Die Granitplattform dient als Referenzinstrument für präzise Messungen und Bearbeitungen; ihre Genauigkeit beeinflusst die Produktionsqualität unmittelbar. Im Folgenden wird ein systematischer Wartungsplan vorgestellt, der Umgebungsbedingungen, tägliche Wartung und professionelle Kalibrierung umfasst, um die Genauigkeit der Plattform im Nanometerbereich langfristig zu gewährleisten.
1. Umweltschutz: Aufbau einer präzisen Schutzbarriere
Temperatur- und Feuchtigkeitsmanagement
Die Umgebungstemperatur muss bei 20 ± 1 °C stabilisiert werden. Jede Temperaturschwankung um 1 °C führt zu einer thermischen Verformung der Granitplattform von 0,5–1 μm/m. Um zu verhindern, dass die Klimaanlage direkt auf die Plattform bläst, kann in der Werkstatt ein System zur Temperaturkonstanthaltung installiert werden.
Die Luftfeuchtigkeit sollte zwischen 40 % und 60 % liegen. Zu hohe Luftfeuchtigkeit kann leicht zu Rost an Metallteilen führen, während zu niedrige Luftfeuchtigkeit Messungen durch statische Aufladung stören kann.
Schwingungsisolierung
Die Plattform sollte von Vibrationsquellen wie Stanz- und Fräsmaschinen ferngehalten werden. Es wird empfohlen, einen Abstand von mehr als 3 Metern zu vibrierenden Geräten einzuhalten.
Falls Vibrationen unvermeidbar sind, können Luftfederdämpfer an der Unterseite der Plattform installiert werden, um den Einfluss von Umgebungserschütterungen auf die Ebenheit der Plattform zu verringern (wodurch externe Vibrationen um mehr als 80 % reduziert werden können).
2. Tägliche Wartung: Sorgfältige Kontrolle von der Reinigung bis zum Schutz
Spezifikation für die Oberflächenreinigung
Staubentfernung: Wischen Sie die Oberfläche täglich in dieselbe Richtung mit einem Hirschledertuch oder einem fusselfreien Tuch ab, um zu verhindern, dass Staubpartikel (≥ 5 µm) die Plattform zerkratzen. Hartnäckige Flecken können vorsichtig mit wasserfreiem Ethanol (Reinheit ≥ 99,7 %) abgewischt werden. Starke Lösungsmittel wie Aceton dürfen nicht verwendet werden.
Entfettung: Sollte die Plattform mit Ölflecken in Berührung kommen, wischen Sie sie mit einem verdünnten neutralen Reiniger ab, spülen Sie sie anschließend mit deionisiertem Wasser ab und lassen Sie sie an der Luft trocknen, um zu verhindern, dass Mineralöl in die winzigen Poren der Plattform eindringt.
Last- und Kollisionsschutz
Die Tragfähigkeit der Plattform sollte auf maximal 70 % der Nennlast begrenzt werden (beispielsweise wird für eine 1000 kg schwere Plattform eine Last von ≤700 kg empfohlen), um dauerhafte Verformungen durch lokale Überlastung zu vermeiden.
Das Schlagen von Werkstücken auf der Plattform ist strengstens verboten. Beim Umgang mit Werkzeugen sind weiche Handschuhe zu tragen, um Kratzer durch scharfe Gegenstände zu vermeiden (Kratzer mit einer Tiefe von mehr als 20 μm beeinträchtigen die Messung des reflektierten Lichtwegs).
3. Professionelle Kalibrierung: Der Kern der wissenschaftlichen Aufrechterhaltung der Genauigkeit
Einstellung des Kalibrierungszyklus
Übliche Anwendungsszenarien: Einmal pro Quartal kalibrieren und ein Laserinterferometer zur Erkennung der Planheit verwenden (mit einer Genauigkeit von ±0,5 μm/m).
Bei häufiger Nutzung oder rauen Umgebungsbedingungen: Monatliche Kalibrierung, wobei besonderes Augenmerk auf die Überwachung temperaturempfindlicher Bereiche (wie z. B. der Rand der Plattform in der Nähe von Wärmequellen) gelegt wird.
Nachbearbeitung der Kalibrierung
Wird eine Planheitsabweichung festgestellt (z. B. > ±1 μm/m), muss diese von einem Fachmann mit W1.5-Mikropulver geschliffen und repariert werden. Selbstschleifen mit Schleifpapier ist strengstens untersagt.
Nach der Kalibrierung sollten Daten aufgezeichnet und archiviert werden, und es sollte eine Genauigkeitsdämpfungskurve der Plattform erstellt werden, um den Wartungsbedarf im Voraus vorherzusagen.
4. Lagerung und Transport: Versteckte Präzisionsverluste vermeiden
Wichtige Punkte für die Langzeitlagerung
Bei der Lagerung sollte die Plattform mit einer feuchtigkeits- und staubdichten Abdeckung geschützt werden. Um ein durch die Schwerkraft bedingtes Durchbiegen zu verhindern (eine 1 Meter lange Plattform kann sich bei langfristiger Einpunktlagerung um 0,3 μm durchbiegen), muss die Unterseite an drei Punkten abgestützt werden (der Stützpunkt befindet sich bei 2/9 der Plattformlänge).
Um langfristigen lokalen Druck zu vermeiden, sollten die Stützpunkte der Plattform regelmäßig (monatlich) versetzt werden.
Transportschutzplan
Kurzstreckentransport: Mit stoßdämpfendem Schaumstoff umwickeln, in einem starren Rahmen fixieren und die Beschleunigung unter 2 g halten.
Für den Langstreckentransport: Das Produkt muss vakuumverpackt und mit trockenem Stickstoff gefüllt werden. Nach Ankunft sollte es 24 Stunden ruhen, bis sich die Temperatur ausgeglichen hat, bevor es ausgepackt wird, um zu verhindern, dass Kondenswasser die Genauigkeit beeinträchtigt.
5. Fehlerprognose: Techniken zur Früherkennung von Problemen
Sichtprüfung: Untersuchen Sie die Oberfläche regelmäßig mit einer 40-fachen Vergrößerung. Sollten durchgehende Kratzer oder ein deutlicher Glanzverlust festgestellt werden, kann dies auf eine verminderte Präzision hinweisen.
Geräuschprüfung: Klopfen Sie leicht gegen die Plattform. Wenn der Ton heiser wird (normalerweise sollte er klar sein), könnten sich im Inneren Mikrorisse befinden. Stellen Sie die Nutzung zur Überprüfung sofort ein.
Durch dieses Wartungssystem behält die Granitplattform von ZHHIMG® über 10 Jahre eine Ebenheit von ±1 μm/m bei. Dies ist mehr als dreimal so lang wie die Lebensdauer von Plattformen, die nicht ordnungsgemäß gewartet werden. In der Praxis hat sich gezeigt, dass nach der Einführung dieser Lösung in einem Halbleiterwerk die Kalibrierungshäufigkeit der Plattform um 50 % reduziert und die jährlichen Wartungskosten um mehr als 150.000 Yuan gesenkt werden konnten.
Veröffentlichungsdatum: 18. Juni 2025