Aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften wie hoher Stabilität, geringer Wärmeausdehnung und hoher Korrosionsbeständigkeit werden Granitmaterialien in der Halbleiterindustrie häufig verwendet.Diese Eigenschaften machen Granit zu einem idealen Material für den Bau hochpräziser Komponenten in einer Wafertransferanlage.
Im Halbleiterfertigungsprozess spielt das Wafertransfersystem eine entscheidende Rolle beim Transport von Wafern durch verschiedene Phasen des Herstellungsprozesses.Präzision und Genauigkeit sind die wesentlichen Anforderungen an diese Systeme, da bereits geringfügige Abweichungen den gesamten Prozess gefährden können.Daher müssen die Komponenten des Wafertransfersystems aus hochwertigen Materialien gefertigt sein, und Granit erfüllt diese Kriterien.
Zu den Teilen des Wafer-Transfersystems, die aus Granitmaterialien bestehen, gehören:
1. Vakuumspanntisch
Der Vakuumspanntisch dient zum Halten des Wafers während des Prozesses und muss eine stabile Oberfläche haben, um sicherzustellen, dass der Wafer nicht beschädigt wird.Granit ist ein ideales Material für die Herstellung dieses Tisches, da es über eine flache, porenfreie Oberfläche verfügt, die für hohe Stabilität und Präzision sorgt.Darüber hinaus hat Granit einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, wodurch er resistent gegen Temperaturschwankungen ist, die zu Dimensionsänderungen des Wafers führen könnten.
2. Luftlagerstufe
Der Luftlagertisch dient zum Transport des Wafers durch verschiedene Phasen des Herstellungsprozesses.Der Tisch ist so konstruiert, dass er eine reibungslose Bewegung ermöglicht, was eine hohe Präzision und Stabilität erfordert.Für diese Anwendung wird Granit verwendet, da es sich um einen steifen und harten Stein handelt, der im Laufe der Zeit Verformungen und Abnutzung widersteht.
3. Linearführungen
Die Linearführungen dienen zur Führung des luftgelagerten Tisches und müssen genau positioniert werden, um Fehler zu minimieren.Für den Bau dieser Führung wird Granit verwendet, da dieser über eine hervorragende mechanische Stabilität und Festigkeit verfügt.Das Material ist zudem korrosionsbeständig, was die Langlebigkeit des Führungssystems gewährleistet.
4. Messausrüstung
Mit Messgeräten werden die Abmessungen und Eigenschaften des Wafers während des Herstellungsprozesses gemessen.Granit ist ein ideales Material für den Bau dieser Ausrüstung, da es eine hohe Steifigkeit, geringe Ausdehnung und minimale Verformung unter Last aufweist.Darüber hinaus sorgt die thermische Stabilität von Granit dafür, dass die Messausrüstung über einen längeren Zeitraum stabil und genau bleibt.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Halbleiterindustrie auf Präzision und Genauigkeit angewiesen ist und Granitmaterialien sich im Herstellungsprozess als äußerst zuverlässig und stabil erwiesen haben.Da viele kritische Komponenten im Wafer-Transfersystem eine hohe Stabilität, Präzision und geringe Wärmeausdehnung erfordern, haben Ingenieure auf Granitmaterialien zurückgegriffen, um diese kritischen Anforderungen zu erfüllen.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 19. März 2024