Granit ist eines der beliebtesten Materialien für Halbleitergeräte.Es handelt sich um eine Art hartes, magmatisches Gestein, das in verschiedenen Grau-, Rosa- und Weißtönen erhältlich ist.Granit ist für seine Haltbarkeit, seinen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und seine hervorragende Wärmeleitfähigkeit bekannt, was ihn zu einem idealen Material für den Einsatz in Halbleiterbauelement-Subsystemen macht.
Eines der wichtigsten Subsysteme, die Granit in Halbleiterbauelementen verwenden, ist das Wafer-Handling- und Verarbeitungs-Subsystem.Dieses Subsystem spielt eine entscheidende Rolle im Herstellungsprozess von Halbleiterbauelementen.Der Wafer ist das Ausgangssubstrat für das Gerät, und das Handhabungs- und Verarbeitungssubsystem ist für den Transfer der Wafer zwischen verschiedenen Kammern und Verarbeitungsgeräten verantwortlich.Granit wird zur Herstellung hochpräziser und flacher Wafer-Handhabungsoberflächen verwendet und bietet eine stabile Plattform für die Wafer-Verarbeitung.
Ein weiteres wichtiges Subsystem, das Granit verwendet, ist das Vakuum-Subsystem.In Halbleiterbauelementen werden Vakuumkammern verwendet, um Kontaminationen während der Herstellung zu vermeiden.Damit dieses System effektiv funktioniert, muss die Kammer vollständig abgedichtet sein, und hier kommt Granit ins Spiel. Granit ist ein ideales Material für Vakuumkammern, da es sehr geringe Ausgasungsraten aufweist und eine stabile Vakuumumgebung aufrechterhalten kann.Darüber hinaus ermöglicht die hohe Bearbeitungspräzision von Granit die Schaffung einer perfekten Abdichtung und sorgt so für eine zuverlässige Vakuumumgebung für die Waferbearbeitung.
Das Ausrichtungssubsystem ist ein weiteres wichtiges System, das die einzigartigen Eigenschaften von Granit nutzt.Dieses Subsystem ist für die präzise und genaue Ausrichtung verschiedener Teile von Halbleiterbauelementen verantwortlich.Bei der Gestaltung und Konstruktion der Ausrichtungsbühnen wird Granit verwendet, um eine hohe Steifigkeit und Stabilität zu gewährleisten.Die hohe Steifigkeit von Granit trägt dazu bei, eine hohe Ausrichtungsgenauigkeit zu erreichen, was zur Herstellung hochpräziser und zuverlässiger Halbleiterbauelemente führt.
Schließlich ist das Metrologie-Subsystem ein weiteres System von Halbleiterbauelementen, das Granit verwendet.Die Messtechnik spielt bei der Waferverarbeitung eine wesentliche Rolle, und die Genauigkeit dieses Subsystems ist entscheidend für die Gewährleistung der Qualität des Geräts.Granit bietet eine stabile und steife Plattform, die dazu beiträgt, Vibrationen zu reduzieren und die Auswirkungen von Temperaturschwankungen zu minimieren.Dies wiederum trägt dazu bei, hochpräzise Messungen im Metrologie-Subsystem zu erreichen, was zur Produktion hochwertiger Halbleiterbauelemente führt.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit ein entscheidendes Material bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen ist.Seine einzigartigen Eigenschaften wie hohe Steifigkeit, geringe Wärmeausdehnung und hervorragende Wärmeleitfähigkeit machen es zu einem hervorragenden Material für verschiedene Subsysteme in Halbleiterbauelementen, einschließlich Waferhandhabung und -verarbeitung, Vakuumsubsystem, Ausrichtungssubsystem und Messsubsystem.Darüber hinaus hat die Verwendung von Granit in Halbleiterbauelementen zur Herstellung hochpräziser, zuverlässiger und effizienter Geräte beigetragen, die zahlreiche Branchen verändert haben.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 19. März 2024