Granit-Luftlagertische sind ein wesentlicher Bestandteil von Präzisionsgeräten, die häufig in der Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung, bei optischen Geräten und Satelliten eingesetzt werden. Diese Tische bestehen aus einem Granitsockel, auf dem eine bewegliche Plattform ruht, die von einer dünnen Luftschicht getragen und von elektromagnetischen Motoren und Linearantrieben angetrieben wird. Dank ihrer vielen einzigartigen Eigenschaften sind Granit-Luftlagertische anderen Tischtypen vorzuziehen.
Vorteile von Granit-Luftlagerbühnen:
1. Hohe Präzision und Genauigkeit – Granit-Luftlagertische bieten ein Höchstmaß an Präzision und ermöglichen eine Genauigkeit im Nanometerbereich. Dies ist entscheidend für Prozesse wie die Lithografie, wo jeder Fehler erhebliche Auswirkungen auf das Endprodukt haben kann.
2. Hohe Tragfähigkeit – Granit-Luftlagertische verfügen über eine robuste Granitbasis, die es ihnen ermöglicht, im Gegensatz zu Alternativen wie Kugellagertischen, hohe Lasten zu tragen. Diese Eigenschaft macht sie ideal für die Handhabung großer Wafer und Werkzeuge, die in der Halbleiter- und Mikroelektronikproduktion eingesetzt werden.
3. Reibungsfreie Bewegung und Laufruhe – Die Granit-Luftlagerplattformen lagern die bewegliche Plattform in einem dünnen Luftfilm, wodurch jeglicher Kontakt zwischen Plattform und Basis vermieden wird. So entsteht keine Reibung zwischen den beweglichen Teilen, was eine gleichmäßige und vibrationsfreie Bewegung ermöglicht.
4. Hohe Geschwindigkeitsfähigkeit – Die in den Granit-Luftlagertischen verwendeten elektromagnetischen Motoren ermöglichen eine hohe Bewegungsgeschwindigkeit und eignen sich daher ideal für Positionierung, Scannen und andere Aufgaben mit hohen Präzisionsanforderungen.
5. Langlebigkeit und minimaler Wartungsaufwand – Die Granitbasis der Bühne zeichnet sich durch außergewöhnliche Stabilität, Wärmebeständigkeit und Verschleißfestigkeit aus. Daher benötigen luftgelagerte Granitbühnen nur minimalen Wartungsaufwand und bieten eine lange Lebensdauer.
Nachteile von Granit-Luftlagerbühnen:
1. Kosten – Die fortschrittliche Technologie, die bei der Konstruktion und Fertigung von Granit-Luftlagerbühnen zum Einsatz kommt, macht diese zu einer kostspieligen Investition. Dies könnte für kleinere Unternehmen oder Firmen mit begrenztem Budget ein Nachteil sein.
2. Komplexe Installation – Granit-Luftlagerbühnen erfordern bei Installation, Kalibrierung und Betrieb spezielle Kenntnisse und Fachkenntnisse, was für Nicht-Experten eine Herausforderung darstellt.
3. Empfindlichkeit gegenüber Vibrationen – Obwohl Granit-Luftlagerplattformen so konstruiert sind, dass sie eine gleichmäßige und vibrationsfreie Bewegung ermöglichen, können sie durch äußere Vibrationen beeinträchtigt werden, die das empfindliche Gleichgewicht der schwimmenden Plattform stören.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit-Luftlagertische eine hocheffektive und präzise Lösung für Anwendungen mit hohen Präzisionsanforderungen darstellen, die eine reibungslose und schnelle Bewegung großer Lasten erfordern. Ihre Robustheit, Langlebigkeit und lange Lebensdauer machen sie zur bevorzugten Wahl für viele Fertigungs-, Prüf- und Forschungsanwendungen. Obwohl die hohen Anschaffungskosten und die komplexe Installation ein Nachteil sein können, überwiegen die Vorteile von Granit-Luftlagertischen diese Nachteile deutlich, sodass sie eine hervorragende Investition in Präzisionsausrüstung darstellen.
Veröffentlichungsdatum: 20. Oktober 2023