Granit ist ein hartes Gestein, das sich in der Halbleiterindustrie als unverzichtbarer Werkstoff etabliert hat. Seine Eigenschaften ermöglichen es ihm, hohen Temperaturen standzuhalten, wodurch er sich ideal für verschiedene Phasen der Halbleiterfertigung eignet. Daher findet Granit in der Halbleiterindustrie breite Anwendung.
Eine der häufigsten Anwendungen von Granitbauteilen liegt im Bau von hochpräzisen Werkzeugmaschinen. Die Steifigkeit und Stabilität von Granit ermöglichen die Herstellung präziser und genauer Werkzeuge mit minimaler oder gar keiner Verformung. Diese Präzision ist in Halbleiterfertigungsprozessen wie der Ionenimplantation unerlässlich, bei der der Ionenstrahl exakt auf den Wafer gerichtet werden muss.
Eine weitere Anwendung von Granit in der Halbleiterfertigung liegt im Bau von Messtechnik. Diese ist für die Halbleiterfertigung unerlässlich, da sie die Genauigkeit der hergestellten Bauelemente misst und überprüft. Dank seiner Dimensionsstabilität, geringen Wärmeausdehnung und hervorragenden Schwingungsdämpfungseigenschaften ist Granit das bevorzugte Material für den Bau von Messtechnik. Dies umfasst auch große Granitflächen, die zum Positionieren und Prüfen von Wafern verwendet werden.
Optische Tische sind ein weiteres Anwendungsgebiet für Granit in der Halbleiterindustrie. Sie werden beispielsweise zum Testen von Wellenleitern für die Datenkommunikation eingesetzt. Dank seiner Ebenheit, geringen Wärmeausdehnung, hohen Steifigkeit und mechanischen Stabilität bietet Granit eine äußerst stabile Oberfläche für die Montage und Positionierung optischer Bauteile. Optische Tische aus Granit gewährleisten die erforderliche Stabilität und Steifigkeit für präzise und genaue Tests optischer Komponenten.
Granit findet auch Anwendung im Bau von Wafer-Chucks und -Tischen. Im Halbleiterfertigungsprozess sind präzise Ausrichtung und Positionskontrolle entscheidend. Wafer-Chucks, die die Wafer während der Bearbeitung fixieren, müssen Positionsgenauigkeit gewährleisten und gleichzeitig hohen Temperaturen und Vakuumbedingungen standhalten. Granit zeichnet sich durch hervorragende Dimensionsstabilität über einen weiten Temperaturbereich und Vakuumbeständigkeit aus und ist daher ideal für den Bau von Wafer-Chucks geeignet. Die für den Wafertransport verwendeten Tische durchlaufen während der Halbleiterfertigung eine zyklische Bewegungsfolge. Granitkonstruktionen bieten die notwendige Stabilität und Haltbarkeit für diese kontinuierlichen und sich wiederholenden Bewegungszyklen.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit in der Halbleiterindustrie vielfältige Anwendung findet. Eigenschaften wie Dimensionsstabilität, geringe Wärmeausdehnung, hohe Steifigkeit und Schwingungsdämpfung machen ihn zu einem idealen Material für verschiedene Phasen der Halbleiterfertigung. Vom Bau hochpräziser Werkzeugmaschinen und Messtechnik bis hin zu optischen Tischen, Wafer-Positioniervorrichtungen und Spannfuttern spielen die Eigenschaften von Granit eine entscheidende Rolle für die Stabilität, Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente unerlässlich sind.
Veröffentlichungsdatum: 06.12.2023