Granit-Maschinenbetten werden aufgrund ihrer hervorragenden Stabilität, Steifigkeit und Vibrationsdämpfungseigenschaften häufig in Wafer-Verarbeitungsgeräten verwendet.Die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Maschinenbetts aus Granit erfordert eine präzise und sorgfältige Vorgehensweise, um eine genaue und zuverlässige Leistung sicherzustellen.In diesem Artikel führen wir Sie Schritt für Schritt durch den Zusammenbau, das Testen und die Kalibrierung eines Granit-Maschinenbetts für Wafer-Verarbeitungsgeräte.
Schritt 1: Überprüfen und Vorbereiten der Granitoberflächenplatte
Der erste Schritt besteht darin, die Granitoberfläche auf etwaige Mängel oder Beschädigungen zu prüfen.Untersuchen Sie die Platte auf Risse, Absplitterungen oder Kratzer und stellen Sie sicher, dass sie sauber und frei von Rückständen ist.Wenn Sie Schäden oder Mängel feststellen, muss die Platte repariert oder ersetzt werden.
Nachdem Sie die Oberflächenplatte überprüft haben, verwenden Sie eine Wasserwaage, um sicherzustellen, dass sie vollkommen eben ist.Sollten Abweichungen von der Ebenheit festgestellt werden, müssen diese durch Unterlegscheiben oder andere Nivellierausgleiche korrigiert werden.
Schritt 2: Platzieren des Granit-Maschinenbetts
Im zweiten Schritt wird das Maschinenbett aus Granit in seine endgültige Position gebracht.Stellen Sie sicher, dass das Bett eben und stabil ist, und richten Sie es mit dem Rest der Wafer-Verarbeitungsausrüstung aus.Das Maschinenbett aus Granit sollte sicher befestigt sein, um jegliche Bewegung während des Gebrauchs zu verhindern.
Schritt 3: Anbringen der Komponenten der Wafer-Verarbeitungsausrüstung
Im dritten Schritt werden die Komponenten der Wafer-Bearbeitungsanlage am Maschinenbett aus Granit befestigt.Dies sollte sorgfältig erfolgen, die Anweisungen des Herstellers befolgen und sicherstellen, dass alle Komponenten sicher befestigt sind.
Schritt 4: Testen des Granit-Maschinenbetts auf Stabilität und Vibrationsdämpfung
Nachdem alle Komponenten der Wafer-Bearbeitungsanlage angebracht sind, müssen die Stabilität und Vibrationsdämpfungseigenschaften des Maschinenbetts aus Granit getestet werden.Schließen Sie dazu die Wafer-Bearbeitungsausrüstung an einen Vibrationsanalysator an und führen Sie eine Reihe von Tests durch.
Diese Tests helfen dabei, etwaige Vibrationsquellen und die Amplitude der Vibrationen zu identifizieren, die das Maschinenbett aus Granit absorbieren kann.Alle bei diesen Tests festgestellten Probleme sollten behoben und das Schwingungsdämpfungssystem des Granit-Maschinenbetts entsprechend angepasst werden.
Schritt 5: Kalibrieren des Granit-Maschinenbetts
Nachdem die Stabilität und Vibrationsdämpfungseigenschaften des Maschinenbetts aus Granit getestet und eingestellt wurden, muss das Bett kalibriert werden, damit es mit höchster Präzision verwendet werden kann.Dabei wird mit einem hochpräzisen Messsystem die Ebenheit der Richtplatte ermittelt und die Höhe des Maschinenbetts entsprechend angepasst.
Abschluss
Die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Maschinenbetts aus Granit erfordert eine präzise und sorgfältige Vorgehensweise, um eine genaue und zuverlässige Leistung sicherzustellen.Wenn Sie diese Schritte befolgen, können Sie sicherstellen, dass Ihre Waferverarbeitungsgeräte auf einem stabilen und stabilen Fundament stehen, was für genaue Präzision und zuverlässige Leistung von entscheidender Bedeutung ist.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 29. Dezember 2023