Anwendungsgebiet des einachsigen, luftgelagerten Ultrapräzisions-Bewegungsmoduls mit Granitsockel.

Halbleiterfertigung: Im Chipherstellungsprozess muss das Schaltungsmuster mittels Fotolithografie präzise auf den Wafer übertragen werden. Die Granitbasis des einachsigen, luftgelagerten Ultrapräzisions-Bewegungsmoduls ermöglicht eine hochpräzise Positionierung und stabile Unterstützung des Wafertisches in der Lithografieanlage. Beispielsweise verwenden ASML und andere international renommierte Hersteller von Lithografiemaschinen luftgelagerte Bewegungsmodule mit Granitbasis in ihren High-End-Anlagen. Diese ermöglichen die Steuerung der Waferpositionierungsgenauigkeit im Nanometerbereich und gewährleisten so die Genauigkeit des Lithografiemusters. Dadurch werden die Integration und die Leistung des Chips verbessert.
Präzisionsmesstechnik: Koordinatenmessgeräte (KMG) sind in der industriellen Fertigung weit verbreitete Präzisionsmessgeräte zur Messung von Größe, Form und Positionsgenauigkeit von Werkstücken. Das hochpräzise Bewegungsmodul mit einachsiger Luftlagerung auf Granitbasis dient als Bewegungsplattform des KMG und ermöglicht hochpräzise Linearbewegungen sowie eine stabile Messbahn für den Messtaster. Beispielsweise nutzt das High-End-KMG von Hexagon diese Kombination zur Messung großer und komplexer Bauteile mit einer Messgenauigkeit im Mikrometerbereich und gewährleistet so eine zuverlässige Teilequalitätskontrolle in der Automobil-, Luft- und Raumfahrtindustrie sowie weiteren Branchen.
Luft- und Raumfahrt: Bei der Bearbeitung und Prüfung von Bauteilen für die Luft- und Raumfahrt ist höchste Präzision erforderlich. Beispielsweise erfordert die Bearbeitung von Triebwerkschaufeln eine präzise Steuerung der Werkzeugbewegung, um die Profilgenauigkeit der Schaufeln zu gewährleisten. Das luftgelagerte Ultrapräzisions-Bewegungsmodul mit Granitbasis auf einer Achse kann in Fünf-Achs-Bearbeitungszentren und anderen Anlagen eingesetzt werden, um eine hochpräzise Werkzeugbewegung zu ermöglichen und sicherzustellen, dass die Bearbeitungsgenauigkeit der Schaufeln den Konstruktionsvorgaben entspricht. Gleichzeitig ist es im Montageprozess von Triebwerken notwendig, die Montagegenauigkeit der Bauteile mithilfe hochpräziser Messgeräte zu überprüfen. Das luftgelagerte Bewegungsmodul mit Granitbasis bietet den Messgeräten eine stabile Unterstützung und präzise Bewegung, um die Montagequalität zu gewährleisten.
Optische Inspektion: In der Fertigung und Prüfung optischer Komponenten ist eine hochpräzise Positionierung und Messung unerlässlich. Beispielsweise erfordert die Herstellung hochpräziser optischer Komponenten wie Spiegel und Linsen den Einsatz von Interferometern und anderen Messgeräten zur Bestimmung der Oberflächenformgenauigkeit. Die Granitbasis des einachsigen, luftgelagerten Ultrapräzisions-Bewegungsmoduls dient als Bewegungsplattform für das Interferometer und ermöglicht eine Positionierungsgenauigkeit im Submikrometerbereich sowie die Bereitstellung präziser Messdaten für die Prüfung optischer Komponenten. Auch in der Laserbearbeitung ist eine hochpräzise Bewegungsplattform zur Steuerung der Scanbahn des Laserstrahls erforderlich. Die Granitbasis des luftgelagerten Bewegungsmoduls erfüllt diese Anforderung und ermöglicht so eine hochpräzise Laserbearbeitung.