In der Halbleiterfertigungswerkstatt sind die Anforderungen des Chipherstellungsprozesses an Umgebungsbedingungen und Gerätegenauigkeit extrem, und jede noch so kleine Abweichung kann zu einem deutlichen Rückgang der Chipausbeute führen. Die XYZT-Präzisionsportalbewegungsplattform basiert auf Granitkomponenten, die im Zusammenspiel mit anderen Teilen der Plattform eine solide Grundlage für die Erzielung von Nanogenauigkeit bilden.
Hervorragende Vibrationsdämpfungseigenschaften
In der Halbleiterfertigung können der Betrieb von Peripheriegeräten und herumlaufendes Personal Vibrationen verursachen. Die innere Struktur von Granitkomponenten ist dicht und gleichmäßig und verfügt über natürliche, stark dämpfende Eigenschaften, die wie eine wirksame Vibrationsbarriere wirken. Wenn externe Vibrationen auf die XYZT-Plattform übertragen werden, kann die Granitkomponente effektiv mehr als 80 % der Vibrationsenergie dämpfen und die Auswirkungen der Vibration auf die Bewegungsgenauigkeit der Plattform reduzieren. Gleichzeitig ist die Plattform mit einem hochpräzisen Luftführungssystem ausgestattet, das mit den Granitkomponenten zusammenarbeitet. Die Luftführung nutzt den stabilen Gasfilm aus Hochdruckgas, um die berührungslose Federung der beweglichen Teile der Plattform zu ermöglichen und die durch mechanische Reibung verursachten geringen Vibrationen zu reduzieren. Gemeinsam gewährleisten beide Systeme eine Positionierungsgenauigkeit der Plattform im Nanometerbereich bei wichtigen Prozessen wie der Chip-Lithografie und dem Ätzen und vermeiden vibrationsbedingte Abweichungen der Chip-Schaltkreismuster.
Ausgezeichnete thermische Stabilität
Temperatur- und Feuchtigkeitsschwankungen in der Werkstatt haben großen Einfluss auf die Genauigkeit der Chipherstellungsanlagen. Granit hat einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 5–7 × 10⁻⁶/℃ und bleibt bei Temperaturschwankungen nahezu unverändert. Selbst wenn die Umgebungstemperatur in der Werkstatt aufgrund von Tag- und Nachttemperaturunterschieden oder der Wärmeentwicklung der Anlagen schwankt, bleiben die Granitkomponenten stabil und verhindern eine Verformung der Plattform durch Wärmeausdehnung und -kontraktion. Gleichzeitig überwacht das intelligente Temperaturkontrollsystem der Plattform die Umgebungstemperatur in Echtzeit, passt die Klimaanlage und die Wärmeableitungsanlagen automatisch an und hält die Werkstatttemperatur bei 20 °C ± 1 °C. In Kombination mit den Vorteilen der Wärmestabilität des Granits wird sichergestellt, dass die Bewegungsgenauigkeit jeder Achse der Plattform im Langzeitbetrieb stets den Nanometer-Präzisionsstandard für die Chipherstellung entspricht, um eine genaue Größe des lithografischen Chipmusters und eine gleichmäßige Ätztiefe zu gewährleisten.
Erfüllen Sie die Anforderungen einer sauberen Umwelt
In der Halbleiterfertigungshalle muss ein hohes Maß an Sauberkeit gewährleistet sein, um eine Verunreinigung des Chips durch Staubpartikel zu verhindern. Granitmaterial selbst produziert keinen Staub und hat eine glatte Oberfläche, die Staub nur schwer aufnimmt. Die Plattform als Ganzes weist eine vollständig geschlossene oder halbgeschlossene Struktur auf, um das Eindringen von Staub von außen zu reduzieren. Das interne Luftzirkulationssystem ist mit der Reinluftanlage der Halle verbunden, um sicherzustellen, dass die Luft im Inneren das für die Chipfertigung erforderliche Niveau erreicht. In dieser sauberen Umgebung werden Granitkomponenten nicht durch Stauberosion in ihrer Leistung beeinträchtigt, und Schlüsselkomponenten wie hochpräzise Sensoren und Motoren der Plattform können ebenfalls stabil arbeiten. Dies gewährleistet eine kontinuierliche und zuverlässige Garantie für die Nanogenauigkeit bei der Chipfertigung und trägt dazu bei, die Halbleiterindustrie auf ein höheres Prozessniveau zu bringen.
Veröffentlichungszeit: 14. April 2025