Der Anwendungsbereich des einachsigen, luftgefederten Ultrapräzisions-Bewegungsmoduls mit Granitbasis.

Halbleiterfertigung: Im Chipherstellungsprozess muss das Schaltungsmuster mittels Fotolithografie präzise auf den Wafer übertragen werden. Die Granitbasis des einachsigen, luftschwebenden Ultrapräzisions-Bewegungsmoduls ermöglicht eine hochpräzise Positionierung und stabilen Halt des Wafertisches in der Lithografieanlage. Beispielsweise verwenden ASML und andere international renommierte Lithografiemaschinenhersteller luftschwebende Bewegungsmodule mit Granitbasis in ihren High-End-Anlagen. Diese steuern die Positionierungsgenauigkeit des Wafers im Nanometerbereich, um die Genauigkeit des Lithografiemusters zu gewährleisten und so die Integration und Leistung des Chips zu verbessern.
Präzisionsmessbereich: Koordinatenmessgeräte (KMGs) sind Präzisionsmessgeräte, die in der industriellen Produktion häufig eingesetzt werden und zur Messung von Größe, Form und Positionsgenauigkeit von Werkstücken dienen. Das hochpräzise Bewegungsmodul des einachsigen Luftschwimmers auf Granitbasis dient als Bewegungsplattform des KMGs. Es ermöglicht hochpräzise lineare Bewegungen und bietet eine stabile Bewegungsbahn für den Messtaster. Beispielsweise nutzt das High-End-KMG von Hexagon diese Kombination, um große und komplexe Teile mit einer Messgenauigkeit von bis zu µm zu messen und so die Qualitätskontrolle von Teilen in der Automobil-, Luft- und Raumfahrtindustrie und anderen Branchen zu gewährleisten.
Luft- und Raumfahrt: Bei der Bearbeitung und Prüfung von Luft- und Raumfahrtteilen ist hohe Präzision erforderlich. Beispielsweise erfordert die Bearbeitung von Flugzeugtriebwerksschaufeln eine präzise Steuerung der Werkzeugbewegung, um die Profilgenauigkeit der Schaufeln zu gewährleisten. Die Granitbasis des einachsigen, luftgelagerten, ultrapräzisen Bewegungsmoduls kann an Fünf-Achs-Bearbeitungszentren und anderen Geräten eingesetzt werden, um eine hochpräzise Bewegungssteuerung des Werkzeugs zu gewährleisten und sicherzustellen, dass die Bearbeitungsgenauigkeit der Schaufel den Konstruktionsanforderungen entspricht. Gleichzeitig ist bei der Montage von Flugzeugtriebwerken der Einsatz hochpräziser Messtechnik erforderlich, um die Montagegenauigkeit der Teile zu überprüfen. Das luftgelagerte Bewegungsmodul der Granitbasis bietet stabilen Halt und präzise Bewegung für die Messtechnik, um die Montagequalität zu gewährleisten.
Optische Inspektion: Bei der Herstellung und Prüfung optischer Komponenten ist eine hochpräzise Positionierung und Messung erforderlich. Beispielsweise werden bei der Herstellung hochpräziser optischer Komponenten wie Spiegeln und Linsen Interferometer und andere Geräte zur Überprüfung der Oberflächenform eingesetzt. Die Granitbasis des einachsigen, luftgelagerten, ultrapräzisen Bewegungsmoduls dient als Bewegungsplattform des Interferometers. Dadurch wird eine Positionierungsgenauigkeit im Submikrometerbereich erreicht und eine präzise Datenunterstützung für die Erkennung optischer Komponenten bereitgestellt. Auch in der Laserbearbeitung ist eine hochpräzise Bewegungsplattform zur Steuerung der Laserstrahlbahn erforderlich. Die Granitbasis des luftgelagerten Bewegungsmoduls erfüllt diese Anforderung und ermöglicht eine hochpräzise Laserbearbeitung.