Granitmaschinenbasen werden aufgrund ihrer überlegenen Eigenschaften wie hoher Steifheit, Stabilität und Präzision stark in Produkte für Waferverarbeitungsgeräte verwendet. Das Montieren, Testen und Kalibrieren einer Granitmaschinenbasis ist ein kritischer Prozess, der die Aufmerksamkeit für Details, Präzision und Genauigkeit erfordert. In diesem Artikel werden wir den Schritt-für-Schritt-Prozess des Zusammenbaus, Testen und Kalibrierens einer Granitmaschinenbasis für Waferverarbeitungsgeräte erörtern.
Zusammenstellung
Der erste Schritt besteht darin, die Granitoberflächenplatte, die Basis und die Säule für die Montage vorzubereiten. Stellen Sie sicher, dass alle Oberflächen sauber, trocken und frei von Schmutz, Staub oder Öl sind. Setzen Sie die Nivellierungsstufen in die Basis ein und legen Sie die Oberflächenplatte darauf. Stellen Sie die Nivellierungsstufen so ein, dass die Oberflächenplatte horizontal und eben ist. Stellen Sie sicher, dass die Oberflächenplatte mit Basis und Säule bündig ist.
Installieren Sie als nächstes die Spalte auf der Basis und befestigen Sie sie mit Schrauben. Verwenden Sie einen Drehmomentschlüssel, um die Schrauben mit dem empfohlenen Drehmomentwert des Herstellers festzuziehen. Überprüfen Sie die Pegel der Spalte und passen Sie die Nivellierungsstufen gegebenenfalls an.
Installieren Sie schließlich die Spindelbaugruppe oben in der Spalte. Verwenden Sie einen Drehmomentschlüssel, um die Schrauben mit dem empfohlenen Drehmomentwert des Herstellers festzuziehen. Überprüfen Sie den Spiegel der Spindelbaugruppe und passen Sie die Nivellierungsstufen gegebenenfalls ein.
Testen
Nach dem Zusammenbau der Maschinenbasis besteht der nächste Schritt darin, seine Funktionalität und Genauigkeit zu testen. Schließen Sie das Netzteil an und schalten Sie die Maschine ein. Stellen Sie sicher, dass alle Komponenten wie Motoren, Zahnräder, Gürtel und Lager ordnungsgemäß und ohne Anomalien oder ungewöhnliche Geräusche funktionieren.
Verwenden Sie, um die Genauigkeit der Maschine zu testen, eine Präzisions -Zifferblattanzeige, um den Auslauf der Spindel zu messen. Stellen Sie die Zifferblattanzeige auf die Oberflächenplatte ein und drehen Sie die Spindel. Der maximal zulässige Auslauf sollte weniger als 0,002 mm betragen. Wenn der Runout größer als das zulässige Grenzwert ist, passen Sie die Nivellierungsstufen an und überprüfen Sie erneut.
Kalibrierung
Kalibrierung ist der kritische Schritt, um die Genauigkeit und Präzision der Maschinenbasis zu gewährleisten. Der Kalibrierungsprozess umfasst das Testen und Anpassen der Parameter der Maschine wie Geschwindigkeit, Positionierung und Genauigkeit, um sicherzustellen, dass die Maschine den Spezifikationen des Herstellers erfüllt.
Um die Maschine zu kalibrieren, benötigen Sie ein Kalibrierungswerkzeug, das einen Laserinterferometer, einen Laser -Tracker oder eine Ballbar enthält. Diese Werkzeuge messen die Bewegung, Position und Ausrichtung der Maschine mit hoher Genauigkeit.
Beginnen Sie zunächst die linearen und eckigen Achsen der Maschine. Verwenden Sie das Kalibrierungswerkzeug, um die Bewegung und Position der Maschine über einen bestimmten Abstand oder einen bestimmten Winkel zu messen. Vergleichen Sie die gemessenen Werte mit den Spezifikationen des Herstellers. Wenn es Abweichungen gibt, passen Sie die Parameter der Maschine wie die Motoren, Zahnräder und Laufwerke an, um die gemessenen Werte innerhalb der zulässigen Grenzen zu bringen.
Testen Sie als nächstes die kreisförmige Interpolationsfunktion der Maschine. Verwenden Sie das Kalibrierungswerkzeug, um einen kreisförmigen Pfad zu erstellen und die Bewegung und Position der Maschine zu messen. Vergleichen Sie erneut die gemessenen Werte mit den Spezifikationen des Herstellers und passen Sie die Parameter gegebenenfalls an.
Testen Sie schließlich die Wiederholbarkeit der Maschine. Messen Sie die Position der Maschine an verschiedenen Stellen über einen bestimmten Zeitraum. Vergleichen Sie die gemessenen Werte und prüfen Sie auf Abweichungen. Wenn es Abweichungen gibt, passen Sie die Parameter der Maschine an und wiederholen Sie den Test.
Abschluss
Das Montieren, Testen und Kalibrieren einer Granitmaschinenbasis für Produkte für Waferverarbeitungsgeräte ist ein kritischer Prozess, der Geduld, Liebe zum Detail und Präzision erfordert. Wenn Sie diese Schritte befolgen, können Sie sicherstellen, dass die Maschine die Spezifikationen und Funktionen des Herstellers mit Genauigkeit, Stabilität und Präzision erfüllt.
Postzeit: Dez.-28-2023