In der anspruchsvollen Welt der Halbleiterfertigung, wo Bauteile im Nanometerbereich vermessen werden und Fertigungstoleranzen mikroskopische Präzision erfordern, ist das Fundament dieser Technologien unsichtbar, aber unverzichtbar. Bei ZHHIMG perfektionieren wir seit Jahrzehnten die Kunst und Wissenschaft der Herstellung von Ultrapräzisions-Granitbauteilen – den stillen Helden, die die fortschrittlichsten Fertigungsprozesse von heute ermöglichen. Als weltweit führender Anbieter von Präzisionsgranitlösungen sind wir stolz darauf, Ihnen zu zeigen, wie unser schwarzer Granit mit einer Dichte von 3100 kg/m³ die Möglichkeiten in der Halbleiterlithografie, in Messsystemen und auf fortschrittlichen Fertigungsplattformen weltweit neu definiert.
Das Fundament moderner Präzision: Warum Granit?
Bei der Herstellung von Chips mit 3-nm-Technologie – bei der die Transistorbreite in die Größenordnung einzelner Atome sinkt – sind Halbleiterhersteller auf Anlagen angewiesen, die Stabilität auf atomarer Ebene gewährleisten müssen. Hier erweisen sich die einzigartigen Eigenschaften von Granit als unersetzlich. Im Gegensatz zu Metalllegierungen, die sich bei Temperaturschwankungen ausdehnen, oder synthetischen Verbundwerkstoffen, denen es an Langzeitstabilität mangelt, bietet unser patentierter schwarzer Granit ZHHIMG® eine außergewöhnliche thermische Trägheit und hervorragende Schwingungsdämpfung. Mit einer Dichte von 3100 kg/m³ – deutlich höher als die von Standard-Granit aus Europa (typischerweise 2600–2800 kg/m³) – bietet unser Material die optimale stabile Plattform für präzise Bewegungssteuerungssysteme.
Betrachten wir die Herausforderungen der EUV-Lithografie, bei der optische Systeme über Stunden hinweg eine subnanometergenaue Ausrichtung beibehalten müssen. Die Granitbasis dieser Systeme muss selbst mikroskopischen Vibrationen durch Produktionsanlagen oder Umwelteinflüsse standhalten. Laut Vergleichstests mit dem National Physical Laboratory (UK) absorbiert unser Material aufgrund seines internen Dämpfungskoeffizienten 10- bis 15-mal mehr Vibrationsenergie als Stahl. Dieser Leistungsunterschied führt direkt zu höheren Ausbeuten und geringeren Fehlerraten in der Halbleiterproduktion – ein entscheidender Vorteil in einer Branche, in der eine einzige Sekunde Ausfallzeit Tausende von Dollar kosten kann.
Ingenieurtechnische Exzellenz: Vom Steinbruch zum Quantensprung
Unser Anspruch an Präzision beginnt bereits an der Quelle. Wir haben exklusiven Zugang zu erstklassigen Granitvorkommen, die aufgrund ihrer homogenen Kristallstruktur und minimalen Mineralvariationen ausgewählt werden. Jeder Block reift sechs Monate lang auf natürliche Weise, bevor er in unsere 200.000 m² große Produktionsstätte nahe Jinan gelangt. Dank der strategisch günstigen Lage mit direktem Zugang zum Hafen von Qingdao ist der weltweite Vertrieb optimal gewährleistet. Unsere Produktionskapazitäten sind unübertroffen: Mit vier taiwanesischen Nan-Teh-Schleifmaschinen (Investitionswert jeweils über 500.000 US-Dollar) können wir Einzelkomponenten mit einem Gewicht von bis zu 100 Tonnen und einer Länge von bis zu 20 Metern bearbeiten – Fähigkeiten, die es uns kürzlich ermöglichten, kundenspezifische Anlagen für das System der nächsten Generation eines führenden Herstellers von EUV-Anlagen zu liefern.
Das Herzstück unserer Produktion ist unsere 10.000 m² große Anlage mit konstanter Temperatur und Luftfeuchtigkeit, in der alle Umgebungsvariablen präzise kontrolliert werden. Der 1000 mm dicke, extrem harte Betonboden in Kombination mit 500 mm breiten Schwingungsdämpfungsgräben, die den Produktionsbereich umgeben, schafft eine stabile Umgebung, in der Temperaturschwankungen innerhalb von ±0,5 °C gehalten werden. Diese hohe Klimatisierung ist unerlässlich für die Herstellung von Granit-Oberflächenplatten mit Ebenheitstoleranzen unter 0,5 μm und einer Länge von über 6000 mm – Spezifikationen, die mit unseren Renishaw-Laserinterferometern und Mahr-Präzisionsmessgeräten, die alle nach den Standards nationaler Metrologieinstitute kalibriert sind, überprüft werden.
Branchenstandards setzen: Zertifizierungen und Qualitätsverpflichtung
Als einziger Hersteller von Präzisionsgranit mit gleichzeitiger Zertifizierung nach ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 und CE haben wir branchenweit Maßstäbe in puncto Qualität gesetzt. Unsere Qualitätspolitik – „Präzision darf nicht zu anspruchsvoll sein“ – prägt jeden Aspekt unserer Tätigkeit, von der Rohmaterialprüfung bis zur Endzertifizierung. Besonders stolz sind wir auf unser metrologisches Prüfsystem, das unter anderem Mikrometer von Mahr (0,5 µm Auflösung), Profilometer von Mitutoyo und elektronische Nivelliergeräte von WYLER (Schweiz) umfasst. Alle Geräte sind auf das Nationale Metrologieinstitut Chinas rückführbar und werden regelmäßig im Rahmen internationaler Vergleichsprogramme mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTA) und dem National Institute of Standards and Technology (NIST) geprüft.
