In der Präzisionsfertigung und der wissenschaftlichen Forschung ist die Ebenheit von Granit-Präzisionsplattformen ein wichtiger Indikator für die Genauigkeit von Geräten. Im Folgenden finden Sie eine detaillierte Einführung in verschiedene gängige Erkennungsmethoden und deren Funktionsweise.
I. Laserinterferometer-Erkennungsmethode
Das Laserinterferometer ist das bevorzugte Werkzeug für die hochpräzise Ebenheitserkennung. Am Beispiel des Laserinterferometers ZYGO GPI XP lässt sich eine Auflösung von bis zu 0,1 nm feststellen. Zur Durchführung der Erkennung wird zunächst die Lichtquelle des Interferometers auf die Plattform ausgerichtet und die Plattformoberfläche in 50 mm × 50 mm große Rasterbereiche unterteilt. Anschließend werden die Interferenzstreifendaten Punkt für Punkt erfasst und mithilfe des Zernike-Polynoms angepasst und analysiert, um den Ebenheitsfehler zu ermitteln. Diese Methode ist auf hochpräzisen Plattformen anwendbar und kann Ebenheitsfehler von ≤ 0,5 μm/m² erkennen. Sie wird häufig zur Erkennung von Fotolithografiemaschinen und hochwertigen Drei-Koordinaten-Messmaschinen eingesetzt.
II. Elektronische Level-Array-Methode
Die elektronische Nivellier-Array-Erkennung ist einfach zu bedienen und hocheffizient. Die elektronische Nivelliereinheit TESA A2 (mit einer Auflösung von 0,01 μm/m) wurde ausgewählt und in einem 9×9-Array entlang der X/Y-Achse der Plattform angeordnet. Durch die synchrone Erfassung der Neigungsdaten jeder Nivelliereinheit und die anschließende Berechnung mit der Methode der kleinsten Quadrate kann der Ebenheitswert präzise ermittelt werden. Mit dieser Methode lassen sich lokale Konkavitäts- und Konvexitätsverhältnisse der Plattform effektiv identifizieren. Beispielsweise kann auch eine Schwankung von 0,2 μm innerhalb eines Bereichs von 50 mm erkannt werden, was sich für eine schnelle Erkennung in der Massenproduktion eignet.
III. Optische Flachkristallmethode
Die optische Plankristallmethode eignet sich zur Erkennung kleiner Flächen. Befestigen Sie den optischen Plankristall fest an der zu prüfenden Oberfläche der Plattform und beobachten Sie die zwischen ihnen gebildeten Interferenzstreifen unter Beleuchtung mit einer monochromatischen Lichtquelle (z. B. einer Natriumdampflampe). Sind die Streifen parallel und gerade, deutet dies auf gute Planheit hin. Treten gekrümmte Streifen auf, berechnen Sie den Planheitsfehler anhand des Krümmungsgrades der Streifen. Jeder gekrümmte Streifen stellt einen Höhenunterschied von 0,316 μm dar, und die Planheitsdaten lassen sich durch einfache Umrechnung ermitteln.
Vier. Drei-Koordinaten-Messgerät Inspektionsmethode
Das Drei-Koordinaten-Messgerät ermöglicht hochpräzise Messungen im dreidimensionalen Raum. Legen Sie die Granitplattform auf den Arbeitstisch des Messgeräts und erfassen Sie mit der Sonde gleichmäßig Daten von mehreren Messpunkten auf der Plattformoberfläche. Das Messgerät verarbeitet und analysiert diese Daten, um einen Ebenheitsbericht der Plattform zu erstellen. Mit dieser Methode können nicht nur die Ebenheit, sondern gleichzeitig auch andere geometrische Parameter der Plattform ermittelt werden. Sie eignet sich für die umfassende Prüfung großer Granitplattformen.
Die Beherrschung dieser Erkennungsmethoden kann Ihnen dabei helfen, die Ebenheit der Granit-Präzisionsplattform genau zu beurteilen und eine zuverlässige Garantie für den stabilen Betrieb der Präzisionsgeräte zu bieten.
Veröffentlichungszeit: 29. Mai 2025