Bei der Herstellung von Halbleiterwafern wirkt sich die Auswahl der Basismaterialien direkt auf die Genauigkeit der Anlagen und die Produktionsausbeute aus. Einige unseriöse Lieferanten geben Marmor als natürlichen Granit aus und geben minderwertige Ware als hochwertige Ware aus. Die Beherrschung der Identifizierungsmethoden beider Materialien ist der Schlüssel zum stabilen Betrieb der Waferanlagen. Dieser Artikel erläutert die Unterschiede anhand von vier Hauptdimensionen, um Ihnen zu helfen, die Falle minderwertiger Ersatzprodukte zu vermeiden.
I. Dichte und Härte: Die intuitivsten physischen „Ausweise“
Natürlicher Granit: Mit einer Dichte von 2600–3100 kg/m³, einer Mohshärte von 6–7 und einem klaren Klang beim Anschlagen. Der von ZHHIMG® ausgewählte schwarze Granit hat eine Dichte von über 3000 kg/m³ und hält einer gleichmäßigen Belastung von mehr als 1000 kg/m² stand.
Marmor: Mit einer Dichte von nur 2500–2700 kg/m³, einer Härte von 3–5 und einem dumpfen Klang beim Anschlagen. Kratzt man leicht mit einer Münze über die Oberfläche, hinterlässt Marmor leicht Spuren, während Granit nahezu unbeschädigt bleibt.
II. Strukturelle Merkmale: „Fehler“ unter dem Mikroskop
Natürlicher Granit: Er besteht aus eng miteinander verwobenen Mineralpartikeln wie Quarz und Feldspat und weist eine Porosität von weniger als 0,5 % auf. Ultraschallprüfungen zeigen keine offensichtlichen inneren Defekte.
Marmor: Sein Hauptbestandteil ist Calciumcarbonat. Er weist eine lockere Kristallstruktur und eine Porosität von 1–3 % auf und neigt dazu, Wasser aufzunehmen und sich auszudehnen. In der Hochtemperaturumgebung von Waferanlagen kann es aufgrund von Wärmeausdehnung und -kontraktion zu Präzisionsabweichungen von mehr als ±5 μm kommen.
III. Leistungstests: Der „Zauberspiegel“ im realen Kampf
IV. Authentifizierung und Rückverfolgbarkeit: Zuverlässiger „Identitätsnachweis“
Formale Granitbasis: Es liegen ein ISO 9001-Qualitätszertifikat und ein SGS-Testbericht zur Mineralzusammensetzung vor, und der Ursprung der Mineralader kann zurückverfolgt werden (z. B. Jinan Black, Shandong, Indian Black).
Ersatzstoffe von geringer Qualität: Ohne verbindliche Zertifizierung oder vage als „Granitmaterial“ beschrieben, handelt es sich dabei tatsächlich um gefärbten Marmor und es können keine detaillierten Testdaten bereitgestellt werden.
Leitfaden zur Vermeidung von Fallstricken: Drei Tricks für eine hochwertige Basis
Prüfen Sie das Zertifikat: Fordern Sie vom Lieferanten die Vorlage der Prüfberichte zu Dichte, Härte und Wärmeausdehnungskoeffizienten an;
Testleistung: Simulieren Sie die Betriebsumgebung der Waferausrüstung, um die Stabilität der Basis bei Vibrationen und Temperaturänderungen zu testen.
Um der Billigfalle kleiner Werkstätten zu entgehen, sollten Sie bei der Markenwahl Herstellern wie ZHHIMG® den Vorzug geben, die die ISO-Drei-System-Zertifizierung bestanden haben.
Veröffentlichungszeit: 10. Juni 2025