrung in der Granitbearbeitung durchgeführt werden. Unsachgemäße Reparaturen oder Änderungen können die Stabilität und Leistungsfähigkeit des Sockels beeinträchtigen.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass für die effektive Nutzung und Instandhaltung einer Granit-Maschinenbasis für Waferbearbeitungsanlagen folgende Punkte wichtig sind: Sauberkeit, korrekte Installation und Ausrichtung, Vermeidung extremer Temperaturen, starker Belastungen und Stöße sowie fachgerechte Durchführung von Reparaturen und Modifikationen. Bei entsprechender Pflege und Aufmerksamkeit kann eine Granit-Maschinenbasis ein langlebiges und zuverlässiges Bauteil von Waferbearbeitungssystemen sein.
Veröffentlichungsdatum: 07.11.2023