Im Bereich der Halbleiterfertigung ist die Präzision im Submikrometerbereich der Schlüssel zur Sicherstellung der Chip-Performance, und die (ZHHIMG®) Granitbasis ist mit ihren Materialeigenschaften, der präzisen Verarbeitung und dem innovativen Design zur zentralen Garantie für das Erreichen dieser Präzision geworden.
Aus materialtechnischer Sicht weist der von ZHHIMG® ausgewählte schwarze Granit eine Dichte von ca. 3100 kg/m³ und eine dichte innere Struktur auf. Diese hohe Dichte verleiht ihm herausragende Stabilität und Steifigkeit. Im Betrieb von Halbleiteranlagen erzeugen die Rotation der Motoren und die Bewegung der mechanischen Komponenten im Inneren Vibrationen. Die Granitbasis kann über 90 % der Vibrationsenergie effektiv absorbieren und so die Auswirkungen von Vibrationen auf die Genauigkeit der Anlage deutlich reduzieren. Gleichzeitig sorgt der extrem niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient dafür, dass sich der Granit bei schwankenden Umgebungstemperaturen nur minimal verformt. Dadurch bietet er eine stabile Basis für die Halbleiteranlage und verhindert ein Verrutschen der Anlagenkomponenten aufgrund von Temperaturänderungen, was die Genauigkeit beeinträchtigen könnte.
Im Bereich der Bearbeitung und Fertigung setzt das Werk von ZHHIMG® auf international fortschrittliche Bearbeitungsanlagen und verfügt über vier Großschleifmaschinen (jede Maschine kostet über 500.000 USD), die hochpräzises Schleifen von Granit ermöglichen. Durch 5-Achs-CNC-Bearbeitung und weitere Verfahren wird eine Ebenheit im Nanometerbereich erreicht. Dies bietet eine extrem ebene Referenzfläche für die Montage von Halbleiteranlagen und gewährleistet die präzise Positionierung jeder einzelnen Komponente. Darüber hinaus bietet die 10.000 Quadratmeter große, temperatur- und feuchtigkeitskontrollierte Werkstatt ein stabiles Bearbeitungsumfeld. Umgebende, 500 mm breite und 2000 mm tiefe Antivibrationsrillen sowie geräuscharme Krane isolieren effektiv externe Vibrationsstörungen und gewährleisten die Bearbeitungsgenauigkeit der Maschinenbasis.
Darüber hinaus zeichnet sich ZHHIMG® durch hohe Anpassungsfähigkeit aus. Für die speziellen Anforderungen von Halbleiteranlagen können präzise Montagebohrungen und Kabelkanäle vorgefertigt werden, um eine optimale Kompatibilität zwischen Anlage und Maschinenfuß zu gewährleisten. Gleichzeitig wird der Maschinenfuß mithilfe erstklassiger Mess- und Prüftechnik, wie beispielsweise der deutschen Mahr-Minutenlehre (mit einer Genauigkeit von 0,5 µm) und der Schweizer WYLER-Wasserwaage, sorgfältig geprüft und kalibriert. So wird sichergestellt, dass jeder Maschinenfuß die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie an die Submikrometergenauigkeit erfüllt.
Es ist genau die Kombination dieser Vorteile, die die Granitbasis ZHHIMG® zu einer zuverlässigen Wahl für die Erzielung von Submikron-Präzision in Halbleiteranlagen macht und der Halbleiterfertigung hilft, sich in Richtung höherer Präzisionsbereiche zu bewegen.
Veröffentlichungsdatum: 18. Juni 2025