Der Anwendungsbereich des einachsigen, luftgelagerten Ultrapräzisions-Bewegungsmoduls mit Granitbasis.

Halbleiterfertigung: Bei der Chipherstellung muss das Schaltungsmuster mittels Fotolithografie präzise auf den Wafer übertragen werden. Die Granitbasis des einachsigen, luftschwebenden Ultrapräzisions-Bewegungsmoduls ermöglicht eine hochpräzise Positionierung und stabilen Halt des Wafertisches in der Lithografieanlage. Beispielsweise verwenden ASML und andere international renommierte Lithografiemaschinenhersteller in ihren High-End-Geräten luftschwebende Bewegungsmodule mit Granitbasis. Diese steuern die Positionierungsgenauigkeit des Wafers im Nanometerbereich, um die Genauigkeit des Lithografiemusters sicherzustellen und so die Integration und Leistung des Chips zu verbessern.
Präzisionsmessbereich: KMGs sind Präzisionsmessgeräte, die in der industriellen Produktion häufig eingesetzt werden und zur Messung von Größe, Form und Positionsgenauigkeit von Werkstücken dienen. Das hochpräzise Bewegungsmodul des einachsigen Luftschwimmers auf der Granitbasis dient als Bewegungsplattform des KMGs. Es ermöglicht hochpräzise lineare Bewegungen und bietet eine stabile Bewegungsbahn für die Messsonde. Beispielsweise nutzt das High-End-KMG von Hexagon diese Kombination, um große und komplexe Teile mit einer Messgenauigkeit von bis zu µm zu messen und so die Qualitätskontrolle von Teilen in der Automobil-, Luft- und Raumfahrtindustrie und anderen Branchen zu gewährleisten.
Luft- und Raumfahrt: Bei der Bearbeitung und Prüfung von Luft- und Raumfahrtteilen ist hohe Präzision gefragt. Beispielsweise erfordert die Bearbeitung von Flugzeugtriebwerksschaufeln eine präzise Steuerung der Werkzeugbewegung, um die Profilgenauigkeit der Schaufeln zu gewährleisten. Die Granitbasis des einachsigen, luftgelagerten, ultrapräzisen Bewegungsmoduls kann auf Fünf-Achsen-Bearbeitungszentren und andere Geräte angewendet werden, um eine hochpräzise Bewegungssteuerung des Werkzeugs zu ermöglichen und sicherzustellen, dass die Bearbeitungsgenauigkeit der Schaufel den Konstruktionsanforderungen entspricht. Gleichzeitig ist bei der Montage von Flugzeugtriebwerken der Einsatz hochpräziser Messtechnik erforderlich, um die Montagegenauigkeit der Teile zu überprüfen. Das luftgelagerte Bewegungsmodul der Granitbasis bietet stabilen Halt und präzise Bewegung für die Messtechnik, um die Montagequalität sicherzustellen.
Optische Inspektion: Bei der Herstellung und Prüfung optischer Komponenten ist eine hochpräzise Positionierung und Messung erforderlich. Bei der Herstellung hochpräziser optischer Komponenten wie Spiegeln und Linsen werden beispielsweise Interferometer und andere Geräte zur Überprüfung der Oberflächenform eingesetzt. Die Granitbasis des einachsigen, luftgelagerten, hochpräzisen Bewegungsmoduls dient als Bewegungsplattform des Interferometers. Dadurch wird eine Positionierungsgenauigkeit im Submikrometerbereich erreicht und eine präzise Datenunterstützung für die Erkennung optischer Komponenten bereitgestellt. Darüber hinaus ist in der Laserbearbeitungsanlage eine hochpräzise Bewegungsplattform zur Steuerung der Scanbahn des Laserstrahls erforderlich. Die Granitbasis des luftgelagerten Bewegungsmoduls erfüllt diese Anforderung und ermöglicht eine hochpräzise Laserbearbeitung.