Granit ist ein natürlich vorkommendes Gestein, das seit Langem in Anlagen zur Waferverarbeitung eingesetzt wird. Es ist bekannt für seine hervorragenden Eigenschaften wie geringe Wärmeausdehnung, hohe Steifigkeit und gute Stabilität. Wie alle Materialien weist jedoch auch Granit Defekte auf, die die Qualität von Anlagen zur Waferverarbeitung beeinträchtigen können.
Einer der größten Nachteile von Granit ist seine Neigung zu Rissen und Brüchen. Dies liegt an Mikrorissen, die während der Gesteinsbildung entstehen können. Werden diese Mikrorisse nicht erkannt und fachgerecht behandelt, können sie sich ausbreiten und zum Ausfall der Anlage führen. Um dies zu verhindern, müssen Anlagenhersteller hochwertigen Granit verwenden, der behandelt und geprüft wurde, um sicherzustellen, dass er frei von Mikrorissen ist.
Ein weiterer Nachteil von Granit ist seine Korrosionsanfälligkeit. Geraten Granitgeräte in Kontakt mit korrosiven Umgebungen, kann es mit der Zeit zu Schäden am Material und Funktionsstörungen kommen. Um dies zu verhindern, müssen Hersteller sicherstellen, dass der in ihren Geräten verwendete Granit ordnungsgemäß behandelt und beschichtet ist, um Korrosion zu vermeiden.
Granit neigt aufgrund seiner thermischen Eigenschaften dazu, sich mit der Zeit zu verziehen. Dies liegt an seinem sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, wodurch er sich bei Temperaturänderungen kaum ausdehnt oder zusammenzieht. Dennoch kann selbst eine geringe Ausdehnung oder Zusammenziehung im Laufe der Zeit zu Verformungen der Anlage führen. Daher ist es wichtig, dass der Anlagenhersteller die thermischen Eigenschaften des Granits bei der Konstruktion seiner Anlagen berücksichtigt, um diesen Defekt zu vermeiden.
Schließlich kann die poröse Struktur von Granit zu Verunreinigungen führen. Ist der Granit nicht ordnungsgemäß versiegelt, kann er Schadstoffe aufnehmen, die die Qualität der Wafer beeinträchtigen. Dies kann kostspielige Ausfallzeiten und Produktionsausfälle zur Folge haben. Um dies zu verhindern, müssen Hersteller den Granit fachgerecht versiegeln, damit keine Schadstoffe aufgenommen werden können.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit ein hervorragendes Material für Waferbearbeitungsanlagen ist. Es ist jedoch wichtig, seine möglichen Defekte zu kennen und entsprechende Vorkehrungen zu treffen, um deren Auftreten zu verhindern. Bei sachgemäßer Pflege und Wartung können Granitanlagen viele Jahre lang zuverlässig funktionieren und der Halbleiterindustrie hochwertige Wafer liefern.
Veröffentlichungsdatum: 27. Dezember 2023