Präzisions-Hydrostatik-Luftschwimmplattform: Granitsockel mit außergewöhnlicher Präzision gegossen.

An der Spitze der Präzisionsfertigung und wissenschaftlichen Forschung kann jeder noch so kleine Fehler ein Hindernis darstellen, das bahnbrechende Fortschritte verhindert. Als Schlüsselkomponente für hochpräzise Bewegungssteuerung ist die Leistungsfähigkeit der Präzisions-Luft-Schwebeplattform mit statischem Druck direkt mit der Qualität und dem Erfolg der Ergebnisse verknüpft. Unter den vielen Einflussfaktoren hat sich der Granitsockel mit seinen einzigartigen Eigenschaften als zentrales Element für die hervorragende Leistungsfähigkeit der Plattform erwiesen.
Granit, der durch Jahrmillionen geologischer Veränderungen geformt wurde, weist eine dichte und gleichmäßige innere Struktur auf, die hauptsächlich aus eng miteinander verwobenen Quarz-, Feldspat- und anderen Mineralien besteht. Diese natürlich entstandene, einzigartige Struktur verleiht dem Granitgestein eine Reihe herausragender Eigenschaften.

Extrem stabil, isoliert von äußeren Störungen
Vibrationen in der Umgebung beeinträchtigen die Genauigkeit von Präzisions-Luftfederplattformen. Vibrationen, die durch den Betrieb großer Maschinen und Anlagen in der Produktionshalle sowie durch den umliegenden Verkehr entstehen, können über den Boden auf die bewegliche Plattform übertragen werden. Das Granitfundament hingegen wirkt wie eine massive, erdbebensichere Festung. Seine komplexe Kristallstruktur blockiert und dämpft Vibrationen effektiv. Praktische Tests haben gezeigt, dass die auf die Plattform übertragene Vibrationsamplitude um mehr als 80 % reduziert werden kann. In der Halbleiterfertigung erfordert der Fotolithografieprozess eine Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich. Die auf dem Granitfundament ruhende Präzisions-Luftfederplattform gewährleistet den stabilen Betrieb der Fotolithografieanlage auch in der komplexen Vibrationsumgebung, ermöglicht die präzise Gravur der Schaltungsmuster und steigert die Ausbeute der Chipherstellung erheblich.
Gute thermische Stabilität, unempfindlich gegenüber Temperaturschwankungen
Temperaturschwankungen führen bei vielen Materialien zu Ausdehnung und Zusammenziehen, was die Genauigkeit der Geräte beeinträchtigt. Granitsockel hingegen weisen eine außergewöhnliche thermische Stabilität auf und besitzen einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten von in der Regel 5–7 × 10⁻⁶/℃. In der Astronomie wird die Präzisionsplattform für die statische Luftdruck-Bewegung, die zur Feinjustierung großer Teleskoplinsen eingesetzt wird, mit Granitsockel verwendet. Selbst bei drastischen Temperaturunterschieden zwischen Tag und Nacht gewährleistet sie die Positioniergenauigkeit der Linse im Submikrometerbereich und hilft Astronomen so, die subtilen Veränderungen ferner Himmelskörper klar zu erfassen und die Geheimnisse des tiefen Universums zu erforschen.
Hohe Härte und Verschleißfestigkeit gewährleisten eine lange Nutzungsdauer.
Bei der langfristigen Nutzung von Präzisions-Luftfederplattformen mit statischem Druck entsteht trotz der Luftfederung zwischen Plattform und Fundament eine gewisse Reibung. Granit zeichnet sich durch eine hohe Härte (Mohs-Härte 6–7) und hervorragende Verschleißfestigkeit aus. In materialwissenschaftlichen Laboren wird die häufig eingesetzte Präzisions-Luftfederplattform mit statischem Druck und Fundament daher aufgrund ihres Granitfundaments effektiv gegen langfristige Reibungsverluste eingesetzt. Im Vergleich zu herkömmlichen Fundamenten verlängert sich der Wartungszyklus der Plattform um mehr als 50 %, wodurch die Wartungskosten gesenkt und die Kontinuität der wissenschaftlichen Forschung gewährleistet wird.
Die Wahl eines Granitfundaments für eine Präzisions-Luftfederplattform mit statischem Druck ist der Inbegriff von Präzision, Stabilität und Langlebigkeit. In Bereichen wie der Halbleiterfertigung, der Herstellung optischer Instrumente, der Luft- und Raumfahrt sowie der wissenschaftlichen Forschung und Prüfung, die höchste Genauigkeit erfordern, spielt die auf einem Granitfundament basierende Präzisions-Luftfederplattform mit statischem Druck eine unverzichtbare Rolle und fördert die Entwicklung verschiedener Branchen hin zu höherer Präzision.