Maschinenbetten aus Granit werden aufgrund ihrer hervorragenden Stabilität, Steifigkeit und Schwingungsdämpfung häufig in Waferverarbeitungsanlagen eingesetzt. Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Maschinenbetts aus Granit erfordern eine präzise und sorgfältige Vorgehensweise, um eine genaue und zuverlässige Leistung zu gewährleisten. In diesem Artikel führen wir Sie Schritt für Schritt durch die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Maschinenbetts aus Granit für Waferverarbeitungsanlagen.
Schritt 1: Überprüfung und Vorbereitung der Granitoberfläche
Der erste Schritt besteht darin, die Granitplatte auf Mängel oder Schäden zu überprüfen. Untersuchen Sie die Platte auf Risse, Absplitterungen oder Kratzer und stellen Sie sicher, dass sie sauber und frei von Ablagerungen ist. Sollten Sie Schäden oder Mängel feststellen, muss die Platte repariert oder ersetzt werden.
Überprüfen Sie nach der Überprüfung der Messplatte mit einer Wasserwaage, ob sie vollkommen eben ist. Sollten Abweichungen von der Ebenheit festgestellt werden, müssen diese mit Unterlegscheiben oder anderen Nivellierungseinstellungen korrigiert werden.
Schritt 2: Platzieren des Granitmaschinenbetts
Im zweiten Schritt wird das Granit-Maschinenbett in seine endgültige Position gebracht. Stellen Sie sicher, dass das Bett eben und stabil steht, und richten Sie es an der restlichen Waferverarbeitungsanlage aus. Das Granit-Maschinenbett sollte sicher befestigt werden, um Bewegungen während des Betriebs zu verhindern.
Schritt 3: Anbringen der Komponenten der Wafer-Verarbeitungsanlage
Im dritten Schritt werden die Komponenten der Wafer-Verarbeitungsanlage am Granit-Maschinenbett befestigt. Dabei ist sorgfältig vorzugehen. Befolgen Sie die Anweisungen des Herstellers und stellen Sie sicher, dass alle Komponenten sicher befestigt sind.
Schritt 4: Prüfung des Granit-Maschinenbetts auf Stabilität und Schwingungsdämpfung
Nachdem alle Komponenten der Wafer-Verarbeitungsanlage montiert sind, müssen die Stabilität und die Schwingungsdämpfung des Granit-Maschinenbetts getestet werden. Schließen Sie dazu die Wafer-Verarbeitungsanlage an einen Schwingungsanalysator an und führen Sie eine Reihe von Tests durch.
Diese Tests helfen dabei, Vibrationsquellen zu identifizieren und die Schwingungsamplitude zu ermitteln, die das Granitmaschinenbett absorbieren kann. Alle bei diesen Tests festgestellten Probleme sollten behoben und das Schwingungsdämpfungssystem des Granitmaschinenbetts entsprechend angepasst werden.
Schritt 5: Kalibrieren des Granit-Maschinenbetts
Nachdem die Stabilität und die schwingungsdämpfenden Eigenschaften des Granit-Maschinenbetts geprüft und eingestellt wurden, muss das Bett kalibriert werden, um es präzise einsetzen zu können. Dabei wird mit einem hochpräzisen Messsystem die Ebenheit der Messplatte ermittelt und das Maschinenbett entsprechend nivelliert.
Abschluss
Die Montage, Prüfung und Kalibrierung eines Granitmaschinenbetts erfordert eine präzise und sorgfältige Vorgehensweise, um eine genaue und zuverlässige Leistung zu gewährleisten. Mit diesen Schritten stellen Sie sicher, dass Ihre Waferverarbeitungsgeräte auf einem stabilen und robusten Fundament stehen, das für höchste Präzision und zuverlässige Leistung unerlässlich ist.
Veröffentlichungszeit: 29. Dezember 2023