Granit eignet sich aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften wie hoher Steifigkeit, geringer Wärmeausdehnung und hervorragender Schwingungsdämpfung hervorragend für Maschinensockel, insbesondere für Wafer-Verarbeitungsanlagen. Während traditionell Metall als Material für Maschinensockel verwendet wird, hat sich Granit aus folgenden Gründen als überlegene Alternative herausgestellt:
Hohe Steifigkeit: Ein Maschinensockel muss starr und stabil sein, um Vibrationen zu minimieren und die Genauigkeit bei der Waferverarbeitung zu gewährleisten. Granit hat ein hohes Steifigkeits-Gewichts-Verhältnis, was ihn extrem steif und stabil macht, wodurch Vibrationen reduziert und eine hervorragende Bearbeitungsgenauigkeit gewährleistet wird.
Geringe Wärmeausdehnung: Temperaturschwankungen können dazu führen, dass sich Metall ausdehnt oder zusammenzieht. Dies führt zu Maßänderungen im Maschinensockel und damit zu Ungenauigkeiten bei der Bearbeitung. Granit hingegen hat einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, d. h., es dehnt sich bei Temperaturschwankungen kaum aus oder zieht sich nicht stark zusammen. Dies gewährleistet Stabilität und Genauigkeit bei der Bearbeitung.
Hervorragende Schwingungsdämpfung: Vibrationen sind ein häufiges Problem bei Werkzeugmaschinen und können zu Maßfehlern, Oberflächenfehlern und sogar vorzeitigem Verschleiß der Maschinenkomponenten führen. Granit ist für seine hervorragenden Schwingungsdämpfungseigenschaften bekannt. Das bedeutet, dass er Vibrationen absorbieren und dämpfen kann und so eine reibungslose und präzise Verarbeitung gewährleistet.
Chemische Beständigkeit: Bei der Waferverarbeitung kommen verschiedene Chemikalien zum Einsatz. Der Kontakt mit diesen Chemikalien kann mit der Zeit zu Korrosion und Verschleiß des Maschinenunterbaus führen. Granit ist äußerst beständig gegen chemische Korrosion und daher ein sicheres und langlebiges Material für Maschinenunterbauten in Waferverarbeitungsanlagen.
Geringer Wartungsaufwand: Granit erfordert nur minimalen Wartungsaufwand, ist leicht zu reinigen und korrodiert oder rostet nicht wie Metall. Dies führt zu geringeren Wartungskosten und weniger Ausfallzeiten der Geräte.
Insgesamt bietet die Wahl von Granit gegenüber Metall als Maschinenbasis für Waferverarbeitungsanlagen mehrere Vorteile, darunter hohe Steifigkeit, geringe Wärmeausdehnung, hervorragende Schwingungsdämpfung, ausgezeichnete chemische Beständigkeit und geringer Wartungsaufwand. Diese Vorteile gewährleisten die Stabilität, Genauigkeit und Langlebigkeit der Maschinenbasis, was zu einer hochwertigen Waferverarbeitung und gesteigerter Produktivität führt.
Veröffentlichungszeit: 28. Dezember 2023