Granit ist ein gängiges Material, das aufgrund seiner Haltbarkeit, Festigkeit und Verschleißfestigkeit in verschiedenen Branchen eingesetzt wird. Granit wird unter anderem in der Halbleiterherstellung als Substrat für die Produktion von Mikrochips, integrierten Schaltkreisen und anderen elektronischen Bauteilen verwendet.
Ein wesentlicher Bestandteil der Halbleiterherstellung ist die Fotolithografie. Dabei werden mithilfe von Licht Muster auf Siliziumwafer übertragen. Granitplatten dienen dabei als Unterlage, auf die der zur Musterübertragung verwendete Dünnfilm aufgetragen wird. Granit wird in der Fotolithografie bevorzugt, da seine natürliche Ebenheit gewährleistet, dass der auf die Oberfläche aufgetragene Dünnfilm glatt und gleichmäßig ist. Ein glattes und gleichmäßiges Auftragen des Dünnfilms ist entscheidend für die Genauigkeit und Präzision der auf dem Wafer erzeugten Muster.
Granit wird auch bei der Herstellung von Reinraum-Werkbänken und -Geräten verwendet. Bei der Herstellung von Halbleitern ist Sauberkeit von größter Bedeutung, da selbst kleinste Partikel oder Staub die Komponenten beschädigen können. Daher müssen die in Reinräumen verwendeten Materialien fusselfrei, nicht reaktiv und leicht zu reinigen sein. Granit erfüllt diese Anforderungen und ist daher ein ideales Material für die Herstellung von Werkbänken und anderen Geräten im Reinraum.
Ein weiteres Anwendungsgebiet von Granit in der Halbleiterfertigung ist der Bau von Vakuumsystemen. Das Vakuumsystem ist im Fertigungsprozess unverzichtbar, da es eine Niederdruckumgebung erzeugt, die die hohe Qualität der produzierten Halbleiterbauteile gewährleistet. Die hohe Festigkeit und der niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient von Granit machen ihn zu einem zuverlässigen Material für den Bau von Vakuumkammern.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit aufgrund seiner außergewöhnlichen Eigenschaften wie Haltbarkeit, Festigkeit und thermischer Stabilität ein wertvolles Material in der Halbleiterfertigung ist. Seine Ebenheit und natürliche Reinheit machen Granit zu einem idealen Werkstoff für die Fotolithografie, Reinraumwerkbänke und Vakuumsysteme. Der Einsatz von Granit in der Halbleiterindustrie zeugt von seiner Vielseitigkeit und Anpassungsfähigkeit an verschiedene Anwendungen und beweist, dass er nicht nur ein dekoratives Material, sondern auch ein unverzichtbarer Bestandteil verschiedener industrieller Prozesse ist.
Veröffentlichungszeit: 05.12.2023