Einachsiges, luftgelagertes Ultrapräzisions-Bewegungsmodul: Granit-Basisguss für hervorragende Präzision.

Im Grenzbereich der Präzisionsfertigung und der wissenschaftlichen Forschung steigt die Nachfrage nach hochpräziser Bewegungssteuerung täglich. Als Schlüsselkomponente für hochpräzise lineare Bewegungen wirkt sich die Leistung des hochpräzisen einachsigen Luftfedermoduls direkt auf die Qualität des Endprodukts und die Genauigkeit wissenschaftlicher Forschungsergebnisse aus. Unter den vielen Einflussfaktoren bietet der Einsatz einer Granitbasis einen beispiellosen Vorteil und wird zum Kernelement für höchste Genauigkeit.
Granit hat nach Millionen von Jahren geologischer Veränderungen eine extrem dichte und gleichmäßige innere Struktur entwickelt. Er besteht hauptsächlich aus Quarz, Feldspat und anderen Mineralien. Diese einzigartige Materialzusammensetzung verleiht Granit hervorragende physikalische Eigenschaften. Als Basis für ein einachsiges, luftschwebendes, ultrapräzises Bewegungsmodul zeigt Granit zunächst eine extrem hohe Stabilität. Verglichen mit Basen aus herkömmlichen Metallen zeigen Granitbasen eine höhere Verformungsbeständigkeit gegenüber äußeren Einflüssen wie Temperaturschwankungen und mechanischen Vibrationen. Bei der Herstellung elektronischer Chips muss die Positioniergenauigkeit der Chiplithografie im Nanometerbereich liegen. In der Produktionshalle können die durch den Betrieb großer Geräte verursachten Vibrationen und geringfügige Änderungen der Umgebungstemperatur die Bewegungsgenauigkeit der Lithografiegeräte beeinträchtigen. Das einachsige, luftschwebende, ultrapräzise Bewegungsmodul mit Granitbasis kann externe Vibrationen wirksam dämpfen und die auf das Bewegungsmodul übertragene Vibrationsamplitude um mehr als 80 % reduzieren. Gleichzeitig bewirkt der extrem niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient, dass sich die Größe der Basis bei Temperaturschwankungen nur sehr wenig ändert. Dadurch wird sichergestellt, dass das luftschwebende Bewegungsmodul auch in einer komplexen Umgebung eine stabile Bewegungsgenauigkeit aufrechterhalten kann. Dies bietet eine präzise Positionierungsgrundlage für die Chiplithografie und verbessert die Ausbeute bei der Chipherstellung erheblich.

Granit weist zudem eine hohe Verschleißfestigkeit auf. Bei häufigen Hin- und Herbewegungen des hochpräzisen einachsigen Luftflotationsmoduls entsteht bei längerem Gebrauch trotz der Gasfilmunterstützung zwischen Gleitstück und Basis zwangsläufig eine gewisse Reibung. Die Granitbasis mit ihrer hohen Härte widersteht dem durch Reibung verursachten Verschleiß wirksam und verlängert die Lebensdauer des Bewegungsmoduls. In wissenschaftlichen Forschungslaboren von Universitäten benötigen die zur Mikropartikelerkennung eingesetzten Versuchsgeräte das hochpräzise Bewegungsmodul der einachsigen Luftflotation, um lange Zeit stabil zu laufen und eine große Anzahl präziser Versuchsdaten zu erfassen. Die hohe Verschleißfestigkeit der Granitbasis stellt sicher, dass die Genauigkeit des Bewegungsmoduls auch nach langer Nutzungsdauer auf dem ursprünglichen hohen Präzisionsniveau bleibt. Dies gewährleistet die Kontinuität und Genauigkeit wissenschaftlicher Forschungsarbeiten und hilft Forschern, die Geheimnisse der mikroskopischen Welt gründlich zu ergründen.
Das einachsige, luftgelagerte, ultrapräzise Bewegungsmodul mit Granitbasis dient als präziser „Navigator“ für Präzisionsfertigung und wissenschaftliche Forschung. Die Granitbasis mit ihrer hervorragenden Stabilität und Verschleißfestigkeit bietet der hochpräzisen Bewegung des luftgelagerten Bewegungsmoduls einen soliden Halt. In der Halbleiterfertigung, der Herstellung optischer Instrumente, der anspruchsvollen wissenschaftlichen Forschung und vielen anderen Präzisionsbereichen spielt sie eine unersetzliche Rolle und fördert die Branche hin zu höherer Präzision und Qualität.