In der präzisen Halbleiterfertigung ist die zerstörungsfreie Prüfung von Wafern ein Schlüsselfaktor für die Chipqualität. Der scheinbar unbedeutende Granitsockel ist in Wirklichkeit der „heimliche Held“, der die Erkennungsgenauigkeit bestimmt. Wie beeinflusst er die Testergebnisse? Dieser Artikel analysiert eingehend Aspekte wie Materialeigenschaften und Strukturdesign.
1. Stabile Grundlage: Die natürlichen Vorteile von Granit bilden eine solide Grundlage für Präzision
1. Hervorragende seismische Leistung
Während des Betriebs der zerstörungsfreien Waferprüfanlage erzeugen die Rotation des Motors und die Bewegung mechanischer Komponenten Vibrationen. Werden diese Vibrationen nicht wirksam unterdrückt, beeinträchtigen sie die Prüfgenauigkeit erheblich. Granit ist im Inneren eng mit Mineralkristallen wie Quarz und Feldspat verwoben. Seine einzigartige Struktur verleiht ihm eine natürliche Schwingungsabsorptionsfähigkeit und kann über 90 % der Schwingungsenergie der Anlage absorbieren. Die Messdaten eines Halbleiterherstellers zeigen, dass sich die Schwingungsamplitude der Prüfanlage durch den Einsatz der Granitbasis von 12 μm auf 2 μm reduzierte, wodurch die vibrationsbedingte Abweichung des Prüfsignals wirksam vermieden wurde.
2. Extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient
Während des Prüfvorgangs beeinträchtigen Faktoren wie die Erwärmung des Geräts und Änderungen der Umgebungstemperatur die Stabilität des Maschinenunterbaus. Gewöhnliche Materialien dehnen sich bei Erwärmung deutlich aus, doch der Wärmeausdehnungskoeffizient von Granit beträgt nur ein Fünftel des von Stahl. Selbst bei Schwankungen der Umgebungstemperatur um 10 °C ist die Verformung vernachlässigbar. Dadurch dient der Granitunterbau als stabile Referenzplattform für die Prüfausrüstung. Dies gewährleistet eine stets genaue relative Position zwischen Prüfsonde und Wafer und vermeidet Prüffehler durch thermische Verformung.
Zweitens, präzises Design: Strukturoptimierung erhöht die Zuverlässigkeit der Erkennung weiter
Hochpräzise Verarbeitung und Ebenheitsgarantie
Die hochwertige Granitbasis wird mit fortschrittlicher 5-Achsen-CNC-Technologie mit einer Ebenheit von ±0,5 μm/m bearbeitet und bietet so eine ultraflache Installationsreferenz für Prüfgeräte. Bei der Waferinspektion sind die Vertikalität und Ebenheit der Prüfsonde entscheidend für die Prüfergebnisse. Eine hochpräzise Granitbasis gewährleistet die präzise Positionierung der Sonde und sorgt so für genauere und zuverlässigere Prüfdaten.
2. Maßgeschneiderte Strukturanpassung
Granit-Maschinensockel können an unterschiedliche zerstörungsfreie Prüfgeräte und Prozessanforderungen für Wafer angepasst werden. Um beispielsweise die Anforderungen optischer Prüfgeräte an die Lichtreflexion zu erfüllen, kann die Oberfläche des Maschinensockels speziell behandelt werden. Um den Installationsanforderungen von Ultraschallprüfgeräten gerecht zu werden, kann der Sockel mit präzisen Montagelöchern und Kabelkanälen vorgefertigt werden. Dies ermöglicht eine schnelle und präzise Installation der Geräte und reduziert Erkennungsabweichungen durch Installationsfehler.
III. Langzeitstabilität: Reduzieren Sie den Präzisionsverlust durch Gerätewartung
Granit zeichnet sich durch hohe Härte und hohe Verschleißfestigkeit aus. Die Mohshärte von 6 bis 7 entspricht der dreifachen Verschleißfestigkeit von gewöhnlichem Stahl. Bei langfristigen Inspektionsvorgängen ist die Oberfläche des Maschinensockels verschleißarm und behält stets eine hohe Präzision. Im Gegensatz dazu können Sockel aus anderen Materialien durch Verschleiß zu Veränderungen der Installationsreferenz des Geräts führen, was die Erkennungsgenauigkeit beeinträchtigt und eine häufige Kalibrierung und Wartung erforderlich macht. Die lange Lebensdauer und hohe Stabilität des Granitsockels reduzieren effektiv die Wartungshäufigkeit und verringern das Risiko von Präzisionsverlusten während der Wartung.
Von Stoßfestigkeit und Hitzebeständigkeit bis hin zum präzisen Design – jedes Merkmal der Granitbasis gewährleistet die Genauigkeit der zerstörungsfreien Prüfung von Wafern. In der heutigen Halbleiterfertigung, die höchste Präzision anstrebt, ist die Wahl einer hochwertigen Granitbasis eine zusätzliche Garantie für die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Prüfergebnisse.
Veröffentlichungszeit: 18. Juni 2025