Einachsiges, luftgelagertes Ultrapräzisions-Bewegungsmodul: Granit-Basisguss für hervorragende Präzision.

Im Grenzbereich der Präzisionsfertigung und wissenschaftlichen Forschung steigt die Nachfrage nach hochpräziser Bewegungssteuerung täglich. Als Schlüsselkomponente für hochpräzise lineare Bewegungen wirkt sich die Leistung des hochpräzisen einachsigen Luftfedermoduls direkt auf die Qualität des Endprodukts und die Genauigkeit wissenschaftlicher Forschungsergebnisse aus. Unter den vielen Einflussfaktoren bietet die Verwendung einer Granitbasis einen beispiellosen Vorteil und wird zum Kernelement für höchste Genauigkeit.
Granit hat nach Millionen von Jahren geologischer Veränderungen eine extrem dichte und gleichmäßige innere Struktur entwickelt. Er besteht hauptsächlich aus Quarz, Feldspat und anderen Mineralien. Diese einzigartige Materialzusammensetzung verleiht Granit hervorragende physikalische Eigenschaften. Als Basis für ein einachsiges, luftgelagertes, ultrapräzises Bewegungsmodul zeigt Granit zunächst eine extrem hohe Stabilität. Im Vergleich zu herkömmlichen metallischen Basismaterialien sind Granitsockel gegenüber äußeren Einflüssen wie Temperaturschwankungen und mechanischen Vibrationen verformungsbeständiger. Bei der Herstellung elektronischer Chips muss die Positioniergenauigkeit der Chiplithografie im Nanometerbereich liegen. In der Produktionshalle können die durch den Betrieb großer Geräte verursachten Vibrationen und geringfügige Änderungen der Umgebungstemperatur die Bewegungsgenauigkeit der Lithografiegeräte beeinträchtigen. Das einachsige, luftgelagerte, ultrapräzise Bewegungsmodul mit Granitbasis kann externe Vibrationen wirksam dämpfen und die auf das Bewegungsmodul übertragene Vibrationsamplitude um mehr als 80 % reduzieren. Gleichzeitig bewirkt der extrem niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient, dass sich die Größe der Basis bei Temperaturschwankungen nur sehr wenig ändert. Dadurch wird sichergestellt, dass das luftschwebende Bewegungsmodul auch in einer komplexen Umgebung eine stabile Bewegungsgenauigkeit aufrechterhalten kann, eine präzise Positionierungsgrundlage für die Chiplithografie bietet und die Ausbeute bei der Chipherstellung erheblich verbessert.

Granit weist zudem eine gute Verschleißfestigkeit auf. Bei häufigen Hin- und Herbewegungen des hochpräzisen einachsigen Luftflotationsmoduls entsteht bei längerem Gebrauch trotz einer Gasfilmunterstützung zwischen dem Gleitstück und der Basis zwangsläufig eine gewisse Reibung. Die Granitbasis mit ihrer hohen Härte kann dem durch diese Reibung verursachten Verschleiß wirksam widerstehen und die Lebensdauer des Bewegungsmoduls verlängern. In wissenschaftlichen Forschungslabors von Universitäten benötigen die zur Mikropartikelerkennung eingesetzten Versuchsgeräte das hochpräzise Bewegungsmodul der einachsigen Luftflotation, um über einen langen Zeitraum stabil zu laufen und eine große Anzahl genauer Versuchsdaten zu erhalten. Die hohe Verschleißfestigkeit der Granitbasis stellt sicher, dass die Genauigkeit des Bewegungsmoduls auch nach langer Nutzungsdauer auf dem hohen Präzisionsniveau des Anfangsniveaus bleibt. Dies bietet eine zuverlässige Garantie für die Kontinuität und Genauigkeit wissenschaftlicher Forschungsarbeiten und hilft Forschern, die Geheimnisse der mikroskopischen Welt gründlich zu erforschen.
Das einachsige, luftgelagerte, ultrapräzise Bewegungsmodul mit Granitbasis ist wie ein präziser „Navigator“ für die Präzisionsfertigung und wissenschaftliche Forschung. Die Granitbasis mit ihrer hervorragenden Stabilität und Verschleißfestigkeit bietet der hochpräzisen Bewegung des luftgelagerten Bewegungsmoduls eine solide Unterstützung. In der Halbleiterfertigung, der Herstellung optischer Instrumente, der High-End-Forschung und vielen anderen Präzisionsbereichen spielt sie eine unersetzliche Rolle und fördert die Branche hin zu höherer Präzision und höherer Qualität.