Beim Rillen von Halbleiterwafern ist Präzision das A und O. Eine unauffällige Granitbasis kann die Leistung der Rillanlage deutlich steigern! Welche „Superkräfte“ verbirgt sie eigentlich? Warum heißt es, die Wahl der richtigen Granitbasis sei schon die halbe Miete? Wir erklären es Ihnen heute im Detail!
I. Inhärente Stärke: Die drei „inhärenten Vorteile“ von Granit
Die Erdbebensicherheit ist so stabil wie der Mount Tai
Granit hat eine Dichte von 2.800–3.100 kg/m³ und seine Struktur ist so dicht wie eine „Steinfestung“. In der hochfrequenten Vibrationsumgebung beim Wafer-Rillen (das Gerät rillt über 100 Mal pro Minute) kann es mehr als 90 % der Vibrationsenergie absorbieren, ganz so, als wäre das Gerät mit „stoßdämpfender schwarzer Technologie“ ausgestattet! Messdaten einer Chipfabrik zeigen, dass sich die Jitteramplitude des Rillenfräskopfes nach dem Einsatz der Granitbasis von 15 μm auf 3 μm verringert hat und die Kanten der gefrästen Mikrorillen spiegelglatt sind.
2. „Hitzebeständige Konstitution“ Keine Angst vor Temperaturunterschieden
Gewöhnliche Materialien dehnen sich beim Erhitzen aus und verformen sich, beim Abkühlen ziehen sie sich zusammen. Der Wärmeausdehnungskoeffizient von Granit beträgt jedoch nur 4–8 × 10⁻⁶/℃ und ist damit nur ein Fünftel des von Metallen! Selbst bei starken Temperaturschwankungen in der Werkstatt um 10 °C innerhalb von 24 Stunden beträgt die Verformung weniger als 0,01 mm und ist nahezu vernachlässigbar. Das bedeutet, dass die Granitbasis die Schlitzposition unabhängig vom Tag-Nacht-Wechsel oder dem längeren Betrieb und der Wärmeentwicklung der Geräte stets stabil halten kann.
3. Unzerstörbare Verschleißfestigkeit
Die Mohshärte von Granit erreicht 6 bis 7, vergleichbar mit der von Quarzstein, und seine Verschleißfestigkeit ist dreimal so hoch wie die von gewöhnlichem Stahl! Durch die langfristige Hochfrequenzreibung beim Wafer-Rillen verschleißt die Oberfläche der Basis kaum. Nachdem eine Gießerei fünf Jahre lang Granitbasen verwendet hatte, blieb die Ebenheit bei der Inspektion immer noch innerhalb von ±0,5 μm/m, und die Rillengenauigkeit blieb konstant. Dies sparte erhebliche Kosten für Gerätekalibrierung und -austausch.
II. Präzise Anpassung: Wie erfüllt Granit unterschiedliche Rillanforderungen?
Szene 1: Ultrafeine Rillen (Mikrorillen unter 10μm)
Anforderung: Höchste Ebenheit
Vorteile von Granit: Durch die hochpräzise Fünf-Achsen-Verarbeitung kann die Ebenheit innerhalb von ±0,5 μm/m kontrolliert werden. Das bedeutet, dass der Höhenfehler auf einer Länge von 1 Meter 200-mal geringer ist als ein menschliches Haar! Stellen Sie sicher, dass der Abstand zwischen dem Rillenfräskopf und dem Wafer stets präzise ist und der Breitenfehler der geschnitzten Mikrorillen ±0,1 μm nicht überschreitet.
Szene 2: Hochgeschwindigkeits-Massenproduktions-Stechfräsen
Anforderung: Super Stoßdämpfungsleistung
Vorteile von Granit: Seine natürlichen Dämpfungseigenschaften im Inneren können Gerätevibrationen schnell dämpfen. Nachdem eine bestimmte Plattenfabrik Granitsockel eingeführt hatte, erhöhte sich die Nutgeschwindigkeit um 40 % und die Ausbeute von 85 % auf 96 %. Dies führte zu einer Verdoppelung der Produktionseffizienz und -qualität!
Szene 3: Rillen in komplexer Umgebung (Hohe Temperatur/Korrosion)
Anforderungen: Hohe Temperaturbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit
Vorteile von Granit: Extrem hohe chemische Stabilität, beständig gegen Säure- und Laugenkorrosion; niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient und selbst bei lokal hohen Temperaturen (150 °C) beim Laser-Rillen verformt es sich nicht. Ein in einem Labor mit korrosiver Rilllösung verwendeter Granitsockel ist seit drei Jahren im Dauereinsatz, und die Oberfläche des Sockels ist intakt.
III. Wie wählt man eine „echt hochwertige“ Granitbasis aus?
Achten Sie auf die Dichte: Granit mit einer Dichte von ≥2800kg/m³ hat eine kompaktere Struktur.
Überprüfen Sie Zertifizierungen: Achten Sie darauf, dass Sie maßgebliche Zertifizierungen wie ISO 9001 und CNAS anerkennen, um die Qualität sicherzustellen.
Prüfdaten: Der Hersteller ist verpflichtet, Prüfberichte zum Wärmeausdehnungskoeffizienten (< 8×10⁻⁶/℃) und zur Ebenheit (±0,5μm/m) vorzulegen.
Vor-Ort-Test: Klopfen Sie auf die Basis. Ein klares Geräusch signalisiert, dass keine Risse im Inneren vorhanden sind. Eine spiegelglatte Touch-Oberfläche deutet auf eine hohe Verarbeitungsgenauigkeit hin.
Fazit: Mit der Wahl des richtigen Granits haben Sie beim Nutenschneiden die halbe Miete!
Von Stoßfestigkeit über Hitzebeständigkeit bis hin zu Verschleißfestigkeit ist die Granitbasis mit ihrer „natürlichen Schönheit“ und „harten Kernstärke“ zum idealen Partner für Wafer-Nut-Geräte geworden. Im heutigen Zeitalter der Halbleiterfertigung, das auf Nanopräzision abzielt, ist eine hochwertige Granitbasis nicht nur eine Investition in die Ausrüstung, sondern auch eine langfristige Garantie für Produktionseffizienz und Produktqualität!
Veröffentlichungszeit: 17. Juni 2025