In der Präzisionsfertigung und wissenschaftlichen Forschung kann jeder noch so kleine Fehler zum Hindernis werden und Durchbrüche verhindern. Als Schlüsselelement für eine hochpräzise Bewegungssteuerung ist die Leistung einer Präzisions-Luftfederplattform mit statischem Druck direkt mit der Qualität und dem Erfolg der Ergebnisse verbunden. Unter den vielen Einflussfaktoren ist die Granitbasis mit ihren unvergleichlichen Eigenschaften zum Kernelement für die hervorragende Leistung der Plattform geworden.
Granit ist nach Millionen von Jahren geologischer Veränderungen gehärtet und hat eine dichte und gleichmäßige innere Struktur, die hauptsächlich aus Quarz, Feldspat und anderen Mineralien besteht, die eng miteinander verflochten sind. Diese natürlich entstandene, einzigartige Struktur verleiht der Granitbasis eine Reihe herausragender Eigenschaften.
Extrem stabil, isoliert von äußeren Störungen
Vibrationen in der Umgebung beeinträchtigen die Genauigkeit von Präzisions-Luftfederplattformen mit statischem Druck. Die durch den Betrieb großer Maschinen und Geräte in der Fabrikhalle und den umliegenden Verkehr erzeugten Vibrationen können über den Boden auf die bewegliche Plattform übertragen werden. Der Granitsockel hingegen ist wie eine solide, erdbebensichere Festung. Seine komplexe Kristallstruktur kann Vibrationen wirksam blockieren und dämpfen. In praktischen Tests konnte die auf die Plattform übertragene Vibrationsamplitude um mehr als 80 % reduziert werden. In der Halbleiterchip-Fertigung erfordert der Fotolithografieprozess eine Positionierungsgenauigkeit im Nanometerbereich. Die auf dem Granitsockel gestützte Präzisions-Luftfederplattform gewährleistet den stabilen Betrieb der Chip-Lithografie-Anlage in der komplexen Vibrationsumgebung, führt die präzise Gravur des Schaltungsmusters durch und verbessert die Ausbeute der Chip-Fertigung erheblich.
Gute thermische Stabilität, keine Angst vor Temperaturschwankungen
Temperaturschwankungen führen bei vielen Materialien zu Ausdehnung und Schrumpfung, was die Genauigkeit der Geräte beeinträchtigt. Granitsockel weisen jedoch eine außergewöhnliche thermische Stabilität auf, und ihr Wärmeausdehnungskoeffizient ist extrem niedrig und liegt im Allgemeinen bei 5–7 × 10⁻⁶/℃. In der Astronomie wird die Präzisionsplattform mit statischer Luftdruckbewegung zur Feinabstimmung großer Teleskoplinsen mit Granitsockel verwendet. Selbst bei drastischen Temperaturunterschieden zwischen Tag und Nacht kann die Positionierungsgenauigkeit der Linse im Submikrometerbereich gehalten werden. So können Astronomen die subtilen Veränderungen entfernter Himmelskörper klar erfassen und die Geheimnisse des tiefen Universums erforschen.
Hohe Härte und Verschleißfestigkeit für eine langfristige Nutzung
Auf lange Sicht bleibt bei Präzisions-Luftschwimmplattformen mit statischem Druck trotz der Luftschwimmunterstützung zwischen Plattform und Basis ein gewisses Maß an Reibung bestehen. Granit ist sehr hart (Mohshärte 6–7) und bietet eine ausgezeichnete Verschleißfestigkeit. Im Materialwissenschaftslabor wird häufig eine Präzisions-Luftschwimmplattform mit statischem Druck eingesetzt. Ihre Granitbasis widersteht Reibungsverlusten langfristig und ist im Vergleich zu herkömmlichen Basen wirksam. Dadurch verlängert sich der Wartungszyklus der Plattform um mehr als 50 %, die Wartungskosten der Ausrüstung werden gesenkt und die Kontinuität wissenschaftlicher Forschungsarbeiten sichergestellt.
Die Wahl einer Granitbasis für eine Präzisionsplattform mit statischem Luftdruck ist das ultimative Streben nach Präzision, Stabilität und Haltbarkeit. In den Bereichen Halbleiterfertigung, Herstellung optischer Instrumente, Luft- und Raumfahrt, wissenschaftliche Forschung und Prüfung, in denen nahezu höchste Genauigkeit erforderlich ist, spielt die Präzisionsplattform mit statischem Luftdruck, die auf einer Granitbasis basiert, eine unersetzliche Schlüsselrolle und fördert die Entwicklung verschiedener Branchen hin zu höherer Präzision.
Beitragszeit: 09.04.2025