Die Granitplattform dient als Referenzwerkzeug für präzise Messungen und Bearbeitungen. Ihre Genauigkeit wirkt sich direkt auf die Produktionsqualität aus. Der folgende systematische Wartungsplan umfasst Umweltkontrolle, tägliche Wartung und professionelle Kalibrierung, um sicherzustellen, dass die Plattform langfristig eine Genauigkeit im Nanometerbereich beibehält.
1. Umweltkontrolle: Bauen Sie eine präzise Schutzbarriere
Temperatur- und Feuchtigkeitsmanagement
Die Arbeitstemperatur muss bei 20 ± 1 °C stabilisiert werden. Jede Schwankung von 1 °C führt zu einer thermischen Verformung der Granitplattform um 0,5–1 μm/m. Um zu verhindern, dass die Klimaanlagen direkt auf die Plattform blasen, kann in der Werkstatt ein Konstanttemperatursystem installiert werden.
Die Luftfeuchtigkeit sollte zwischen 40 % und 60 % liegen. Zu hohe Luftfeuchtigkeit kann leicht zu Rost an Metallteilen führen, während zu niedrige Luftfeuchtigkeit zu statischer Elektrizität und damit zu Messstörungen führen kann.
Schwingungsisolierung
Die Plattform sollte von Vibrationsquellen wie Stanzmaschinen und Fräsmaschinen ferngehalten werden. Es wird empfohlen, einen Abstand von mehr als 3 Metern zu Vibrationsgeräten einzuhalten.
Wenn Vibrationen nicht vermieden werden können, können an der Unterseite der Plattform Luftfeder-Stoßdämpfer installiert werden, um die Auswirkungen von Umgebungsvibrationen auf die Ebenheit der Plattform zu verringern (wodurch externe Vibrationen um mehr als 80 % reduziert werden können).
2. Tägliche Wartung: Sorgfältige Kontrolle von der Reinigung bis zum Schutz
Oberflächenreinigungsspezifikation
Staubentfernung: Wischen Sie die Oberfläche täglich mit Hirschleder oder einem fusselfreien Tuch in die gleiche Richtung ab, um zu verhindern, dass Staubpartikel (≥ 5 μm) die Plattform zerkratzen. Hartnäckige Flecken können vorsichtig mit wasserfreiem Ethanol (Reinheit ≥ 99,7 %) abgewischt werden. Starke Lösungsmittel wie Aceton dürfen nicht verwendet werden.
Entfetten: Bei Kontakt mit Ölflecken mit einem verdünnten Neutralreiniger abwischen, anschließend mit deionisiertem Wasser abspülen und an der Luft trocknen lassen, um zu verhindern, dass Mineralöl in die winzigen Poren der Plattform eindringt.
Ladungs- und Kollisionsschutz
Die Tragfähigkeit der Plattform sollte innerhalb von 70 % der Nennlast kontrolliert werden (beispielsweise wird für eine 1000 kg schwere Plattform eine Last von ≤ 700 kg empfohlen), um dauerhafte Verformungen durch lokale Überlastung zu vermeiden.
Das Schlagen von Werkstücken auf der Plattform ist strengstens verboten. Tragen Sie beim Umgang mit Werkzeugen weiche Handschuhe, um zu verhindern, dass scharfe Gegenstände die Oberfläche zerkratzen (Kratzer mit einer Tiefe von mehr als 20 μm beeinträchtigen die Messung des reflektierten Lichtwegs).
3. Professionelle Kalibrierung: Der Kern der wissenschaftlichen Aufrechterhaltung der Genauigkeit
Einstellung des Kalibrierzyklus
Herkömmliche Anwendungsszenarien: Einmal pro Quartal kalibrieren und mithilfe eines Laserinterferometers die Ebenheit ermitteln (mit einer Genauigkeit von ±0,5 μm/m).
Bei häufigem Gebrauch oder in rauen Umgebungen: Monatliche Kalibrierung mit Schwerpunkt auf der Überwachung temperaturempfindlicher Bereiche (wie etwa der Kante der Plattform in der Nähe von Wärmequellen).
Nachkalibrierungsverarbeitung
Bei Abweichungen in der Ebenheit (z. B. > ±1 μm/m) muss ein professioneller Techniker die Ebenheit mit W1.5-Mikropulver schleifen und reparieren. Das Selbstschleifen mit Schleifpapier ist strengstens untersagt.
Nach der Kalibrierung sollten die Daten aufgezeichnet und archiviert werden und es sollte eine Dämpfungskurve für die Plattformgenauigkeit erstellt werden, um den Wartungsbedarf im Voraus vorherzusagen.
4. Lagerung und Transport: Vermeiden Sie versteckte Präzisionsverluste
Wichtige Punkte zur Langzeitlagerung
Bei der Lagerung sollte es mit einer feuchtigkeits- und staubdichten Abdeckung abgedeckt werden. Der Boden sollte durch drei Punkte gestützt werden (der Stützpunkt befindet sich bei 2/9 der Plattformlänge), um eine durch die Schwerkraft verursachte Biegeverformung zu vermeiden (eine 1-Meter-Plattform kann aufgrund einer langfristigen Einzelpunktunterstützung um 0,3 μm durchhängen).
Verschieben Sie die Position der Plattformstützpunkte regelmäßig (monatlich), um langfristige lokale Druckbelastungen zu vermeiden.
Transportschutzplan
Kurzstreckentransport: Mit stoßdämpfendem Schaumstoff umwickeln, in einem starren Rahmen befestigen und die Beschleunigung unter 2 g halten.
Langstreckentransport: Das Gerät muss vakuumverpackt und mit trockenem Stickstoff gefüllt werden. Nach der Ankunft sollte es vor dem Auspacken 24 Stunden lang stehen bleiben, bis sich die Temperatur ausgeglichen hat, um zu verhindern, dass Kondenswasser die Genauigkeit beeinträchtigt.
5. Fehlervorhersage: Techniken zur Früherkennung von Problemen
Visuelle Prüfung: Beobachten Sie die Oberfläche regelmäßig mit einer 40-fachen Lupe. Sind durchgehende Kratzer oder ein deutlicher Glanzverlust zu erkennen, kann dies auf eine nachlassende Genauigkeit hinweisen.
Geräuscherkennung: Klopfen Sie leicht auf die Plattform. Wenn der Ton heiser wird (normalerweise sollte er klar sein), können Mikrorisse im Inneren vorhanden sein. Beenden Sie die Verwendung zur Erkennung sofort.
Durch dieses Wartungssystem kann die ZHHIMG®-Granitplattform 10 Jahre lang eine Ebenheit von ±1 μm/m aufrechterhalten, was mehr als dreimal länger ist als die Präzisionslebensdauer von Plattformen, die nicht ordnungsgemäß gewartet werden. Die Praxis hat gezeigt, dass sich nach der Einführung dieser Lösung in einer Halbleiterfabrik die Häufigkeit der Plattformkalibrierung um 50 % reduzierte und die jährlichen Wartungskosten um mehr als 150.000 Yuan einsparten.
Veröffentlichungszeit: 18. Juni 2025