Anwendung von Granitsockel: Granit zeichnet sich durch extrem stabile physikalische Eigenschaften, eine dichte und gleichmäßige innere Struktur, einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und eine hohe Härte aus. Dadurch isoliert der Sockel externe Vibrationen effektiv, reduziert die Auswirkungen von Umgebungstemperaturänderungen auf die Genauigkeit der Plattform und weist eine gute Verschleißfestigkeit auf. Auch bei langfristiger Nutzung bleibt die Stützleistung stabil und bildet eine solide Grundlage für die Genauigkeit der Plattform.
Hochpräzises mechanisches Strukturdesign: Die mechanische Struktur der Plattform wurde sorgfältig entwickelt und optimiert. Dabei kommen hochpräzise Führungsschienen, Leitspindeln, Lager und weitere Übertragungskomponenten zum Einsatz. Dank geringer Reibung, hoher Steifigkeit und guter Bewegungswiederholbarkeit ermöglichen diese Komponenten eine präzise Kraftübertragung und die Steuerung der Plattformbewegung. Dadurch werden Fehleransammlungen während der Bewegung reduziert. Beispielsweise ermöglicht der Einsatz einer aerostatischen Führungsschiene und eines Luftfilms zur Unterstützung der Plattformbewegung ohne Reibung, Verschleiß und mit hoher Präzision eine Positionierungsgenauigkeit im Nanobereich.
Fortschrittliche aktive Schwingungsisolationstechnologie: Ausgestattet mit einem aktiven Schwingungsisolationssystem überwacht der Sensor den Schwingungszustand der Plattform in Echtzeit und steuert den Aktuator entsprechend den Überwachungsergebnissen. Dadurch wird die Gegenkraft oder Bewegung der externen Schwingung erzeugt, um die Auswirkungen der Schwingung auszugleichen. Diese aktive Schwingungsisolationstechnologie isoliert nieder- und hochfrequente Schwingungen effektiv, sodass die Plattform auch in komplexen Schwingungsumgebungen stabil bleibt. Beispielsweise bietet der elektromagnetische aktive Schwingungsisolator die Vorteile einer schnellen Reaktionszeit und einer präzisen Steuerkraft, wodurch die Schwingungsamplitude der Plattform um mehr als 80 % reduziert werden kann.
Präzises Steuerungssystem: Die Plattform verfügt über ein fortschrittliches Steuerungssystem, beispielsweise ein digitales Signalprozessor- (DSP) oder FPGA-basiertes Steuerungssystem, das Hochgeschwindigkeitsberechnungen und präzise Steuerung ermöglicht. Das Steuerungssystem überwacht und regelt die Bewegung der Plattform in Echtzeit mithilfe präziser Algorithmen und ermöglicht eine hochpräzise Positions-, Geschwindigkeits- und Beschleunigungsregelung. Gleichzeitig ist das Steuerungssystem störungsfrei und arbeitet auch in komplexen elektromagnetischen Umgebungen stabil.
Hochpräzise Sensormessung: Durch den Einsatz hochpräziser Wegsensoren, Winkelsensoren und anderer Messgeräte wird die Bewegung der Plattform in Echtzeit präzise gemessen. Diese Sensoren übermitteln die Messdaten an das Steuerungssystem. Dieses nimmt anhand der Rückkopplungsdaten präzise Anpassungen und Kompensationen vor, um die Bewegungsgenauigkeit der Plattform sicherzustellen. Beispielsweise wird ein Laserinterferometer als Wegsensor eingesetzt, dessen Messgenauigkeit bis in den Nanometerbereich reicht. Dies liefert genaue Positionsinformationen für eine hochpräzise Steuerung der Plattform.
Fehlerkompensationstechnologie: Durch Modellierung und Analyse der Plattformfehler wird die Fehlerkompensationstechnologie zur Fehlerkorrektur eingesetzt. Beispielsweise werden der Geradheitsfehler der Führungsschiene und der Steigungsfehler der Leitspindel gemessen und kompensiert, um die Bewegungsgenauigkeit der Plattform zu verbessern. Darüber hinaus können Softwarealgorithmen eingesetzt werden, um Fehler, die durch Temperaturänderungen, Laständerungen und andere Faktoren entstehen, in Echtzeit zu kompensieren und so die Genauigkeit der Plattform weiter zu verbessern.
Strenge Fertigung und Qualitätskontrolle: Im Fertigungsprozess der Plattform werden strenge Fertigungs- und Qualitätskontrollstandards eingehalten, um die Verarbeitungsgenauigkeit und Montagequalität jeder Komponente sicherzustellen. Von der Auswahl der Rohstoffe bis hin zur Verarbeitung, Montage und Inbetriebnahme der Teile wird jedes Bauteil streng geprüft und getestet, um die Gesamtgenauigkeit und Leistung der Plattform sicherzustellen. So werden beispielsweise Schlüsselteile hochpräzise bearbeitet und moderne Geräte wie CNC-Bearbeitungszentren eingesetzt, um sicherzustellen, dass Maßgenauigkeit, Form- und Lagetoleranzen der Teile den Konstruktionsanforderungen entsprechen.
Veröffentlichungszeit: 11. April 2025