Einachsiges, luftgelagertes Ultrapräzisions-Bewegungsmodul: Granitsockelguss für höchste Präzision.

An der Spitze der Präzisionsfertigung und der wissenschaftlichen Forschung steigt der Bedarf an ultrapräziser Bewegungssteuerung stetig. Als Schlüsselkomponente für hochpräzise Linearbewegungen beeinflusst die Leistung des ultrapräzisen, einachsigen Luftlagermoduls direkt die Qualität des Endprodukts und die Genauigkeit der Forschungsergebnisse. Unter den zahlreichen Einflussfaktoren bietet die Verwendung einer Granitbasis einen unübertroffenen Vorteil und ist das Kernelement für höchste Präzision.
Granit weist nach Jahrmillionen geologischer Veränderungen eine extrem dichte und gleichmäßige innere Struktur auf. Er besteht hauptsächlich aus Quarz, Feldspat und anderen Mineralien. Diese einzigartige Materialzusammensetzung verleiht Granit hervorragende physikalische Eigenschaften. Als Basis eines einachsigen, luftgelagerten Ultrapräzisions-Bewegungsmoduls beweist Granit seine außergewöhnliche Stabilität. Im Vergleich zu herkömmlichen Metallbasen zeigt Granit eine deutlich höhere Verformungsbeständigkeit gegenüber äußeren Umwelteinflüssen wie Temperaturschwankungen und mechanischen Vibrationen. In der Elektronikchip-Fertigung ist eine Positioniergenauigkeit der Chiplithografie im Nanometerbereich erforderlich. In der Fertigungshalle können Vibrationen, die durch den Betrieb großer Anlagen entstehen, und geringfügige Änderungen der Umgebungstemperatur die Bewegungsgenauigkeit der Lithografiegeräte beeinträchtigen. Das einachsige, luftgelagerte Ultrapräzisions-Bewegungsmodul mit Granitbasis kann externe Vibrationen effektiv dämpfen und die auf das Bewegungsmodul übertragene Vibrationsamplitude um mehr als 80 % reduzieren. Gleichzeitig bewirkt der extrem niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient, dass sich die Größe der Basis bei Temperaturänderungen nur sehr geringfügig ändert. Dadurch wird sichergestellt, dass das luftgelagerte Bewegungsmodul auch in einer komplexen Umgebung eine stabile Bewegungsgenauigkeit beibehält, eine präzise Positionierungsgrundlage für die Chiplithografie bietet und die Ausbeute der Chipherstellung erheblich verbessert.

Granit zeichnet sich zudem durch eine hohe Verschleißfestigkeit aus. Bei der häufigen Hin- und Herbewegung des hochpräzisen, einachsigen Luftschwimmmoduls entsteht trotz der Gasfilmlagerung zwischen Gleiter und Basis im Langzeitbetrieb zwangsläufig Reibung. Die Granitbasis mit ihrer hohen Härte wirkt diesem Verschleiß effektiv entgegen und verlängert so die Lebensdauer des Moduls. In universitären Forschungslaboren ist für die Mikropartikelanalyse der stabile Betrieb des hochpräzisen, einachsigen Luftschwimmmoduls unerlässlich, um eine große Anzahl präziser Messdaten zu gewinnen. Die hohe Verschleißfestigkeit der Granitbasis gewährleistet, dass die Genauigkeit des Moduls auch nach langer Nutzungsdauer erhalten bleibt. Dies garantiert die Kontinuität und Genauigkeit wissenschaftlicher Arbeiten und ermöglicht es Forschern, die Geheimnisse der mikroskopischen Welt umfassend zu erforschen.
Das einachsige, luftgelagerte Ultrapräzisions-Bewegungsmodul mit Granitsockel dient als präziser „Navigator“ für die Präzisionsfertigung und wissenschaftliche Forschung. Der Granitsockel bietet mit seiner hervorragenden Stabilität und Verschleißfestigkeit eine solide Basis für die hochpräzise Bewegung des Moduls und spielt in der Halbleiterfertigung, der Herstellung optischer Instrumente, der Spitzenforschung und vielen anderen Bereichen mit hohen Präzisionsanforderungen eine unersetzliche Rolle. Er trägt maßgeblich dazu bei, die Industrie in Richtung höherer Präzision und Qualität zu lenken.