Granitbetten sind aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften wie hoher Dimensionsstabilität, hoher Steifheit, niedriger thermischer Expansion, guten Dämpfungseigenschaften und hoher Resistenz gegen Verschleiß und Abrieb sehr bevorzugt in der Herstellung von Halbleiterausrüstung, wie z. Sie werden in mehreren kritischen Komponenten in der Herstellung der Halbleiterausrüstung weit verbreitet, wie beispielsweise Waferinspektionssysteme, Wafermesssysteme, Waferhandhabungssysteme und vieles mehr.
Waferinspektionssysteme
Wafer -Inspektionssysteme verwenden Granitbetten, um eine stabile und flache Oberfläche für die Inspektion von Halbleiterwafern bereitzustellen. Die Granitbetten werden als Bühnenplattform verwendet, die den Wafer untersucht. Die Flachheit und Steifheit des Granitbettes sorgt für eine genaue Inspektion und minimiert und minimiert Schäden oder Kontaminationen am Wafer. Die Granitbetten tragen auch dazu bei, die Auswirkungen von Umweltschwingungen und anderen externen Faktoren zu verringern.
Wafermesssysteme
In Wafermesssystemen ist Präzision kritisch. Granitbetten werden aufgrund ihrer hervorragenden dimensionalen Stabilität für diesen Zweck häufig verwendet. Sie bieten eine starre Basis für die genaue Messung der Waferdicke, der Form und der Oberflächenmerkmale. Die Granitbetten sind auch gegen Verschleiß und Abrieb resistent, was sie ideal für den kontinuierlichen Gebrauch über einen längeren Zeitraum ideal macht.
Waferhandhabungssysteme
Granitbetten werden auch in Waferhandhabungssystemen verwendet. In diesen Systemen werden die Granitbetten als präziser Leitfaden für die Positionierung des Wafers während des Handhabungsprozesses verwendet. Die hohe Steifheit und Flachheit des Granitbettes sorgen für eine genaue und wiederholbare Positionierung des Wafers und verringern das Risiko von Schäden.
Andere Komponenten
Neben den oben genannten Komponenten werden Granitbetten auch in anderen kritischen Teilen der Herstellung von Halbleitergeräten wie Bühnenbasen, Stützstrukturen und anderen Hochgenauigkeitsteilen verwendet. Die hohe dimensionale Stabilität der Granitbetten trägt dazu bei, Fehler zu verringern, die durch Teilverformung, thermische Veränderungen und Vibrationen verursacht werden.
Abschluss
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granitbetten eine kritische Bestandteil der Herstellung von Halbleitergeräten sind, da sie eine hohe dimensionale Stabilität, eine geringe thermische Ausdehnung und eine hervorragende Beständigkeit gegen Verschleiß und Abrieb bieten. Sie sind für eine genaue, wiederholbare und zuverlässige Leistung in Waferinspektionssystemen, Wafermesssystemen, Waferhandhabungssystemen und anderen hochpräzisen Geräten unerlässlich. Die Verwendung von Granitbetten stellt sicher, dass Hersteller von Halbleitergeräten hochwertige Produkte produzieren können, die den strengen Standards der modernen Halbleiterindustrie erfüllen.
Postzeit: Apr-03-2024