Wie hochpräzise Maschinensockel aus Granit die Genauigkeit von Wafer-Inspektionsgeräten verbessern.

IIn der Halbleiterindustrie ist die Genauigkeit der Wafer-Inspektionsgeräte entscheidend für die Qualität integrierter Schaltkreise. Hochpräzise Maschinensockel aus Granit, wie sie ZHHIMG® bietet, tragen maßgeblich zur Leistungssteigerung solcher Geräte bei. Hier erfahren Sie, wie sie den Unterschied machen.
Außergewöhnliche Dimensionsstabilität: Granit weist einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten von etwa (4–8) × 10⁻⁶/℃ auf, der deutlich niedriger ist als bei vielen Metallen. In der streng kontrollierten Umgebung von Halbleiterfabriken, wo selbst geringe Temperaturschwankungen zu Messfehlern führen können, bleiben Granit-Maschinensockel stabil. Diese Stabilität gewährleistet die präzise Positionierung der Komponenten in Wafer-Inspektionsgeräten und verhindert thermisch bedingte Abweichungen, die die Präzision der Prüfergebnisse beeinträchtigen könnten.

Hervorragende SchwingungsdämpfungProduktionsböden sind häufig Vibrationen unterschiedlicher Herkunft ausgesetzt. Die inhärenten Dämpfungseigenschaften von Granit mit einem Dämpfungsverhältnis von 0,05–0,1 absorbieren und dämpfen diese Vibrationen effektiv. Für Waferinspektion
Bei der Wafer-Messung, die hochauflösende Bilder und präzise Sensorwerte erfordert, ist die Vibrationsreduzierung durch Granitsockel von unschätzbarem Wert. Sie minimiert Störungen, die Bilder verwischen oder Sensordaten verfälschen könnten, und ermöglicht es dem Gerät, klare und genaue Informationen über die Oberfläche und die innere Struktur des Wafers zu erfassen.
Hohe Steifigkeit und Verschleißfestigkeit: Mit einer Dichte von ca. 3100 kg/m³ bieten die Granit-Maschinensockel von ZHHIMG® eine bemerkenswerte Steifigkeit. Sie tragen die schweren Komponenten von Wafer-Inspektionsgeräten ohne Verformung und gewährleisten die Ausrichtung optischer und mechanischer Systeme. Die hohe Härte (Mohs-Skala 6–7) und die hervorragende Verschleißfestigkeit des Granits sorgen zudem dafür, dass die Oberfläche des Maschinensockels dauerhaft eben und glatt bleibt. Diese Konsistenz ist für die langfristige Genauigkeit unerlässlich, da Verschleiß oder Verformungen am Sockel die Präzision des Geräts allmählich beeinträchtigen können.
Chemische Inertheit: Bei der Halbleiterherstellung ist Granit verschiedenen Chemikalien ausgesetzt. Die chemische Inertheit von Granit macht ihn korrosionsbeständig. Diese Eigenschaft schützt die Integrität der Maschinenbasis und verhindert chemisch verursachte Schäden, die die Stabilität und Genauigkeit der Prüfgeräte beeinträchtigen könnten.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass hochpräzise Granit-Maschinensockel nicht nur eine Komponente, sondern ein Schlüsselfaktor für die Erfüllung der hohen Genauigkeitsanforderungen von Wafer-Inspektionsgeräten sind. Wählen Sie bei der Auswahl von Granit-Maschinensockeln vertrauenswürdige Anbieter wie ZHHIMG®. Mit zahlreichen Zertifizierungen und einem hohen Qualitätsanspruch stellt ZHHIMG® sicher, dass jeder Granit-Maschinensockel die Zuverlässigkeit und Leistung bietet, die für die fortschrittliche Halbleiterfertigung erforderlich sind.