Maschinenfundamente aus Granit werden aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften wie hoher Steifigkeit, Stabilität und Präzision häufig in Anlagen zur Waferbearbeitung eingesetzt. Die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines solchen Granitfundaments ist ein kritischer Prozess, der höchste Sorgfalt, Präzision und Genauigkeit erfordert. In diesem Artikel beschreiben wir Schritt für Schritt die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Granitfundaments für Anlagen zur Waferbearbeitung.
Zusammenbau
Im ersten Schritt werden die Granit-Messplatte, der Sockel und die Säule für die Montage vorbereitet. Alle Oberflächen müssen sauber, trocken und frei von Schmutz, Staub und Öl sein. Setzen Sie die Nivellierfüße in den Sockel ein und platzieren Sie die Messplatte darauf. Richten Sie die Messfüße so aus, dass die Messplatte waagerecht und waagerecht ist. Achten Sie darauf, dass die Messplatte bündig mit Sockel und Säule abschließt.
Montieren Sie anschließend die Säule auf dem Sockel und befestigen Sie sie mit Schrauben. Ziehen Sie die Schrauben mithilfe eines Drehmomentschlüssels mit dem vom Hersteller empfohlenen Drehmoment an. Überprüfen Sie die Ausrichtung der Säule und justieren Sie gegebenenfalls die Nivellierbolzen.
Montieren Sie abschließend die Spindeleinheit oben auf der Säule. Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmomentschlüssel auf das vom Hersteller empfohlene Drehmoment fest. Überprüfen Sie die Ausrichtung der Spindeleinheit und justieren Sie gegebenenfalls die Nivellierbolzen.
Testen
Nach der Montage des Maschinengestells muss als Nächstes die Funktionalität und Genauigkeit geprüft werden. Schließen Sie die Stromversorgung an und schalten Sie die Maschine ein. Stellen Sie sicher, dass alle Komponenten wie Motoren, Zahnräder, Riemen und Lager einwandfrei funktionieren und keine Störungen oder ungewöhnliche Geräusche verursachen.
Um die Genauigkeit der Maschine zu prüfen, messen Sie den Rundlauf der Spindel mit einer Präzisionsmessuhr. Setzen Sie die Messuhr auf die Messplatte und drehen Sie die Spindel. Der maximal zulässige Rundlauf sollte weniger als 0,002 mm betragen. Ist der Rundlauf größer als der zulässige Grenzwert, justieren Sie die Nivellierbolzen und prüfen Sie erneut.
Kalibrierung
Die Kalibrierung ist ein entscheidender Schritt, um die Genauigkeit und Präzision der Maschinenbasis sicherzustellen. Der Kalibrierungsprozess umfasst das Testen und Anpassen der Maschinenparameter, wie z. B. Geschwindigkeit, Positionierung und Genauigkeit, um sicherzustellen, dass die Maschine den Herstellervorgaben entspricht.
Zur Kalibrierung der Maschine benötigen Sie ein Kalibrierwerkzeug, beispielsweise ein Laserinterferometer, einen Lasertracker oder einen Kugelstab. Diese Werkzeuge messen Bewegung, Position und Ausrichtung der Maschine mit hoher Genauigkeit.
Beginnen Sie mit der Messung der linearen und Winkelachsen der Maschine. Verwenden Sie das Kalibrierwerkzeug, um die Bewegung und Position der Maschine über eine vorgegebene Strecke oder einen vorgegebenen Winkel zu messen. Vergleichen Sie die Messwerte mit den Herstellerangaben. Sollten Abweichungen auftreten, justieren Sie die Maschinenparameter, wie z. B. Motoren, Getriebe und Antriebe, um die Messwerte innerhalb der zulässigen Grenzen zu halten.
Testen Sie anschließend die Kreisinterpolationsfunktion der Maschine. Erstellen Sie mithilfe des Kalibrierwerkzeugs eine Kreisbahn und messen Sie die Bewegung und Position der Maschine. Vergleichen Sie die Messwerte erneut mit den Herstellerangaben und passen Sie die Parameter gegebenenfalls an.
Abschließend prüfen Sie die Wiederholgenauigkeit der Maschine. Messen Sie die Position der Maschine an verschiedenen Punkten über einen festgelegten Zeitraum. Vergleichen Sie die Messwerte und prüfen Sie auf Abweichungen. Falls Abweichungen auftreten, passen Sie die Maschinenparameter an und wiederholen Sie den Test.
Abschluss
Die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Granit-Maschinenfundaments für Waferbearbeitungsanlagen ist ein kritischer Prozess, der Geduld, Detailgenauigkeit und Präzision erfordert. Durch die Einhaltung dieser Schritte stellen Sie sicher, dass die Maschine den Herstellerspezifikationen entspricht und präzise, stabil und genau funktioniert.
Veröffentlichungsdatum: 28. Dezember 2023