In der Halbleiter- und optoelektronischen Fertigungstechnik wird Granit hauptsächlich für Schlüsselkomponenten wie Präzisionsbewegungsplattformen, Führungsschienenbasen, Schwingungsdämpfungsstrukturen und Montagesubstrate für optische Komponenten eingesetzt. Diese Bauteile unterliegen extrem hohen Anforderungen an Präzision, Stabilität und Umweltbeständigkeit. Die Eigenschaften von Granit erfüllen präzise die strengen Anforderungen der Halbleiter- und optoelektronischen Industrie. Im Folgenden werden spezifische Anwendungsszenarien und Vorteile analysiert:
I. Hauptanwendungsbereiche
Präzisionsbewegungsplattformen (wie z. B. Waferplattformen für Fotolithografiemaschinen und Bondmaschinen)
Es dient zum Transport von Präzisionsbauteilen wie Wafern und optischen Linsen und ermöglicht Translations- und Rotationsbewegungen mit nanometergenauer Präzision.
Typische Ausrüstung: Werkstücktisch der Fotolithografiemaschine, Positionierplattform des Messgeräts.
Führungsschienenfuß und Rahmenkonstruktion
Als Montagebasis für Linearführungen und Luftfederführungen stützt sie den zentralen Bewegungsmechanismus der Anlage.
Typische Ausrüstung: mechanische Rahmen von Halbleiterverpackungsanlagen und optischen Inspektionsinstrumenten.
Schwingungsisolierungsstütze und Stabilisierungsstruktur
Es dient zur Isolierung externer Vibrationen (wie Vibrationen vom Fabrikboden oder während des Gerätebetriebs) und gewährleistet so die Stabilität optischer Systeme oder Präzisionsmaschinen.
Typische Anwendungsfälle: Basishalterung für optische Mikroskope und Laserinterferometer.
Montagesubstrat für optische Komponenten
Optische Geräte wie Spiegel, Prismen und Laser müssen so eingestellt werden, dass die langfristige Stabilität der Ausrichtungsgenauigkeit des optischen Strahlengangsystems gewährleistet ist.
Typische Ausrüstung: Optoelektronische Verpackungsanlagen, optische Faserkopplungssysteme.
Veröffentlichungsdatum: 29. Mai 2025