In der Halbleiterfertigung sind präzise und genaue Anlagen unerlässlich für die Herstellung hochwertiger Chips. Zahlreiche Bereiche einer Halbleiterfertigungsanlage benötigen Materialien mit spezifischen Eigenschaften, um einen zuverlässigen und hochpräzisen Betrieb zu gewährleisten.
Granit ist ein Material, das sich zu einem Standardbestandteil von Halbleiteranlagen entwickelt hat. Bekannt für seine Festigkeit und Stabilität, eignet sich Granit hervorragend für die Konstruktion und Fertigung von Bauteilen für Halbleiteranlagen. Im Folgenden sind einige der Teile von Halbleiteranlagen aufgeführt, die üblicherweise aus Granit gefertigt werden:
1. Grundplatten
Die Grundplatten von Halbleiteranlagen müssen extrem eben und stabil sein, um Vibrationen und Temperaturschwankungen zu minimieren. Granit ist eines der wenigen Materialien, das diese Anforderungen erfüllt. Granit ist formstabil und widersteht Verformungen und Wärmeausdehnung, wodurch die Ebenheit der Grundplatte dauerhaft erhalten bleibt.
2. Phasen
Positioniertische sind kritische Komponenten in Halbleiteranlagen, die präzise Bewegungen für Fertigungsprozesse wie Waferpositionierung, Ätzen und Abscheidung ausführen. Granitpositioniertische werden aufgrund ihrer hohen Steifigkeit, geringen Wärmeausdehnung und hervorragenden Dämpfungseigenschaften häufig in Halbleiteranlagen eingesetzt. Mit Granitpositioniertischen sind die Bewegungen präziser und das Ausfallrisiko der Anlage geringer.
3. Linearführungen
Linearführungen sind mechanische Bauteile, die eine lineare Bewegung entlang zweier paralleler Schienen ermöglichen. Sie müssen extrem stabil und präzise sein, und Granit ist dafür das ideale Material. Dank seiner hohen Steifigkeit und Dämpfungseigenschaften ist Granit eine beliebte Wahl für Linearführungen in Halbleiteranlagen und gewährleistet Stabilität und Präzision im Fertigungsprozess.
4. Chucks
Spannfutter dienen zum Halten und Positionieren von Wafern in verschiedenen Fertigungsprozessen. Spannfutter aus Granit sind aufgrund ihrer Planheit und thermischen Stabilität beliebt. Dank der geringen Wärmeausdehnung von Granit verziehen sich Spannfutter aus diesem Material auch bei Temperaturschwankungen nicht und verändern ihre Abmessungen nicht.
5. Inspektionsplatten
Inspektionsplatten dienen der Qualitätskontrolle von Produkten in Halbleiteranlagen. Diese Platten müssen extrem eben und formstabil sein und Licht präzise reflektieren. Granit ist aufgrund seiner hohen Reflektivität, Oberflächenebenheit und Dimensionsstabilität ein beliebtes Material für Inspektionsplatten in der Halbleiterindustrie.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granitelemente in der Halbleiterindustrie weit verbreitet für Präzisionsteile eingesetzt werden und ihre Verwendung aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften voraussichtlich weiter zunehmen wird. Dank ihrer hohen Steifigkeit, geringen Wärmeausdehnung und exzellenten Dämpfungseigenschaften bieten Granitelemente die erforderliche Stabilität, Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit für Nanobearbeitungsprozesse in Halbleiteranlagen. Unternehmen, die hochwertige Halbleiteranlagen herstellen, investieren in die besten Materialien, um ihren Produkten optimale Erfolgschancen zu sichern. Granit bleibt aufgrund seiner hervorragenden Eigenschaften und Zuverlässigkeit ein bevorzugtes Material.
Veröffentlichungsdatum: 19. März 2024