Granitmaterialien werden in der Halbleiterindustrie aufgrund ihrer hervorragenden Merkmale wie hoher Stabilität, niedriger thermischer Expansion und hoher Korrosionsbeständigkeit häufig eingesetzt. Diese Eigenschaften machen Granit zu einem idealen Material für den Aufbau hochpräziser Komponenten in einem Waferübertragungssystem.
Im Halbleiter -Herstellungsprozess spielt das Waferübertragungssystem eine entscheidende Rolle beim Transport von Wafern in verschiedenen Stadien des Herstellungsprozesses. Präzision und Genauigkeit sind die wesentlichen Anforderungen für diese Systeme, da selbst geringfügige Abweichungen den gesamten Prozess gefährden könnten. Daher müssen Komponenten im Wafertransfersystem aus hochwertigen Materialien hergestellt werden, und Granit erfüllt diese Kriterien.
Einige Teile des Waferübertragungssystems, die aus Granitmaterial bestehen, umfassen:
1. Vakuum -Chuck -Tisch
Der Vakuum -Chuck -Tisch wird verwendet, um den Wafer während des Prozesses zu halten, und muss eine stabile Oberfläche haben, um sicherzustellen, dass der Wafer nicht beschädigt ist. Granit ist ein ideales Material für die Herstellung dieses Tisches, da er eine flache, nicht poröse Oberfläche hat, die eine hohe Stabilität und Präzision bietet. Darüber hinaus hat Granit einen niedrigen thermischen Expansionskoeffizienten, was es gegen Temperaturänderungen resistent macht, was zu dimensionalen Veränderungen im Wafer führen kann.
2. Lufthaltige Stufe
Die luftlager Stufe wird verwendet, um den Wafer durch verschiedene Stadien des Herstellungsprozesses zu transportieren. Die Bühne ist so konstruiert, dass sie eine reibungslose Bewegung bereitstellt, die hohe Präzision und Stabilität erfordert. Granit wird in dieser Anwendung verwendet, da es sich um einen starren und harten Stein handelt und sich der Verformung und dem Verschleiß im Laufe der Zeit widersetzt.
3.. Lineare Bewegungsleitfäden
Die linearen Bewegungsleitfäden werden verwendet, um die lufthaltige Stufe zu leiten, und sie müssen genau positioniert sein, um Fehler zu minimieren. Granit wird verwendet, um diesen Leitfaden zu bauen, da er eine hervorragende mechanische Stabilität und Stärke hat. Das Material ist auch korrosionsresistent, was die Langlebigkeit des Führungssystems gewährleistet.
4. Metrologieausrüstung
Metrologieausrüstung wird verwendet, um die Abmessungen und Eigenschaften des Wafers während des Herstellungsprozesses zu messen. Granit ist ein ideales Material für den Bau dieser Ausrüstung, da es eine hohe Steifheit, eine geringe Ausdehnung und eine minimale Verformung unter Last aufweist. Darüber hinaus stellt die thermische Stabilität von Granit sicher, dass die Metrologieausrüstung im Laufe der Zeit stabil und genau bleibt.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Halbleiterindustrie auf Präzision und Genauigkeit angewiesen ist, und Granitmaterialien haben sich im Herstellungsprozess als sehr zuverlässig und stabil erwiesen. Mit vielen kritischen Komponenten im Wafertransfersystem, die eine hohe Stabilität, Präzision und niedrige Wärmeausdehnung erfordern, haben sich die Ingenieure an Granitmaterial gewandt, um diese kritischen Anforderungen zu erfüllen.
Postzeit: März 19. bis 2024