In der Halbleiterwafer-Bearbeitung ist Präzision das A und O. Eine unscheinbare Granitplatte kann die Leistung der Bearbeitungsanlage enorm verbessern! Welche besonderen Eigenschaften birgt sie? Warum sagt man, dass die Wahl der richtigen Granitplatte bereits die halbe Miete ist? Heute enthüllen wir Ihnen die Antwort!
I. Inhärente Stärke: Die drei „inhärenten Vorteile“ von Granit
Die seismische Widerstandsfähigkeit ist so stabil wie der Berg Tai.
Granit besitzt eine Dichte von bis zu 2.800–3.100 kg/m³ und ist so dicht wie eine „Steinfestung“. In der hochfrequenten Vibrationsumgebung des Wafer-Nutfräsens (die Anlage fräst über 100 Mal pro Minute) kann er mehr als 90 % der Vibrationsenergie absorbieren – vergleichbar mit einer „stoßdämpfenden Technologie“! Messdaten eines Chipherstellers zeigen, dass sich nach Verwendung der Granitbasis die Jitteramplitude des Fräskopfes von 15 µm auf 3 µm verringert hat und die Kanten der gefrästen Mikronuten spiegelglatt sind.
2. „Hitzebeständige Beschaffenheit“ – Unempfindlich gegenüber Temperaturschwankungen
Übliche Materialien dehnen sich beim Erhitzen aus und verformen sich, beim Abkühlen ziehen sie sich zusammen und verformen sich ebenfalls. Der Wärmeausdehnungskoeffizient von Granit ist jedoch mit 4–8 × 10⁻⁶/°C extrem niedrig und beträgt nur ein Fünftel des Wertes von Metallen! Selbst bei Temperaturschwankungen von 10 °C innerhalb von 24 Stunden ist die Verformung geringer als 0,01 mm und somit vernachlässigbar. Das bedeutet, dass die Granitplatte unabhängig von Tag-Nacht-Wechseln oder dem Dauerbetrieb und der damit verbundenen Wärmeentwicklung die Position der Nut stets konstant hält.
3. Unzerstörbare Verschleißfestigkeit
Die Mohshärte von Granit erreicht 6 bis 7 und ist damit vergleichbar mit der von Quarzgestein. Seine Verschleißfestigkeit ist dreimal so hoch wie die von normalem Stahl! Selbst bei der langfristigen, hochfrequenten Reibung beim Nutenfräsen zeigt die Oberfläche der Basis kaum Abnutzungserscheinungen. Nachdem eine Gießerei fünf Jahre lang Granitbasen verwendet hatte, lag die Ebenheit bei der Inspektion immer noch innerhalb von ±0,5 μm/m, und die Nutgenauigkeit blieb konstant. Dies führte zu erheblichen Einsparungen bei der Gerätekalibrierung und dem Austausch von Ersatzteilen.
II. Präzise Anpassung: Wie erfüllt Granit unterschiedliche Anforderungen an die Nutung?
Szene 1: Ultrafeine Rillen (Mikrorillen unter 10 μm)
Anforderung: Absolute Ebenheit
Vorteile von Granit: Dank hochpräziser Fünf-Achs-Bearbeitung lässt sich die Ebenheit auf ±0,5 μm/m genau steuern. Das bedeutet, dass der Höhenfehler auf einer Länge von einem Meter 200-mal dünner ist als ein menschliches Haar! Der Abstand zwischen Fräskopf und Platte ist stets präzise, und die Breitenabweichung der gefrästen Mikronuten beträgt maximal ±0,1 μm.
Szene 2: Hochgeschwindigkeits-Massenproduktionsrillen
Anforderung: Hervorragende Stoßdämpfungsleistung
Vorteile von Granit: Seine natürlichen Dämpfungseigenschaften reduzieren Maschinenschwingungen schnell. Nachdem ein Plattenwerk Granitplatten als Basis eingeführt hatte, steigerte sich die Nutgeschwindigkeit um 40 % und die Ausbeute von 85 % auf 96 % – eine Verdopplung von Produktionseffizienz und Qualität!
Szene 3: Komplexe Umgebungsbedingungen (Hohe Temperatur/Korrosion)
Anforderungen: Hohe Temperaturbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit
Vorteile von Granit: Äußerst hohe chemische Beständigkeit, resistent gegen Säure- und Laugenkorrosion; geringer Wärmeausdehnungskoeffizient, daher verformt er sich selbst bei lokal hohen Temperaturen (150 °C) während des Laserschneidens nicht. Eine in einem Labor mit korrosiver Schneidlösung verwendete Granitplatte ist seit drei Jahren im Dauereinsatz, ohne dass ihre Oberfläche beschädigt wurde.
III. Wie wählt man einen „echten, hochwertigen“ Granitsockel aus?
Betrachten wir die Dichte: Granit mit einer Dichte von ≥2800kg/m³ hat eine kompaktere Struktur.
Prüfen Sie Zertifizierungen: Achten Sie auf anerkannte Zertifizierungen wie ISO 9001 und CNAS, um die Qualität sicherzustellen.
Verifizierungsdaten: Der Hersteller ist verpflichtet, Prüfberichte über den Wärmeausdehnungskoeffizienten (< 8×10⁻⁶/℃) und die Planheit (±0,5μm/m) vorzulegen.
Vor-Ort-Test: Klopfen Sie auf die Unterseite. Ein klarer Klang zeigt an, dass keine Risse im Inneren vorhanden sind. Eine spiegelglatte Oberfläche zeugt von hoher Verarbeitungsgenauigkeit.
Fazit: Mit der richtigen Granitsorte ist die halbe Miete beim Nutenschneiden gewonnen!
Von Stoß- und Hitzebeständigkeit bis hin zu Verschleißfestigkeit – die Granitbasis hat sich mit ihrer natürlichen Schönheit und extremen Festigkeit als idealer Partner für Wafer-Fräsmaschinen etabliert. Im heutigen Zeitalter der Halbleiterfertigung, das auf Präzision im Nanometerbereich abzielt, ist eine hochwertige Granitbasis nicht nur eine Investition in die Anlagen, sondern auch eine langfristige Garantie für Produktionseffizienz und Produktqualität!
Veröffentlichungsdatum: 17. Juni 2025