In der Halbleiterfertigung ist präzise und akkurate Ausrüstung entscheidend für die Produktion hochwertiger Chips. Zahlreiche Teile einer Halbleiterfertigungsanlage müssen Materialien mit spezifischen Eigenschaften verwenden, um einen zuverlässigen und hochpräzisen Betrieb zu gewährleisten.
Granit ist ein Material, das sich zu einem Standardbestandteil von Halbleitergeräten entwickelt hat. Granit ist für seine Festigkeit und Stabilität bekannt und eignet sich hervorragend für die Konstruktion und Herstellung von Komponenten in Halbleitergeräten. Hier sind einige der Teile von Halbleitergeräten, die häufig aus Granit bestehen:
1. Grundplatten
Die Grundplatten von Halbleitergeräten müssen extrem flach und stabil sein, um Vibrationen und Temperaturschwankungen zu minimieren. Granit ist eines der wenigen Materialien, das diese Anforderungen erfüllt. Granit ist ein formstabiles Material, das Verformungen und Wärmeausdehnungen widersteht und so dafür sorgt, dass die Grundplatte dauerhaft eben bleibt.
2. Phasen
Tische sind kritische Komponenten in Halbleiteranlagen, die präzise Bewegungen für Fertigungsprozesse wie Waferpositionierung, Ätzen und Abscheidung ausführen. Granittische werden aufgrund ihrer hohen Steifigkeit, geringen Wärmeausdehnung und hervorragenden Dämpfungseigenschaften häufig in Halbleiteranlagen eingesetzt. Mit Granittischen sind die Bewegungen präziser und das Ausfallrisiko der Anlage geringer.
3. Linearführungen
Linearführungen sind mechanische Vorrichtungen, die eine lineare Bewegung entlang zweier paralleler Schienen ermöglichen. Sie müssen extrem stabil und präzise sein, und Granit ist hierfür das ideale Material. Seine hohe Steifigkeit und seine Dämpfungseigenschaften machen Granit zu einer beliebten Wahl für Linearführungen in Halbleitergeräten und gewährleisten Stabilität und Präzision im Herstellungsprozess.
4. Chucks
Chucks dienen zum Halten und Positionieren von Wafern während verschiedener Herstellungsprozesse. Granit-Chucks sind aufgrund ihrer Ebenheit und thermischen Stabilität beliebt. Aufgrund der geringen Wärmeausdehnung von Granit verziehen sich Chucks aus diesem Material bei Temperaturschwankungen nicht und verändern ihre Abmessungen nicht.
5. Prüfplaketten
Prüfplatten dienen der Qualitätsprüfung von Produkten in Halbleiteranlagen. Diese Platten müssen extrem flach und stabil sein und Licht präzise reflektieren können. Granit wird aufgrund seiner hohen Reflektivität, Oberflächenebenheit und Dimensionsstabilität gerne für Prüfplatten in Halbleiteranlagen verwendet.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granitelemente häufig für Präzisionsteile in Halbleitergeräten verwendet werden und ihre Verwendung aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften voraussichtlich weiter zunehmen wird. Mit ihrer hohen Steifigkeit, geringen Wärmeausdehnung und hervorragenden Dämpfungseigenschaften bieten Granitelemente die erforderliche Stabilität, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für Nanooperationen in Halbleitergeräten. Unternehmen, die hochwertige Halbleitergeräte herstellen, investieren in die besten Materialien, um ihren Produkten optimale Erfolgschancen zu bieten. Granit ist aufgrund seiner hervorragenden Eigenschaften und Zuverlässigkeit weiterhin ein bevorzugtes Material.
Veröffentlichungszeit: 19. März 2024