Granit ist ein natürlich vorkommender Gestein, der seit langem in Waferverarbeitungsgeräten verwendet wird. Es ist bekannt für seine hervorragenden Eigenschaften, eine niedrige thermische Expansion, hohe Starrheit und gute Stabilität zu haben. Wie bei allen Materialien verfügt Granit jedoch über seine eigenen Defekte, die die Qualität der Waferverarbeitungsgeräte beeinflussen können.
Einer der Hauptfehler des Granits ist seine Tendenz, zu knacken oder zu brechen. Dies ist auf das Vorhandensein von Mikrorissen zurückzuführen, die während der Bildung des Gesteins auftreten können. Wenn diese Mikroreter nicht ordnungsgemäß identifiziert und behandelt werden, können sie sich ausbreiten und zum Ausfall der Ausrüstung führen. Um dies zu verhindern, müssen Hersteller von Verarbeitungsgeräten hochwertige Granit verwenden, die behandelt und getestet wurden, um sicherzustellen, dass es frei von Mikrorissen ist.
Ein weiterer Granitfehler ist seine Anfälligkeit für Korrosion. Wenn Granitgeräte mit korrosiven Umgebungen in Kontakt kommen, kann sie sich im Laufe der Zeit verschlechtern. Dies kann dazu führen, dass die Geräte beschädigt werden oder nicht ordnungsgemäß funktionieren. Um dies zu verhindern, müssen die Hersteller sicherstellen, dass der in ihren Geräten verwendete Granit ordnungsgemäß behandelt und beschichtet ist, um zu verhindern, dass Korrosion auftritt.
Granit neigt auch aufgrund seiner inhärenten thermischen Eigenschaften im Laufe der Zeit zum Verziehen. Dies liegt daran, dass Granit einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, was bedeutet, dass es sich nicht viel ausdehnt oder sich nicht viel zusammenzieht, wenn sie Temperaturänderungen ausgesetzt sind. Selbst ein geringer Ausdehnung oder Kontraktion kann jedoch im Laufe der Zeit in der Ausrüstung in die Ausrüstung verzerrt werden. Es ist wichtig, dass der Ausrüstungshersteller die thermischen Eigenschaften des Granits bei der Gestaltung seiner Geräte berücksichtigt, um zu verhindern, dass dieser Defekt auftritt.
Schließlich kann Granites poröse Natur zu Problemen mit Kontamination führen. Wenn der Granit nicht ordnungsgemäß versiegelt ist, kann er Verunreinigungen absorbieren, die die Qualität des Wafers beeinflussen können. Dies kann zu kostspieligen Ausfallzeiten und der verlorenen Produktion führen. Um dies zu verhindern, müssen die Hersteller den Granit ordnungsgemäß versiegeln, um zu verhindern, dass Verunreinigungen absorbiert werden.
Zusammenfassend ist Granit ein ausgezeichnetes Material für die Verwendung in Waferverarbeitungsgeräten. Es ist jedoch wichtig, sich seiner Mängel bewusst zu sein und die erforderlichen Vorkehrungen zu treffen, um zu verhindern, dass sie auftreten. Mit ordnungsgemäßer Pflege und Wartung können Granitgeräte viele Jahre lang weiter funktionieren und qualitativ hochwertige Wafer für die Halbleiterindustrie bieten.
Postzeit: Dez.-27-2023