Granit wird aufgrund seiner hervorragenden Eigenschaften wie hoher Stabilität, geringer Wärmeausdehnung und hoher Korrosionsbeständigkeit in der Halbleiterindustrie häufig eingesetzt. Diese Eigenschaften machen Granit zu einem idealen Material für die Herstellung hochpräziser Komponenten in Wafer-Transfersystemen.
Im Halbleiterfertigungsprozess spielt das Wafer-Transfersystem eine entscheidende Rolle beim Transport der Wafer durch die verschiedenen Fertigungsstufen. Präzision und Genauigkeit sind unerlässlich, da selbst geringfügige Abweichungen den gesamten Prozess gefährden können. Daher müssen die Komponenten des Wafer-Transfersystems aus hochwertigen Materialien gefertigt sein, und Granit erfüllt diese Kriterien.
Zu den Teilen des Wafer-Transfersystems, die aus Granitmaterialien hergestellt sind, gehören:
1. Vakuumspanntisch
Der Vakuumspanntisch dient zur Aufnahme des Wafers während des Prozesses und muss eine stabile Oberfläche aufweisen, um Beschädigungen des Wafers zu vermeiden. Granit ist ein ideales Material für diesen Tisch, da er eine ebene, porenfreie Oberfläche besitzt, die hohe Stabilität und Präzision gewährleistet. Darüber hinaus weist Granit einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, wodurch er beständig gegen Temperaturschwankungen ist, die zu Dimensionsänderungen des Wafers führen könnten.
2. Luftlagerstufe
Der luftgelagerte Transporttisch dient dem Transport des Wafers durch die verschiedenen Phasen des Fertigungsprozesses. Er ist so konstruiert, dass er eine reibungslose Bewegung ermöglicht, was hohe Präzision und Stabilität erfordert. Granit wird in dieser Anwendung verwendet, da er ein harter und formbeständiger Stein ist, der sich im Laufe der Zeit kaum verformt und abnutzt.
3. Linearführungen
Die Linearführungen dienen der Führung des Luftlagertisches und müssen präzise positioniert werden, um Fehler zu minimieren. Für die Fertigung dieser Führungen wird Granit verwendet, da dieses Material eine ausgezeichnete mechanische Stabilität und Festigkeit aufweist. Zudem ist es korrosionsbeständig, was die Langlebigkeit des Führungssystems gewährleistet.
4. Messtechnik
Messtechnik wird eingesetzt, um die Abmessungen und Eigenschaften des Wafers während des Herstellungsprozesses zu messen. Granit ist ein ideales Material für den Bau dieser Geräte, da er eine hohe Steifigkeit, geringe Wärmeausdehnung und minimale Verformung unter Last aufweist. Darüber hinaus gewährleistet die thermische Stabilität von Granit, dass die Messtechnik über lange Zeiträume stabil und präzise arbeitet.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Halbleiterindustrie auf Präzision und Genauigkeit angewiesen ist und Granitwerkstoffe sich im Fertigungsprozess als äußerst zuverlässig und stabil erwiesen haben. Da viele kritische Komponenten im Wafer-Transfersystem hohe Stabilität, Präzision und geringe Wärmeausdehnung erfordern, greifen Ingenieure auf Granitwerkstoffe zurück, um diese Anforderungen zu erfüllen.
Veröffentlichungsdatum: 19. März 2024