Die Halbleiterindustrie arbeitet mit einer Präzision, die die Grenzen menschlicher Vorstellungskraft sprengt. Im Zentrum der Qualitätskontrolle dieser Branche – dem letzten, entscheidenden Schritt, bevor ein Chip marktreif ist – steht ein scheinbar einfaches Material: Granit. Präzisionsplattformen aus Granit sind die optimale Lösung für die Inspektion von Halbleiterchips, eine Tatsache, die Außenstehende überraschen mag. Wir von der ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) kennen diese Zusammenhänge genau. Unsere Expertise in der Herstellung von hochpräzisen Granitkomponenten und Messwerkzeugen hat uns zu einem wichtigen Partner einiger der weltweit führenden Halbleiter- und Messtechnikunternehmen gemacht. Die Verwendung von Granit für diese kritische Anwendung ist keine Frage der Tradition, sondern basiert auf reiner Physik und Ingenieurskunst. Es geht darum, einzigartige und anspruchsvolle Anforderungen zu erfüllen, die kein anderes Material so effektiv erfüllen kann.
Die unnachgiebige Forderung nach Stabilität
Die Inspektion von Halbleiterchips beschränkt sich nicht nur auf die Suche nach Defekten; es geht darum, die perfekte Ausbildung mikroskopischer Strukturen, oft im Nanometerbereich, zu überprüfen. Dieser Prozess erfordert hochentwickelte Geräte wie optische Inspektionssysteme (AOI) und industrielle Computertomographen (CT), die während des Scans absolut stabil bleiben müssen. Jegliche Vibrationen, Wärmeausdehnung oder strukturelle Abweichungen können Fehler verursachen und zu falsch-positiven Ergebnissen oder, schlimmer noch, zum Übersehen von Defekten führen.
Hier spielt Granit seine Stärken voll aus. Im Gegensatz zu Metall, das sich bei Temperaturänderungen stark ausdehnt und zusammenzieht, weist Granit einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf. Unser ZHHIMG® Schwarzer Granit hat eine Dichte von ca. 3100 kg/m³ und bietet dadurch eine außergewöhnliche thermische Stabilität. Das bedeutet, dass eine Granitplattform ihre Form und Ebenheit auch bei leichten Temperaturschwankungen beibehält. In einer klimakontrollierten Werkstatt wie unserer 10.000 m² großen Anlage, in der die Temperatur mit höchster Präzision gehalten wird, ist die Stabilität von Granit unübertroffen.
Darüber hinaus sind die hervorragenden Dämpfungseigenschaften von Granit unerlässlich. Er absorbiert und dämpft mechanische Schwingungen auf natürliche Weise und verhindert so deren Übertragung auf die empfindlichen Prüfgeräte. In einer Produktionsstätte mit zahlreichen Maschinen ist diese Schwingungsdämpfung entscheidend für die Genauigkeit der Messungen. Unsere Werkstätten sind genau darauf ausgelegt und verfügen über extra dicke Betonböden und Antivibrationsrinnen, um ein Arbeitsumfeld zu schaffen, in dem unsere Fachkräfte Präzision im Nanometerbereich erreichen können.
Die Suche nach absoluter Flachheit
Damit ein Chip-Inspektionssystem funktioniert, muss seine Basis so eben wie möglich sein. Der Begriff „ebene Oberfläche“ ist in diesem Zusammenhang nicht visuell, sondern mathematisch definiert und wird mit Instrumenten wie Renishaw-Laserinterferometern und elektronischen Wasserwaagen von Swiss Wyler gemessen. Ziel eines Chip-Inspektors ist es, die Ebenheit eines Chips auf wenige Mikrometer oder sogar Nanometer genau zu messen. Dafür muss die Plattform selbst um Größenordnungen ebener sein.
Granit ist ein Material, das sich durch unsere speziellen Handläpptechniken auf eine nahezu unerreichte Ebenheit schleifen lässt. Unsere erfahrenen Fachkräfte, viele mit über 30 Jahren Berufserfahrung, besitzen ein außergewöhnliches Tastgefühl, das es ihnen ermöglicht, Abweichungen von nur wenigen Mikrometern zu erfühlen. Diese menschliche Präzision, kombiniert mit unserer hochmodernen Ausrüstung, erlaubt es uns, Granit-Oberflächenplatten mit einer Ebenheit im Nanometerbereich herzustellen. Dadurch eignen sie sich ideal als Referenzfläche für Kalibrierung und Inspektion. Dies ist die Grundlage für präzise Halbleiterprüfung.
Die besonderen Anforderungen der Halbleiterindustrie erfüllen
Die Halbleiterindustrie stellt neben Stabilität und Planheit auch spezifische Anforderungen. So nutzen beispielsweise viele Inspektionssysteme Luftlager für eine reibungslose Bewegung. Granit eignet sich aufgrund seiner inhärenten Steifigkeit und Porosität, die einen feinen, gleichmäßigen Luftstrom ermöglicht, hervorragend als Material für Luftlagerführungen. Unsere Granit-Luftlager werden individuell gefertigt, um eine reibungslose und präzise Bewegung zu gewährleisten, die für Hochgeschwindigkeits- und Hochgenauigkeitsinspektionen unerlässlich ist.
Unser ZHHIMG® Black Granite ist zudem nichtmagnetisch und nichtleitend, was für empfindliche elektronische Bauteile von entscheidender Bedeutung ist. Es stört weder die elektromagnetischen Felder der Testgeräte noch den Chip selbst. Diese Neutralität ist ein Merkmal, das viele Metallplattformen schlichtweg nicht bieten können.
Bei ZHHIMG® verkaufen wir nicht einfach nur Granit. Wir schaffen die Grundlage für modernste Technologien. Unser Versprechen an unsere Kunden: Lösungen, die transparent, fair und fehlerfrei sind. Wir arbeiten eng mit unseren Partnern zusammen, darunter Branchengrößen wie Samsung und Metrologieinstitute, um sicherzustellen, dass unsere Produkte nicht nur deren Spezifikationen erfüllen, sondern auch zur Weiterentwicklung ihrer Technologien beitragen. In der anspruchsvollen Halbleiterfertigung sind die Präzisions-Granitplattformen von ZHHIMG® eine unerschütterliche Kraft, die die Stabilität und Genauigkeit bietet, die Innovationen von morgen ermöglichen.
Veröffentlichungsdatum: 28. September 2025