In der Herstellung von Halbleiter, präzise und genaue Geräte ist entscheidend für die Herstellung hochwertiger Chips. Es gibt zahlreiche Teile einer Semiconductor-Produktionsanlage, die Materialien mit spezifischen Eigenschaften verwenden müssen, um einen zuverlässigen und hochpräzise Betrieb zu gewährleisten.
Ein Material, das zu einer Standardkomponente der Halbleiterausrüstung geworden ist, ist Granit. Granit ist für seine Stärke und Stabilität bekannt und ist ein ausgezeichnetes Material für die Konstruktion und Herstellung von Komponenten, die in Halbleiterausrüstung verwendet werden. Hier sind einige Teile der Halbleiterausrüstung, die üblicherweise Granitmaterial verwenden:
1. Basisplatten
Die Basisplatten der Halbleiterausrüstung müssen extrem flach und stabil sein, um Schwingungen und Temperaturschwankungen zu minimieren. Und Granit ist eines der wenigen Materialien, die diese Anforderungen erfüllen können. Granit ist ein dimensional stabiles Material, das sich verzerrt und thermisch ausdehnt, um sicherzustellen, dass die Grundplatte ihre Flachheit im Laufe der Zeit aufrechterhält.
2. Stufen
Stufen sind kritische Komponenten in Halbleitergeräten, die präzise Bewegungen für Herstellungsprozesse wie Waferpositionierung, Ätzen und Ablagerung durchführen. Granitstadien werden aufgrund ihrer hohen Steifheit, einer geringen thermischen Ausdehnung und hervorragenden Dämpfungseigenschaften in Halbleiterausrüstung häufig verwendet. Bei Granitstadien sind die Bewegungen präziser und die Ausrüstung hat ein geringes Ausfallrisiko.
3. Lineare Guides
Lineare Guides sind mechanische Geräte, die entlang von zwei parallelen Schienen eine lineare Bewegung liefern. Sie müssen extrem stabil und präzise sein, und Granit ist das ideale Material für diesen Zweck. Die hohen Steif- und Dämpfungseigenschaften von Granit machen es zu einer beliebten Wahl für lineare Führer, die in Halbleiterausrüstung verwendet werden, die Stabilität und Präzision im Herstellungsprozess sicherstellen.
4. Chucks
Chucks werden verwendet, um Wafer während verschiedener Herstellungsprozesse zu halten und zu positionieren. Granite -Chucks sind aufgrund ihrer Flachheit und thermischen Stabilität beliebt. Aufgrund der geringen thermischen Expansion von Granit verziehen oder ändern die aus diesem Material hergestellten Chicks nicht, wenn sie Temperaturänderungen ausgesetzt sind.
5. Inspektionsplatten
Inspektionsplatten werden verwendet, um die Qualität der in Halbleitergeräten hergestellten Produkte zu überprüfen. Diese Platten müssen extrem flach und stabil sein und das Licht genau reflektieren. Granites hohes Reflexionsvermögen, Oberflächenflatheit und dimensionale Stabilität machen es zu einer beliebten Wahl für Inspektionsplatten in Halbleiterausrüstung.
Zusammenfassend wird Granitelemente für Präzisionsteile in Halbleiterausrüstung häufig verwendet, und ihre Verwendung wird aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften voraussichtlich erweitert. Mit ihrer hohen Steifheit, ihrer geringen thermischen Ausdehnung und ihren hervorragenden Dämpfungseigenschaften bieten Granitelemente die erforderliche Stabilität, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die Durchführung von Nano-Vorgängen in Halbleitergeräten. Unternehmen, die qualitativ hochwertige Halbleiterausrüstung produzieren, investieren in die besten Materialien, um ihren Produkten die besten Erfolgschancen zu bieten, und Granite ist aufgrund seiner hervorragenden Eigenschaften und Zuverlässigkeit weiterhin ein Materielles.
Postzeit: März 19. bis 2024