Granit zählt zu den beliebtesten Werkstoffen in Halbleiterbauelementen. Es handelt sich um ein hartes, magmatisches Gestein, das in verschiedenen Grau-, Rosa- und Weißtönen vorkommt. Granit zeichnet sich durch seine Langlebigkeit, seinen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und seine hervorragende Wärmeleitfähigkeit aus und ist daher ein ideales Material für den Einsatz in Subsystemen von Halbleiterbauelementen.
Eines der wichtigsten Teilsysteme, das Granit in Halbleiterbauelementen verwendet, ist das Wafer-Handling- und -Bearbeitungssystem. Dieses Teilsystem spielt eine entscheidende Rolle im Herstellungsprozess von Halbleiterbauelementen. Der Wafer ist das Ausgangssubstrat für das Bauelement, und das Handhabungs- und Bearbeitungssystem ist für den Transfer der Wafer zwischen verschiedenen Kammern und Bearbeitungsanlagen verantwortlich. Granit wird verwendet, um hochpräzise und ebene Wafer-Handling-Oberflächen zu erzeugen und eine stabile Plattform für die Waferbearbeitung zu bieten.
Ein weiteres wichtiges Teilsystem, das Granit verwendet, ist das Vakuumsystem. In der Halbleiterfertigung werden Vakuumkammern eingesetzt, um Verunreinigungen zu vermeiden. Für die effektive Funktion dieses Systems muss die Kammer vollständig abgedichtet sein – und hier kommt Granit ins Spiel. Granit ist ein ideales Material für Vakuumkammern, da es sehr geringe Ausgasungsraten aufweist und ein stabiles Vakuumumfeld aufrechterhalten kann. Darüber hinaus ermöglicht die hohe Bearbeitungsgenauigkeit von Granit die Herstellung einer perfekten Abdichtung und somit die Gewährleistung eines zuverlässigen Vakuumumfelds für die Waferbearbeitung.
Das Ausrichtungssystem ist ein weiteres wichtiges System, das die einzigartigen Eigenschaften von Granit nutzt. Es ist für die präzise und genaue Ausrichtung verschiedener Teile von Halbleiterbauelementen verantwortlich. Granit wird bei der Konstruktion der Ausrichtungsstufen verwendet, um hohe Steifigkeit und Stabilität zu gewährleisten. Die hohe Steifigkeit von Granit trägt zu einer hohen Ausrichtungsgenauigkeit bei und ermöglicht so die Herstellung hochpräziser und zuverlässiger Halbleiterbauelemente.
Schließlich ist das Metrologie-Subsystem ein weiteres System von Halbleiterbauelementen, das Granit verwendet. Die Metrologie spielt eine wesentliche Rolle bei der Waferbearbeitung, und die Genauigkeit dieses Subsystems ist entscheidend für die Qualität der Bauelemente. Granit bietet eine stabile und steife Plattform, die dazu beiträgt, Vibrationen zu reduzieren und die Auswirkungen von Temperaturschwankungen zu minimieren. Dies wiederum ermöglicht hochpräzise Messungen im Metrologie-Subsystem und trägt somit zur Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente bei.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit ein entscheidender Werkstoff für die Herstellung von Halbleiterbauelementen ist. Seine einzigartigen Eigenschaften wie hohe Steifigkeit, geringe Wärmeausdehnung und hervorragende Wärmeleitfähigkeit machen ihn zu einem exzellenten Material für verschiedene Subsysteme in Halbleiterbauelementen, darunter Waferhandhabung und -bearbeitung, Vakuumsysteme, Ausrichtungssysteme und Messtechnik. Darüber hinaus hat der Einsatz von Granit in der Halbleiterindustrie zur Entwicklung hochpräziser, zuverlässiger und effizienter Bauelemente beigetragen, die zahlreiche Branchen revolutioniert haben.
Veröffentlichungsdatum: 19. März 2024