Für welche Schlüsselkomponenten werden Granitbetten in der Halbleiterausrüstung normalerweise verwendet?

Aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften wie hohe Dimensionsstabilität, hohe Steifigkeit, geringe Wärmeausdehnung, gute Dämpfungseigenschaften und hohe Verschleiß- und Abriebfestigkeit werden Granitbetten im Halbleitergerätebau sehr bevorzugt.Sie werden häufig in mehreren kritischen Komponenten in der Halbleiterausrüstungsindustrie eingesetzt, beispielsweise in Wafer-Inspektionssystemen, Wafer-Messsystemen, Wafer-Handhabungssystemen und mehr.

Wafer-Inspektionssysteme
Wafer-Inspektionssysteme nutzen Granitbetten, um eine stabile und ebene Oberfläche für die Inspektion von Halbleiter-Wafern bereitzustellen.Die Granitbetten dienen als Bühnenplattform, auf der die zu prüfenden Wafer aufbewahrt werden.Die Ebenheit und Steifigkeit des Granitbetts gewährleistet eine genaue Inspektion und minimiert gleichzeitig Schäden oder Verunreinigungen am Wafer.Die Granitbetten tragen auch dazu bei, die Auswirkungen von Umweltvibrationen und anderen externen Faktoren zu reduzieren.

Wafer-Messsysteme
Bei Wafer-Messsystemen ist Präzision von entscheidender Bedeutung.Aufgrund ihrer hervorragenden Dimensionsstabilität werden hierfür häufig Granitbetten verwendet.Sie bieten eine stabile Basis für die präzise Messung der Waferdicke, -form und -oberflächenmerkmale.Darüber hinaus sind die Granitbetten verschleiß- und abriebfest und daher ideal für den Dauereinsatz über einen längeren Zeitraum geeignet.

Wafer-Handhabungssysteme
Granitbetten werden auch in Wafer-Handling-Systemen verwendet.Bei diesen Systemen dienen die Granitbetten als präzise Führung für die Positionierung des Wafers während des Handhabungsprozesses.Die hohe Steifigkeit und Ebenheit des Granitbetts gewährleisten eine genaue und wiederholbare Positionierung des Wafers und verringern so das Risiko einer Beschädigung.

Andere Komponenten
Abgesehen von den oben genannten Komponenten werden Granitbetten auch in anderen kritischen Teilen der Herstellung von Halbleitergeräten verwendet, wie z. B. Bühnensockel, Stützstrukturen und anderen hochpräzisen Teilen.Die hohe Dimensionsstabilität der Granitbetten trägt dazu bei, Fehler durch Teileverformung, thermische Veränderungen und Vibrationen zu reduzieren.

Abschluss
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granitbetten eine entscheidende Komponente bei der Herstellung von Halbleitergeräten sind, da sie eine hohe Dimensionsstabilität, eine geringe Wärmeausdehnung und eine hervorragende Verschleiß- und Abriebfestigkeit bieten.Sie sind für die genaue, wiederholbare und zuverlässige Leistung von Wafer-Inspektionssystemen, Wafer-Messsystemen, Wafer-Handhabungssystemen und anderen hochpräzisen Geräten unerlässlich.Durch die Verwendung von Granitbetten wird sichergestellt, dass Hersteller von Halbleiterausrüstungen qualitativ hochwertige Produkte herstellen können, die den strengen Standards der modernen Halbleiterindustrie entsprechen.