In der Halbleiterindustrie ist die Waferinspektion ein Schlüsselelement zur Sicherstellung der Qualität und Leistung des Chips. Die Genauigkeit und Stabilität des Inspektionstisches spielen eine entscheidende Rolle für die Erkennungsergebnisse. Die Granitbasis mit ihren einzigartigen Eigenschaften ist die ideale Wahl für den Inspektionstisch für Halbleiterwafer und ermöglicht Ihnen die Durchführung der mehrdimensionalen Analyse.
Erstens die Präzisionsgarantiedimension
1. Ultrahohe Ebenheit und Geradheit: Die Granitbasis wird mit modernster Technologie bearbeitet. Die Ebenheit kann eine Genauigkeit von ±0,001 mm/m oder sogar noch höher erreichen, und auch die Geradheit ist hervorragend. Bei der Waferinspektion bietet die hochpräzise Ebene dem Wafer eine stabile Unterstützung und gewährleistet einen präzisen Kontakt zwischen der Sonde des Prüfgeräts und den Lötstellen auf der Waferoberfläche.
2. Sehr niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: Die Halbleiterherstellung reagiert empfindlich auf Temperaturschwankungen, und der Wärmeausdehnungskoeffizient von Granit ist extrem niedrig, üblicherweise etwa 5×10⁻⁶/℃. Wenn die Detektionsplattform läuft, ändert sich die Größe der Granitbasis selbst bei schwankenden Umgebungstemperaturen kaum. Beispielsweise kann in einer Hochtemperaturwerkstatt im Sommer die Temperatur der Detektionsplattform mit herkömmlicher Metallbasis dazu führen, dass sich die relative Position von Wafer und Detektionsgerät verschiebt, was die Detektionsgenauigkeit beeinträchtigt. Die Detektionsplattform mit Granitbasis kann die Stabilität aufrechterhalten, die relative Positionsgenauigkeit von Wafer und Detektionsgerät während des Detektionsprozesses sicherstellen und eine stabile Umgebung für hochpräzise Detektion bieten.
Zweitens, Stabilitätsdimension
1. Stabile Struktur und Vibrationsfestigkeit: Granit weist nach Millionen von Jahren geologischer Prozesse eine dichte und gleichmäßige innere Struktur auf. In der komplexen Umgebung einer Halbleiterfabrik werden die durch den Betrieb von Peripheriegeräten und herumlaufendes Personal erzeugten Vibrationen durch die Granitbasis effektiv gedämpft.
2. Langzeitgenauigkeit: Im Vergleich zu anderen Materialien weist Granit eine hohe Härte und hohe Verschleißfestigkeit auf. Die Mohshärte kann 6–7 erreichen. Die Oberfläche der Granitbasis nutzt sich bei häufigem Be- und Entladen sowie bei Inspektionsvorgängen mit Wafern nicht so leicht ab. Laut der tatsächlichen Datennutzungsstatistik kann bei Verwendung eines Prüftisches mit Granitbasis im Dauerbetrieb nach 5.000 Stunden die Ebenheits- und Geradheitsgenauigkeit immer noch bei über 98 % der ursprünglichen Genauigkeit gehalten werden. Dies reduziert den Verschleiß der Basis durch regelmäßige Kalibrierungs- und Wartungszeiten, senkt die Betriebskosten und gewährleistet die langfristige Stabilität der Prüfarbeiten.
Drittens: saubere und störungsfreie Dimension
1. Geringe Staubentwicklung: Die Umgebung der Halbleiterfertigung muss hochrein sein. Granit ist stabil und staubt nicht so leicht. Während des Betriebs der Testplattform wird verhindert, dass der von der Basis erzeugte Staub den Wafer verunreinigt, wodurch das Risiko von Kurzschlüssen und Unterbrechungen durch Staubpartikel reduziert wird. Im Wafer-Inspektionsbereich der staubfreien Werkstatt wird die Staubkonzentration rund um den Inspektionstisch mit Granitbasis stets auf einem extrem niedrigen Niveau gehalten, um die strengen Sauberkeitsanforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen.
2. Keine magnetischen Störungen: Das Detektionsgerät reagiert empfindlich auf die elektromagnetische Umgebung. Granit ist ein nichtmagnetisches Material, das das elektronische Signal des Detektionsgeräts nicht stört. Bei der Elektronenstrahldetektion und anderen Testtechnologien, die eine extrem hohe elektromagnetische Umgebung erfordern, gewährleistet die Granitbasis die stabile Übertragung des elektronischen Signals des Detektionsgeräts und gewährleistet die Genauigkeit der Testergebnisse. Wenn beispielsweise der Wafer auf hochpräzise elektrische Leistung geprüft wird, verhindert die nichtmagnetische Granitbasis Störungen der Detektionsstrom- und -spannungssignale, sodass die Detektionsdaten die elektrischen Eigenschaften des Wafers genau widerspiegeln.
Veröffentlichungszeit: 31. März 2025