Im Bereich der Halbleiterherstellung ist eine Präzision im Submikrometerbereich der Schlüssel zur Gewährleistung der Chipleistung, und die Granitbasis (ZHHIMG®) ist mit ihren Materialeigenschaften, der präzisen Verarbeitung und dem innovativen Design zum zentralen Garanten für das Erreichen dieser Präzision geworden.
Der von ZHHIMG® ausgewählte schwarze Granit weist eine Dichte von ca. 3100 kg/m³ und eine dichte innere Struktur auf. Diese hohe Dichte verleiht ihm hervorragende Stabilität und Steifigkeit. Beim Betrieb von Halbleiteranlagen entstehen durch die Rotation der Motoren und die Bewegung mechanischer Komponenten im Inneren Vibrationen. Die Granitbasis absorbiert effektiv über 90 % der Vibrationsenergie und reduziert so die Auswirkungen der Vibrationen auf die Genauigkeit der Anlage deutlich. Dank seines extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten verformt er sich bei schwankenden Umgebungstemperaturen nur minimal. Dies bietet eine stabile Basis für Halbleiteranlagen und verhindert die Verschiebung von Anlagenkomponenten durch Temperaturschwankungen, die die Genauigkeit beeinträchtigen könnten.
In Bezug auf Verarbeitung und Fertigung setzt das ZHHIMG®-Werk auf international fortschrittliche Verarbeitungsanlagen und verfügt über vier extragroße Schleifmaschinen (jede Maschine kostet über 500.000 USD), die hochpräzises Schleifen von Granit ermöglichen. Durch fünfachsige CNC-Bearbeitung und andere Verfahren wird die Ebenheit des Maschinenbetts im Nanometerbereich erreicht. Dies bietet eine ultraflache Referenzfläche für die Installation von Halbleitergeräten und gewährleistet die präzise Positionierung aller Gerätekomponenten. Darüber hinaus bietet die 10.000 Quadratmeter große Werkstatt mit konstanter Temperatur und Luftfeuchtigkeit eine stabile Verarbeitungsumgebung. Die 500 mm breiten und 2000 mm tiefen Antivibrationsgräben sowie die geräuscharmen Kräne isolieren effektiv externe Vibrationsstörungen und gewährleisten die Verarbeitungsgenauigkeit des Maschinenbetts.
Darüber hinaus bietet ZHHIMG® umfassende Anpassungsmöglichkeiten. Für die speziellen Anforderungen von Halbleiteranlagen können präzise Montagebohrungen und Kabelkanäle vorgefertigt werden, um eine perfekte Kompatibilität zwischen Anlage und Basis zu gewährleisten. Gleichzeitig wird die Maschinenbasis mithilfe erstklassiger Mess- und Prüfgeräte wie dem deutschen Mahr-Minutenmessgerät (mit einer Genauigkeit von 0,5 µm) und der Schweizer elektronischen Wasserwaage von WYLER streng geprüft und kalibriert, um sicherzustellen, dass jede Maschinenbasis die strengen Anforderungen an Halbleiteranlagen mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich erfüllt.
Es ist genau die Kombination dieser Vorteile, die die ZHHIMG®-Granitbasis zu einer zuverlässigen Wahl für die Erzielung einer Submikrometerpräzision in Halbleitergeräten macht und so die Halbleiterfertigung in Richtung höherer Präzisionsbereiche voranbringt.
Veröffentlichungszeit: 18. Juni 2025