Granit ist eines der beliebtesten Materialien, die in Halbleitergeräten verwendet werden. Es ist eine Art harter, magmatischer Gestein, der in verschiedenen Grau-, Rosa- und Weißtönen erhältlich ist. Granit ist bekannt für seine Haltbarkeit, einen niedrigen thermischen Expansionskoeffizienten und eine hervorragende thermische Leitfähigkeit, was es zu einem idealen Material für die Verwendung in Subsystemen der Halbleitervorrichtung macht.
Eines der primären Subsysteme, die Granit in Halbleitergeräten verwenden, ist das Wafer -Handling und -verarbeitungssubsystem. Dieses Subsystem spielt eine entscheidende Rolle im Herstellungsprozess von Halbleitergeräten. Der Wafer ist das Startsubstrat für das Gerät, und das Handhabungs- und Verarbeitungssubsystem ist für die Übertragung von Wafern zwischen verschiedenen Kammern und Verarbeitungsgeräten verantwortlich. Granit wird verwendet, um hochpräzise und flache Waferhandhabungsflächen zu erzeugen, und bietet eine stabile Plattform für die Waferverarbeitung.
Ein weiteres kritisches Subsystem, das Granit verwendet, ist das Vakuum -Subsystem. In Halbleitergeräten werden Vakuumkammern verwendet, um Kontaminationen während der Herstellung zu vermeiden. Damit dieses System effektiv wirkt, muss die Kammer vollständig versiegelt sein, wo Granit ins Spiel kommt. Granit ist ein ideales Material für Vakuumkammern, da sie sehr niedrige Outgas -Raten aufweist und eine stabile Vakuumumgebung aufrechterhalten kann. Darüber hinaus ermöglicht die hohe Bearbeitungsgenauigkeit von Granit die Erstellung eines perfekten Siegels und bietet eine zuverlässige Vakuumumgebung für die Waferverarbeitung.
Das Ausrichtungssubsystem ist ein weiteres kritisches System, das die einzigartigen Eigenschaften von Granit verwendet. Dieses Subsystem ist für die Ausrichtung verschiedener Teile von Halbleitergeräten mit Präzision und Genauigkeit verantwortlich. Granit wird für die Auslegung und Konstruktion der Ausrichtungsstadien verwendet, um eine hohe Starrheit und Stabilität zu gewährleisten. Die hohe Steifheit von Granit trägt dazu bei, die Genauigkeit der hohen Ausrichtung zu erreichen, was zur Herstellung von hochpräzise und zuverlässigen Halbleitergeräten führt.
Schließlich ist das Metrologie -Subsystem ein weiteres System von Halbleitergeräten, das Granit verwendet. Metrologie spielt eine wesentliche Rolle bei der Waferverarbeitung, und die Genauigkeit dieses Subsystems ist entscheidend für die Sicherstellung der Qualität des Geräts. Granit bietet eine stabile und steife Plattform, die bei der Reduzierung von Vibrationen und zur Minimierung der Auswirkung von Temperaturschwankungen hilft. Dies wiederum trägt dazu bei, hoch genaue Messungen im Metrologie-Subsystem zu erreichen, was zur Herstellung hochwertiger Halbleitergeräte führt.
Zusammenfassend ist Granit ein entscheidendes Material bei der Herstellung von Halbleitergeräten. Es sind einzigartige Eigenschaften wie hohe Steifigkeit, niedrige thermische Expansion und hervorragende thermische Leitfähigkeit zu einem hervorragenden Material für mehrere Subsysteme in Halbleitergeräten, einschließlich Waferhandhabung und -verarbeitung, Vakuum -Subsystem, Subsystem aus dem Alignment und dem Metrologie -Subsystem. Darüber hinaus hat die Verwendung von Granit in Halbleitergeräten bei der Herstellung von hochpräzise, zuverlässigen und effizienten Geräten geholfen, die zahlreiche Branchen verändert haben.
Postzeit: März 19. bis 2024