Dieser kompromisslose Ansatz hat uns Partnerschaften mit Branchenführern wie GE, Samsung und ASML-Zulieferern eingebracht. Als ein großer Halbleiteranlagenhersteller kundenspezifische Granit-Luftlagertische für seine 300-mm-Wafer-Inspektionssysteme benötigte, stellte unsere Fähigkeit, monatlich 20.000 Präzisionsbettbaugruppen zu fertigen, sicher, dass der Produktionshochlauf termingerecht erfolgen konnte. Ebenso erweitert unsere Zusammenarbeit mit der Nanyang Technological University in Singapur im Bereich kohlenstofffaserverstärkter Granitverbundwerkstoffe die Grenzen leichter Präzisionsstrukturen für Messtechniksysteme der nächsten Generation.
Über die Fertigung hinaus: Die Wissenschaft der Messung weiterentwickeln
Bei ZHHIMG verfolgen wir die Philosophie: „Was man nicht messen kann, kann man nicht herstellen.“ Diese Überzeugung prägt unsere fortlaufenden Forschungspartnerschaften mit Institutionen wie dem Precision Engineering Lab der Universität Stockholm und dem Changchun Institute of Optics in China. Gemeinsam entwickeln wir neue Messmethoden, die über die traditionelle taktile Prüfung hinausgehen und optische Interferometrie sowie Computertomographie zur Analyse der inneren Spannungen großer Granitbauteile umfassen. Unser jüngster Durchbruch bei der Anwendung von Ultraschallprüfung zur Kartierung innerer Kristallstrukturen hat die Ausschussquote um 37 % gesenkt und gleichzeitig die Vorhersagen zur Langzeitstabilität verbessert.
Unser Engagement für die Weiterentwicklung der Messtechnik spiegelt sich in unserem hochmodernen Metrologielabor wider. Dieses verfügt über einen Reinraum der Klasse 100, der speziell für die Montage von Halbleiterkomponenten konzipiert wurde. Hier simulieren wir die Produktionsumgebungen unserer Kunden, um sicherzustellen, dass unsere Granitsockel ihre Präzision im Nanometerbereich auch unter realen Betriebsbedingungen beibehalten. Dank dieses hohen Engagements sind wir ein vertrauenswürdiger Partner für Organisationen wie das Jet Propulsion Laboratory der NASA und führende Quantencomputing-Startups, die fehlerkorrigierte Qubit-Systeme entwickeln.
Die Zukunft gestalten: Nachhaltigkeit und Innovation
Mit der Weiterentwicklung der Präzisionsfertigung entwickelt sich auch unser Ansatz für eine nachhaltige Produktion. Unsere ISO-14001-Zertifizierung unterstreicht unser Engagement für verantwortungsvolles Ressourcenmanagement. Dazu gehören Wasserrecyclingsysteme, die 95 % unseres Schleifkühlmittels auffangen und aufbereiten, sowie eine Solaranlage, die 28 % unseres Strombedarfs deckt. Darüber hinaus haben wir eigene Diamantdrahtsägetechniken entwickelt, die den Materialabfall im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren um 40 % reduzieren – ein bedeutender Fortschritt in einer Branche, in der die Rohstoffkosten bis zu 35 % der Produktionskosten ausmachen.
Mit Blick auf die Zukunft konzentriert sich unser Forschungs- und Entwicklungsteam auf drei zukunftsweisende Bereiche: die Integration von Sensornetzwerken direkt in Granitstrukturen zur Echtzeit-Zustandsüberwachung, die Entwicklung von Gradientendichte-Verbundwerkstoffen zur Optimierung des Steifigkeits-Gewichts-Verhältnisses und die Entwicklung wegweisender KI-gestützter, vorausschauender Wartungssysteme für unsere Produktionsanlagen. Diese Innovationen bauen auf unserer Erfahrung mit über 20 internationalen Patenten auf und versetzen uns in die Lage, die nächste Generation der Halbleiterfertigung, einschließlich 2-nm- und kleinerer Prozesstechnologien, zu unterstützen.
In einer Branche, in der Präzision die Grundlage für zukünftige Möglichkeiten bildet, setzt ZHHIMG weiterhin Maßstäbe für ultrapräzise Granitkomponenten. Unsere Kombination aus Materialwissenschaftsexpertise, Fertigungskapazität (20.000 Einheiten pro Monat) und kompromissloser Qualitätskontrolle hat uns zum bevorzugten Partner für Unternehmen gemacht, die die Grenzen der fortschrittlichen Fertigung erweitern. Angesichts der Herausforderungen durch kleinere Strukturgrößen, höhere Packungsdichten und komplexere 3D-Architekturen können Halbleiterhersteller auf die Präzisionsgranitlösungen von ZHHIMG vertrauen, die ihnen das stabile Fundament für die Zukunft der Technologie bieten.
For technical specifications, certification documentation, or to discuss custom solutions for your precision manufacturing challenges, contact our engineering team at info@zhhimg.com or visit our technology center in Jinan, where we maintain a fully equipped demonstration lab showcasing our latest innovations in ultra-precision measurement and manufacturing.
Veröffentlichungsdatum: 31. Oktober 2025