Granit ist eine Art harter Gestein, das in der Halbleiterherstellung zu einem unverzichtbaren Material geworden ist. Seine Eigenschaften ermöglichen es ihm, hohen Temperaturen standzuhalten, was es ideal für die Verwendung in verschiedenen Stadien der Herstellungsprozesse für Halbleiter -Geräte ideal macht. Infolgedessen hat die Granitbaugruppe umfangreiche Anwendungsbereiche in Produkten für Halbleiterherstellungsprozess festgestellt.
Eine der am häufigsten verwendeten Anwendungen der Granitbaugruppe ist der Bau von hochpräzise Werkzeugmaschinenstrukturen. Die Starrheit und Stabilität von Granit ermöglicht es, präzise und genaue Werkzeuge mit wenig oder gar nicht zu verformt zu haben. Diese Präzision ist bei Halbleiterherstellungsprozessen wie Ionenimplantation erforderlich, bei denen der Strahl genau auf den Wafer gerichtet sein muss.
Eine weitere Anwendung der Granitbaugruppe in der Herstellung von Halbleiter ist der Bau von Metrologieausrüstung. Metrologieausrüstung ist bei Halbleiterherstellungsprozessen von entscheidender Bedeutung, da sie die Genauigkeit der hergestellten Geräte misst und überprüft. Die dimensionale Stabilität von Granit, eine geringe thermische Expansion und die hervorragenden Vibrationsdämpfungseigenschaften machen es zum Material der Wahl beim Bau von Messgeräten. Dies umfasst große Granitoberflächen, die bei der Inszenierung und Inspektion von Wafern verwendet werden.
Optische Tabellen sind ein weiterer Bereich mit umfassender Anwendung der Granitversammlung in der Halbleiterindustrie. Optische Tabellen werden zum Testen optischer Geräte wie Wellenleiter für die Datenkommunikation verwendet. Granites Flachheit, niedrige thermische Expansion, hohe Steifigkeit und mechanische Stabilität ermöglichen es ihm, eine hochstabile Oberfläche für die Montage und Positionierung der Optik zu liefern. Granit optische Tabellen können die Stabilität und Steifigkeit liefern, die für genaue, genaue Tests von optischen Geräten erforderlich sind.
Granit findet auch Anwendung beim Bau von Waferspitzen und -bühnen. Während des Halbleiterherstellungsprozesses ist die Präzisionsausrichtung und die Positionskontrolle von entscheidender Bedeutung. Wafer -Chucks, die die Wafer während der Verarbeitung an Ort und Stelle halten, müssen die Positionsgenauigkeit beibehalten und gleichzeitig hohe Temperaturen und Vakuumbedingungen standhalten. Granit hat eine ausgezeichnete dimensionale Stabilität über einen weiten Temperaturbereich und kann Vakuumbedingungen standhalten, was es ideal für den Bau von Waferschöcken ist. Stadien, die bei der Bewegung von Wafern von einer Position zu einer anderen verwendet werden, durchlaufen eine Radfahrensequenz von Bewegungen während eines Halbleiterherstellungsprozesses. Die Granitanordnung bietet Stabilität und Haltbarkeit, die erforderlich ist, um die kontinuierlichen und sich wiederholenden Bewegungszyklen zu tragen.
Zusammenfassend ist die Anwendung der Granitansammlung in der Semiconductor Manufacturing Industry enorm. Seine Eigenschaften wie dimensionale Stabilität, niedrige thermische Expansion, hohe Steifigkeit und Schwingungsdämpfung machen es zu einem idealen Material für die Verwendung in verschiedenen Stadien der Herstellungsprozesse der Halbleitervorrichtung. Von der Konstruktion von hochpräzisen Werkzeugmaschinen und Metrologiegeräten bis hin zu optischen Tabellen und Waferstufen und -spitzen spielen Granit-Attribute eine entscheidende Rolle für die Bereitstellung von Stabilität, Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die erforderlich sind, um eine qualitativ hochwertige Semiconductor-Geräteherstellung zu erzielen.
Postzeit: Dezember 06-2023