Granit-Maschinensockel werden aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften wie hoher Steifigkeit, Stabilität und Präzision häufig in Waferverarbeitungsanlagen eingesetzt. Die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Granit-Maschinensockels ist ein kritischer Prozess, der höchste Sorgfalt, Präzision und Genauigkeit erfordert. In diesem Artikel erläutern wir Schritt für Schritt die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Granit-Maschinensockels für Waferverarbeitungsanlagen.
Zusammenbau
Der erste Schritt besteht darin, die Granit-Oberfläche, den Sockel und die Säule für die Montage vorzubereiten. Stellen Sie sicher, dass alle Oberflächen sauber, trocken und frei von Schmutz, Staub oder Öl sind. Setzen Sie die Nivellierbolzen in den Sockel ein und legen Sie die Oberfläche darauf. Stellen Sie die Nivellierbolzen so ein, dass die Oberfläche waagerecht und eben ist. Stellen Sie sicher, dass die Oberfläche bündig mit dem Sockel und der Säule abschließt.
Montieren Sie anschließend die Säule auf dem Sockel und befestigen Sie sie mit Schrauben. Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmomentschlüssel mit dem vom Hersteller empfohlenen Drehmomentwert fest. Überprüfen Sie die Nivellierung der Säule und passen Sie die Nivellierbolzen gegebenenfalls an.
Montieren Sie abschließend die Spindelbaugruppe oben auf der Säule. Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmomentschlüssel mit dem vom Hersteller empfohlenen Drehmomentwert fest. Überprüfen Sie die Nivellierung der Spindelbaugruppe und passen Sie die Nivellierbolzen gegebenenfalls an.
Testen
Nach der Montage des Maschinensockels besteht der nächste Schritt darin, dessen Funktionalität und Genauigkeit zu testen. Schließen Sie die Stromversorgung an und schalten Sie die Maschine ein. Stellen Sie sicher, dass alle Komponenten wie Motoren, Getriebe, Riemen und Lager ordnungsgemäß funktionieren und keine Auffälligkeiten oder ungewöhnlichen Geräusche auftreten.
Um die Genauigkeit der Maschine zu prüfen, messen Sie den Rundlauf der Spindel mit einer Präzisionsmessuhr. Setzen Sie die Messuhr auf die Messplatte und drehen Sie die Spindel. Der maximal zulässige Rundlauf sollte weniger als 0,002 mm betragen. Ist der Rundlauf größer als der zulässige Grenzwert, justieren Sie die Nivellierbolzen und überprüfen Sie erneut.
Kalibrierung
Die Kalibrierung ist der entscheidende Schritt zur Gewährleistung der Genauigkeit und Präzision der Maschinenbasis. Der Kalibrierungsprozess umfasst das Testen und Anpassen der Maschinenparameter wie Geschwindigkeit, Positionierung und Genauigkeit, um sicherzustellen, dass die Maschine den Herstellerspezifikationen entspricht.
Zur Kalibrierung der Maschine benötigen Sie ein Kalibrierungswerkzeug, z. B. ein Laserinterferometer, einen Lasertracker oder ein Kreisformmessgerät. Diese Werkzeuge messen die Bewegung, Position und Ausrichtung der Maschine mit hoher Genauigkeit.
Messen Sie zunächst die Linear- und Winkelachsen der Maschine. Verwenden Sie das Kalibrierwerkzeug, um die Bewegung und Position der Maschine über eine bestimmte Distanz oder einen bestimmten Winkel zu messen. Vergleichen Sie die Messwerte mit den Herstellerangaben. Bei Abweichungen korrigieren Sie die Maschinenparameter wie Motoren, Getriebe und Antriebe, um die Messwerte innerhalb der zulässigen Grenzen zu halten.
Testen Sie anschließend die Kreisinterpolationsfunktion der Maschine. Erstellen Sie mit dem Kalibrierungstool eine Kreisbahn und messen Sie die Bewegung und Position der Maschine. Vergleichen Sie die Messwerte erneut mit den Herstellerangaben und passen Sie die Parameter gegebenenfalls an.
Testen Sie abschließend die Wiederholgenauigkeit der Maschine. Messen Sie die Position der Maschine über einen bestimmten Zeitraum an verschiedenen Punkten. Vergleichen Sie die Messwerte und prüfen Sie, ob Abweichungen vorliegen. Passen Sie bei Abweichungen die Maschinenparameter an und wiederholen Sie den Test.
Abschluss
Das Zusammenbauen, Testen und Kalibrieren einer Granit-Maschinenbasis für Waferverarbeitungsanlagen ist ein kritischer Prozess, der Geduld, Liebe zum Detail und Präzision erfordert. Mit diesen Schritten stellen Sie sicher, dass die Maschine den Herstellerspezifikationen entspricht und präzise, stabil und präzise funktioniert.
Veröffentlichungszeit: 28. Dezember 2023