Präzisions-Hydrostatik-Luftschwimmplattform: Granitsockel, der höchste Präzision definiert.

In der komplexen Welt der Präzisionsfertigung und Spitzenforschung kann jede noch so kleine Präzisionsmaßnahme eine technologische Revolution auslösen. Die Präzisions-Bewegungsplattform mit statischem Luftdruck ist das Kernstück für ultrapräzise Bewegungen; ihre Leistung entscheidet direkt über Erfolg oder Misserfolg. Der Granitsockel ist das Geheimnis ihrer außergewöhnlichen Genauigkeit und exzellenten Stabilität.

Ein stabiles Fundament aus Natur
Granit ist nach Jahrmillionen geologischer Veränderungen durch die enge Verzahnung von Quarz, Feldspat und anderen Mineralien dicht und gleichmäßig aufgebaut. Diese einzigartige Struktur verleiht ihm unvergleichliche Stabilität. Selbst starken äußeren Einflüssen, wie etwa den Vibrationen durch den Betrieb großer Maschinen in der Werkstatt oder großen Temperaturschwankungen in der Umgebung, kann ein Granitfundament problemlos standhalten. Seine hervorragenden Schwingungsdämpfungseigenschaften, die wie ein professioneller Stoßdämpfer wirken, reduzieren die Schwingungsamplitude der Präzisions-Luftfederplattform um mehr als 80 %. Dadurch wird ein ruhiger und stabiler Betrieb gewährleistet, der eine gleichmäßige und präzise Bewegung bei hochpräzisen Bearbeitungs- oder Prüfprozessen ermöglicht.
Vorteile der thermischen Stabilität, präziser Regelkern
Temperaturschwankungen stellen ein erhebliches Problem für die Genauigkeit von Präzisionsgeräten dar. Die Granitbasis mit ihrem sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten löst dieses Problem jedoch problemlos. Dieser liegt üblicherweise bei 5–7 × 10⁻⁶/℃, wodurch sich die Abmessungen bei Temperaturschwankungen nur minimal ändern. Im Fotolithografieprozess der Halbleiterchip-Herstellung ist eine Positioniergenauigkeit im Danamil-Bereich erforderlich, und bereits geringe Temperaturänderungen können zu Abweichungen im Chipmuster führen. Die mit einer Granitbasis ausgestattete, statisch druckluftgelagerte Präzisionsplattform gewährleistet auch unter komplexen Temperaturbedingungen eine stabile Positioniergenauigkeit. Dies trägt zu einer höheren Integration und Ausbeute in der Chip-Herstellung bei und gibt der Halbleiterindustrie wichtige Impulse für ihre Weiterentwicklung.
Hohe Härte, Verschleißfestigkeit, Langlebigkeitsgarantie
Bei der langfristigen Nutzung von Präzisions-Luftfederplattformen mit statischem Druck ist trotz der Luftfederung zwischen Plattform und Fundament Reibung unvermeidbar. Granit zeichnet sich durch eine hohe Härte (Mohs-Härte 6–7) und ausgezeichnete Verschleißfestigkeit aus. In materialwissenschaftlichen Laboren wird die Präzisions-Luftfederplattform häufig eingesetzt. Ihr Granitfundament bietet einen wirksamen Schutz vor langfristiger Reibungsverlust. Im Vergleich zu herkömmlichen Fundamenten verlängert es den Wartungszyklus der Plattform um mehr als 50 %, wodurch die Wartungskosten erheblich gesenkt und die effiziente und kontinuierliche Durchführung wissenschaftlicher Forschungsarbeiten gewährleistet werden.
Die Wahl einer präzisionsgefertigten hydrostatischen Luftschwimmplattform mit Granitsockel steht für höchste Präzision, exzellente Stabilität und Langlebigkeit. In der Halbleiterfertigung, der Herstellung optischer Instrumente, der Luft- und Raumfahrt, der wissenschaftlichen Forschung und Prüfung sowie in anderen Bereichen mit hohen Präzisionsanforderungen spielt sie eine unverzichtbare Schlüsselrolle. Sie trägt dazu bei, die Grenzen der Präzision zu überwinden und eine anspruchsvollere Entwicklungsstufe zu erreichen, um eine solide und zuverlässige technische Grundlage für Ihren beruflichen Erfolg zu schaffen.