Maschinenbasen aus Granit werden aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften wie hoher Steifigkeit, Stabilität und Präzision häufig in Produkten für die Waferverarbeitung verwendet.Das Zusammenbauen, Testen und Kalibrieren einer Granit-Maschinenbasis ist ein kritischer Prozess, der höchste Liebe zum Detail, Präzision und Genauigkeit erfordert.In diesem Artikel besprechen wir den schrittweisen Prozess der Montage, Prüfung und Kalibrierung einer Granit-Maschinenbasis für Wafer-Verarbeitungsgeräte.
Zusammenbau
Der erste Schritt besteht darin, die Granitoberfläche, den Sockel und die Säule für die Montage vorzubereiten.Stellen Sie sicher, dass alle Oberflächen sauber, trocken und frei von Schmutz, Staub oder Öl sind.Setzen Sie die Nivellierbolzen in den Sockel ein und platzieren Sie die Oberflächenplatte darauf.Stellen Sie die Nivellierbolzen so ein, dass die Oberflächenplatte horizontal und eben ist.Stellen Sie sicher, dass die Oberflächenplatte bündig mit der Basis und der Säule abschließt.
Als nächstes installieren Sie die Säule auf der Basis und befestigen Sie sie mit Schrauben.Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmomentschlüssel mit dem vom Hersteller empfohlenen Drehmomentwert an.Überprüfen Sie die Nivellierung der Säule und passen Sie die Nivellierbolzen bei Bedarf an.
Zum Schluss installieren Sie die Spindelbaugruppe oben auf der Säule.Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmomentschlüssel mit dem vom Hersteller empfohlenen Drehmomentwert an.Überprüfen Sie die Nivellierung der Spindelbaugruppe und passen Sie die Nivellierbolzen bei Bedarf an.
Testen
Nach dem Zusammenbau der Maschinenbasis besteht der nächste Schritt darin, ihre Funktionalität und Genauigkeit zu testen.Schließen Sie die Stromversorgung an und schalten Sie die Maschine ein.Stellen Sie sicher, dass alle Komponenten wie Motoren, Getriebe, Riemen und Lager ordnungsgemäß funktionieren und keine Auffälligkeiten oder ungewöhnlichen Geräusche aufweisen.
Um die Genauigkeit der Maschine zu testen, verwenden Sie eine Präzisionsmessuhr, um den Rundlauf der Spindel zu messen.Setzen Sie die Messuhr auf die Richtplatte und drehen Sie die Spindel.Der maximal zulässige Rundlauf sollte weniger als 0,002 mm betragen.Wenn die Unrundheit den zulässigen Grenzwert überschreitet, stellen Sie die Nivellierbolzen ein und prüfen Sie erneut.
Kalibrierung
Die Kalibrierung ist der entscheidende Schritt zur Gewährleistung der Genauigkeit und Präzision der Maschinenbasis.Der Kalibrierungsprozess umfasst das Testen und Anpassen der Maschinenparameter wie Geschwindigkeit, Positionierung und Genauigkeit, um sicherzustellen, dass die Maschine den Spezifikationen des Herstellers entspricht.
Um die Maschine zu kalibrieren, benötigen Sie ein Kalibrierungswerkzeug, zu dem ein Laserinterferometer, ein Lasertracker oder eine Kugelstange gehören.Diese Werkzeuge messen die Bewegung, Position und Ausrichtung der Maschine mit hoher Genauigkeit.
Beginnen Sie mit der Messung der Linear- und Winkelachsen der Maschine.Verwenden Sie das Kalibrierungstool, um die Bewegung und Position der Maschine über eine bestimmte Entfernung oder einen bestimmten Winkel zu messen.Vergleichen Sie die Messwerte mit den Herstellerangaben.Passen Sie bei Abweichungen die Parameter der Maschine wie Motoren, Getriebe und Antriebe an, um die Messwerte innerhalb der zulässigen Grenzen zu bringen.
Testen Sie als Nächstes die Kreisinterpolationsfunktion der Maschine.Erstellen Sie mit dem Kalibrierungswerkzeug eine kreisförmige Bahn und messen Sie die Bewegung und Position der Maschine.Vergleichen Sie erneut die Messwerte mit den Herstellerangaben und passen Sie die Parameter gegebenenfalls an.
Testen Sie abschließend die Wiederholgenauigkeit der Maschine.Messen Sie die Position der Maschine an verschiedenen Punkten über einen bestimmten Zeitraum.Vergleichen Sie die Messwerte und prüfen Sie, ob Abweichungen vorliegen.Bei Abweichungen Maschinenparameter anpassen und Test wiederholen.
Abschluss
Das Zusammenbauen, Testen und Kalibrieren einer Granit-Maschinenbasis für Wafer-Verarbeitungsgeräte ist ein kritischer Prozess, der Geduld, Liebe zum Detail und Präzision erfordert.Wenn Sie diese Schritte befolgen, können Sie sicherstellen, dass die Maschine den Spezifikationen des Herstellers entspricht und mit Genauigkeit, Stabilität und Präzision funktioniert.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 28. Dezember 2023