Granit ist ein hartes und langlebiges Material, das häufig in der Bauindustrie verwendet wird. Es gibt jedoch auch Eigenschaften, die es bei der Herstellung von Halbleitern nützlich machen, insbesondere bei der Herstellung und Verarbeitung integrierter Schaltungen. Granitkomponenten wie Granittische und Granitblöcke werden häufig für ihre Stabilität, Flachheit und niedrige thermische Expansionskoeffizienten verwendet.
Eine der primären Verwendungen von Granitkomponenten in der Herstellung von Halbleitern ist im Herstellungsprozess. Siliziumwafer, die grundlegenden Bausteine integrierter Schaltungen, müssen mit hoher Präzision und Genauigkeit hergestellt werden. Jede Verzerrung oder Bewegung während des Prozesses kann zu Mängel führen, die die Qualität und Funktionalität der integrierten Schaltungen beeinflussen können. Granittische mit hoher Stabilität und Flachheit bieten eine gute Plattform für die Waferverarbeitungsgeräte. Sie sind auch gegen thermische Expansion und Kontraktion resistent, die durch die im Prozess erforderliche Erwärmung und Kühlung verursacht werden.
Granitblöcke werden auch in der Halbleiterverarbeitung für ihre thermische Stabilität verwendet. Während der Ätzen- oder Abscheidungsprozesse werden heiße Gase oder Plasmen verwendet, um die Oberfläche des Siliziumwafers zu modifizieren. Die Temperatur des Wafers muss kontrolliert werden, um sicherzustellen, dass der Prozess effizient und genau durchgeführt wird. Granitblöcke mit ihrem niedrigen thermischen Expansionskoeffizienten tragen dazu bei, die Temperatur des Wafers zu stabilisieren und das Risiko von Temperaturschwankungen zu verringern, die die Qualität des verarbeiteten Materials beeinflussen könnten.
Neben den Herstellung und Verarbeitungsprozessen werden auch Granitkomponenten in der Metrologie- und Inspektionsphase der Semiconductor -Herstellung verwendet. Messungen werden durchgeführt, um sicherzustellen, dass die Größe, Form und Position der Strukturen am Wafer innerhalb der erforderlichen Spezifikationen liegen. Granitblöcke werden in diesen Messungen aufgrund ihrer dimensionalen Stabilität und Genauigkeit als Referenzstandards verwendet. Sie werden auch in Inspektionsphasen verwendet, in denen die Qualität der integrierten Schaltungen unter hoher Vergrößerung überprüft wird.
Insgesamt hat die Verwendung von Granitkomponenten in der Herstellung von Halbleiter in den letzten Jahren zugenommen. Die Notwendigkeit von hoher Präzision, Genauigkeit und Stabilität bei der Herstellung und Verarbeitung integrierter Schaltungen hat die Einführung dieser Materialien durch Halbleiterhersteller vorangetrieben. Die einzigartigen Eigenschaften von Granit, wie seine Härte, Stabilität und niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient, machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Verwendung dieser Prozesse. Mit der fortgesetzten Entwicklung und Verbesserung der Halbleitertechnologie wird erwartet, dass die Verwendung von Granitkomponenten in Zukunft weiter wächst.
Postzeit: Dezember 05-2023