Granitbetten werden in der Halbleiterfertigung aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften wie hoher Dimensionsstabilität, hoher Steifigkeit, geringer Wärmeausdehnung, guten Dämpfungseigenschaften und hoher Verschleiß- und Abriebfestigkeit bevorzugt eingesetzt. Sie werden häufig in verschiedenen kritischen Komponenten der Halbleiterfertigung eingesetzt, beispielsweise in Waferinspektionssystemen, Wafermesssystemen, Waferhandlingsystemen und mehr.
Wafer-Inspektionssysteme
Wafer-Inspektionssysteme nutzen Granitplatten, um eine stabile und ebene Oberfläche für die Prüfung von Halbleiter-Wafern zu schaffen. Die Granitplatten dienen als Plattform für den zu prüfenden Wafer. Die Ebenheit und Stabilität der Granitplatten gewährleisten eine präzise Prüfung und minimieren gleichzeitig Schäden oder Verunreinigungen am Wafer. Die Granitplatten tragen zudem dazu bei, die Auswirkungen von Umgebungsvibrationen und anderen externen Faktoren zu reduzieren.
Wafermesssysteme
Bei Wafermesssystemen ist Präzision entscheidend. Granitbetten werden hierfür aufgrund ihrer hervorragenden Dimensionsstabilität häufig eingesetzt. Sie bieten eine stabile Basis für die präzise Messung von Waferdicke, -form und -oberflächenmerkmalen. Die Granitbetten sind zudem verschleiß- und abriebfest und somit ideal für den Dauereinsatz über einen längeren Zeitraum.
Wafer-Handling-Systeme
Granitbetten werden auch in Wafer-Handling-Systemen eingesetzt. In diesen Systemen dienen die Granitbetten als präzise Führung für die Positionierung des Wafers während des Handling-Prozesses. Die hohe Steifigkeit und Ebenheit des Granitbetts gewährleisten eine präzise und wiederholbare Positionierung des Wafers und reduzieren so das Beschädigungsrisiko.
Andere Komponenten
Neben den oben genannten Komponenten werden Granitbetten auch in anderen kritischen Teilen der Halbleiterfertigung eingesetzt, beispielsweise in Bühnenbasen, Stützstrukturen und anderen hochpräzisen Teilen. Die hohe Dimensionsstabilität der Granitbetten trägt dazu bei, Fehler durch Teileverformung, Temperaturschwankungen und Vibrationen zu reduzieren.
Abschluss
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granitbetten eine entscheidende Komponente in der Halbleiterfertigung sind, da sie eine hohe Dimensionsstabilität, geringe Wärmeausdehnung und hervorragende Verschleiß- und Abriebfestigkeit bieten. Sie sind unerlässlich für die präzise, wiederholbare und zuverlässige Leistung von Waferinspektionssystemen, Wafermesssystemen, Waferhandlingsystemen und anderen hochpräzisen Geräten. Der Einsatz von Granitbetten stellt sicher, dass Hersteller von Halbleiteranlagen hochwertige Produkte herstellen können, die den strengen Anforderungen der modernen Halbleiterindustrie entsprechen.
Beitragszeit: 03.04.2024