Im Bereich der Präzisionsfertigung und der fortgeschrittenen wissenschaftlichen Forschung ist die Wahl des Unterbaus einer Präzisions-Druckluft-Schwimmplattform entscheidend für deren Leistungsfähigkeit. Granit- und Keramikunterbauten weisen jeweils spezifische Eigenschaften auf und bieten unterschiedliche Vorteile hinsichtlich Stabilität, Genauigkeitserhaltung, Langlebigkeit usw.

Stabilität: Natürliche Struktur versus synthetische Struktur
Nach einem langen geologischen Prozess ist Granit eng mit Quarz, Feldspat und anderen Mineralien verwoben und bildet eine dichte und gleichmäßige Struktur. Bei äußeren Vibrationseinflüssen, wie beispielsweise den starken Vibrationen durch den Betrieb von Großanlagen in der Fabrikhalle, kann das Granitfundament diese effektiv abschirmen und dämpfen. Dadurch lässt sich die Vibrationsamplitude der Präzisions-Druckluft-Schwimmplattform um mehr als 80 % reduzieren. Dies bietet der Plattform eine stabile Betriebsgrundlage und gewährleistet reibungslose Bewegungen bei hochpräzisen Bearbeitungs- oder Prüfprozessen. Beispielsweise kann ein stabiles Granitfundament im Lithografieprozess der Halbleiterchip-Herstellung den präzisen Betrieb der Chip-Lithografieanlagen sicherstellen und eine hochpräzise Charakterisierung der Chipstrukturen ermöglichen.
Die Keramikbasis wird künstlich hergestellt und nutzt fortschrittliche Technologie. Ihre innere Struktur ist gleichmäßig und sie weist gute Schwingungsdämpfungseigenschaften auf. Bei allgemeinen Vibrationen schafft sie eine stabile Arbeitsumgebung für die Präzisions-Druckluft-Schwimmplattform. Bei hoher Belastung und anhaltenden Vibrationen ist ihre Schwingungsdämpfung jedoch etwas geringer als die einer Granitbasis. Es ist schwierig, die Schwingungsbeeinträchtigungen auf dasselbe niedrige Niveau zu reduzieren, was die hochpräzise Bewegung der Plattform beeinträchtigen kann.
Genauigkeitserhalt: geringe Ausweitung natürlicher Vorteile und künstliche Kontrolle der Präzision
Granit ist bekannt für seinen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten von üblicherweise 5–7 × 10⁻⁶/℃. Selbst bei Temperaturschwankungen ändert sich die Größe der Granit-Präzisionsbasis kaum. In der Astronomie wird die Präzisionsplattform für die statische Druckluftlagerung zur Feinjustierung von Teleskoplinsen mit einer Granitbasis kombiniert. Selbst bei erheblichen Temperaturunterschieden zwischen Tag und Nacht gewährleistet dies die Positioniergenauigkeit der Linse im Submikrometerbereich und hilft Astronomen, die subtilen Dynamiken ferner Himmelskörper zu erfassen.
Keramische Werkstoffe zeichnen sich durch hervorragende thermische Stabilität aus. Der Wärmeausdehnungskoeffizient einiger Hochleistungskeramiken kann nahezu null betragen und lässt sich durch Rezeptur und Verarbeitung präzise steuern. In manchen temperaturempfindlichen Hochpräzisionsmessgeräten behält die Keramikbasis ihre Formstabilität bei Temperaturänderungen bei und gewährleistet so die präzise Bewegung der statischen Druckmessplattform. Die Langzeitstabilität der Messgenauigkeit in der Praxis wird jedoch durch Faktoren wie Materialalterung beeinflusst und muss daher weiter untersucht werden.
Langlebigkeit: Hochwertiger Naturstein und korrosionsbeständige synthetische Materialien
Granit ist sehr hart (Mohs-Härte 6–7) und weist eine gute Verschleißfestigkeit auf. In materialwissenschaftlichen Laboren wird häufig die Präzisions-Druckluft-Schwimmplattform mit Granitsockel eingesetzt. Dieser schützt effektiv vor langfristigem Reibungsverlust und verlängert im Vergleich zu herkömmlichen Sockeln die Wartungsintervalle der Plattform um mehr als 50 %. Dadurch werden die Wartungskosten gesenkt und die Kontinuität der wissenschaftlichen Forschung gewährleistet. Allerdings ist Granit relativ spröde und kann bei Stößen brechen.
Die Keramikbasis ist nicht nur hart, sondern zeichnet sich auch durch hervorragende Korrosionsbeständigkeit aus. In industriellen Umgebungen mit chemischer Korrosionsgefahr, wie beispielsweise Präzisions-Hydrostatik-Luftflotationsplattformen in Prüfgeräten für chemische Produkte, widersteht die Keramikbasis korrosiven Gasen und Flüssigkeiten und bewahrt so langfristig ihre Oberflächenintegrität und mechanischen Eigenschaften. Selbst unter extremen Bedingungen wie hoher Luftfeuchtigkeit ist die Leistungsstabilität der Keramikbasis der von Granitbasis überlegen.
Herstellungskosten und Verarbeitungsschwierigkeiten: Die Herausforderung des Natursteinabbaus und die technische Schwelle der künstlichen Synthese
Der Abbau und Transport von Granitrohstoffen sind komplex, und die Verarbeitung erfordert hochmoderne Ausrüstung und Technologie. Aufgrund seiner hohen Härte und Sprödigkeit neigen Schneid-, Schleif- und Polierprozesse sowie andere Bearbeitungsschritte zu Einstürzen, Rissen und hohem Ausschuss, was zu hohen Herstellungskosten führt.
Die Herstellung von Keramikbasismaterialien erfordert fortschrittliche Synthese- und Präzisionsbearbeitungstechnologien. Von der Rohmaterialaufbereitung über die Formgebung bis hin zum Sintern muss jeder Schritt präzise gesteuert werden. Der anfängliche Forschungs- und Entwicklungsaufwand sowie die Investitionen in die Ausrüstung sind enorm und stellen eine hohe technische Hürde dar. Mit der Ausweitung der Produktion wird jedoch eine Kostenreduzierung erwartet, wodurch sich ein kosteneffizientes Potenzial für High-End-Anwendungen ergibt.

Granit-Präzisionsfundamente zeichnen sich im Allgemeinen durch hohe Stabilität und herkömmliche Haltbarkeit aus, während Keramikfundamente einzigartige Vorteile in Bezug auf extreme Temperaturbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit bieten. Die Wahl des Fundaments sollte sich nach dem jeweiligen Anwendungsfall, den Umgebungsbedingungen und dem Kostenbudget der Präzisions-Druckluft-Schwimmplattform richten.
Veröffentlichungsdatum: 10. April 2025
