Granitmaterialien werden in der Halbleiterindustrie aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften wie hoher Stabilität, geringer Wärmeausdehnung und hoher Korrosionsbeständigkeit häufig eingesetzt. Diese Eigenschaften machen Granit zu einem idealen Material für den Bau hochpräziser Komponenten in einem Wafer-Transfersystem.
Im Halbleiterherstellungsprozess spielt das Wafer-Transfersystem eine entscheidende Rolle beim Transport der Wafer durch die verschiedenen Phasen des Herstellungsprozesses. Präzision und Genauigkeit sind die wesentlichen Anforderungen an diese Systeme, da selbst kleinste Abweichungen den gesamten Prozess gefährden können. Daher müssen die Komponenten des Wafer-Transfersystems aus hochwertigen Materialien gefertigt sein, und Granit erfüllt diese Kriterien.
Zu den aus Granit gefertigten Teilen des Wafer-Transfersystems gehören unter anderem:
1. Vakuum-Spannfuttertisch
Der Vakuum-Chuck-Tisch dient zum Halten des Wafers während des Prozesses und muss eine stabile Oberfläche aufweisen, um sicherzustellen, dass der Wafer nicht beschädigt wird. Granit ist ein ideales Material für diesen Tisch, da seine flache, porenfreie Oberfläche hohe Stabilität und Präzision bietet. Darüber hinaus hat Granit einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und ist daher beständig gegen Temperaturschwankungen, die zu Dimensionsänderungen des Wafers führen könnten.
2. Luftgelagerte Bühne
Der luftgelagerte Tisch dient zum Transport des Wafers durch die verschiedenen Phasen des Herstellungsprozesses. Der Tisch ist auf reibungslose Bewegung ausgelegt, was hohe Präzision und Stabilität erfordert. Granit wird hierfür verwendet, da er ein starrer und harter Stein ist und Verformungen und Verschleiß im Laufe der Zeit widersteht.
3. Linearführungen
Die Linearführungen dienen zur Führung des Luftlagertisches und müssen präzise positioniert werden, um Fehler zu minimieren. Granit wird für den Bau dieser Führung verwendet, da es über eine hervorragende mechanische Stabilität und Festigkeit verfügt. Das Material ist zudem korrosionsbeständig, was die Langlebigkeit des Führungssystems gewährleistet.
4. Messtechnik
Messtechnik wird verwendet, um die Abmessungen und Eigenschaften des Wafers während des Herstellungsprozesses zu messen. Granit ist ein ideales Material für den Bau dieser Geräte, da es eine hohe Steifigkeit, geringe Ausdehnung und minimale Verformung unter Belastung aufweist. Darüber hinaus sorgt die thermische Stabilität von Granit dafür, dass die Messtechnik dauerhaft stabil und präzise bleibt.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Halbleiterindustrie auf Präzision und Genauigkeit angewiesen ist. Granitmaterialien haben sich im Herstellungsprozess als äußerst zuverlässig und stabil erwiesen. Da viele kritische Komponenten des Wafer-Transfersystems hohe Stabilität, Präzision und geringe Wärmeausdehnung erfordern, setzen Ingenieure auf Granitmaterialien, um diese kritischen Anforderungen zu erfüllen.
Veröffentlichungszeit: 19. März 2024