In der Halbleiter- und Optoelektronik-Fertigung wird Granit hauptsächlich für Schlüsselkomponenten wie Präzisions-Bewegungsplattformen, Führungsschienen, Schwingungsisolationsstrukturen und Montagesubstrate für optische Komponenten verwendet. Diese Teile stellen extrem hohe Anforderungen an Präzision, Stabilität und Umweltverträglichkeit. Die Eigenschaften von Granit erfüllen die strengen Anforderungen der Halbleiter- und Optoelektronikindustrie präzise. Nachfolgend werden spezifische Anwendungsszenarien und Vorteile analysiert:
I. Hauptanwendungsteile
Präzisionsbewegungsplattformen (wie Waferplattformen für Fotolithografiemaschinen und Bondmaschinen)
Es wird zum Transport von Präzisionskomponenten wie Wafern und optischen Linsen verwendet und ermöglicht Translations- und Rotationsbewegungen mit Nanogenauigkeit.
Typische Ausrüstung: Werkstücktisch einer Fotolithografiemaschine, Positionierungsplattform einer Messeinrichtung.
Führungsschienenbasis und Rahmenkonstruktion
Als Installationsbasis für Linearführungen und Luftführungen unterstützt es den Kernbewegungsmechanismus der Ausrüstung.
Typische Geräte: mechanische Rahmen von Halbleiterverpackungsgeräten und optische Inspektionsinstrumente.
Schwingungsisolierende Stütz- und Stabilisierungsstruktur
Es dient zur Isolierung externer Vibrationen (z. B. Vibrationen vom Fabrikboden oder während des Gerätebetriebs) und gewährleistet so die Stabilität optischer Systeme oder Präzisionsmaschinen.
Typische Szenarien: Basisunterstützung für optische Mikroskope und Laserinterferometer.
Montagesubstrat für optische Komponenten
Fixieren Sie optische Geräte wie Spiegel, Prismen und Laser, um die langfristige Stabilität der Ausrichtungsgenauigkeit des optischen Pfadsystems sicherzustellen.
Typische Geräte: Optoelektronische Verpackungsgeräte, Glasfaserkopplungssysteme.
Veröffentlichungszeit: 29. Mai 2025