Granit ist ein natürlich vorkommendes Gestein, das seit langem in Waferverarbeitungsanlagen verwendet wird. Es ist bekannt für seine hervorragenden Eigenschaften wie geringe Wärmeausdehnung, hohe Steifigkeit und gute Stabilität. Wie alle Materialien weist Granit jedoch eine Reihe von Mängeln auf, die die Qualität von Waferverarbeitungsanlagen beeinträchtigen können.
Einer der Hauptmängel von Granit ist seine Neigung zum Reißen und Brechen. Dies ist auf Mikrorisse zurückzuführen, die bei der Entstehung des Gesteins entstehen können. Werden diese Mikrorisse nicht erkannt und nicht richtig behandelt, können sie sich ausbreiten und zum Ausfall der Anlage führen. Um dies zu verhindern, müssen Hersteller von Verarbeitungsanlagen hochwertigen Granit verwenden, der behandelt und geprüft wurde, um sicherzustellen, dass er frei von Mikrorissen ist.
Ein weiterer Nachteil von Granit ist seine Korrosionsanfälligkeit. Kommen Granitgeräte mit korrosiven Umgebungen in Kontakt, können sie mit der Zeit angegriffen werden. Dies kann zu Schäden oder Funktionsstörungen führen. Um dies zu verhindern, müssen Hersteller sicherstellen, dass der in ihren Geräten verwendete Granit ordnungsgemäß behandelt und beschichtet ist, um Korrosion zu verhindern.
Granit neigt aufgrund seiner thermischen Eigenschaften mit der Zeit auch dazu, sich zu verziehen. Dies liegt daran, dass Granit einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten hat und sich daher bei Temperaturschwankungen kaum ausdehnt oder zusammenzieht. Dennoch kann selbst eine geringe Ausdehnung oder Kontraktion mit der Zeit zu Verformungen im Gerät führen. Um diesen Defekt zu vermeiden, ist es wichtig, dass der Gerätehersteller die thermischen Eigenschaften des Granits bei der Konstruktion seiner Geräte berücksichtigt.
Schließlich kann die Porosität von Granit zu Verunreinigungen führen. Ist der Granit nicht ordnungsgemäß versiegelt, kann er Verunreinigungen aufnehmen, die die Qualität des Wafers beeinträchtigen können. Dies kann zu kostspieligen Ausfallzeiten und Produktionsausfällen führen. Um dies zu verhindern, müssen Hersteller den Granit ordnungsgemäß versiegeln, um die Aufnahme von Verunreinigungen zu verhindern.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit ein hervorragendes Material für den Einsatz in Waferverarbeitungsanlagen ist. Es ist jedoch wichtig, sich seiner Mängel bewusst zu sein und die notwendigen Vorkehrungen zu treffen, um deren Auftreten zu verhindern. Bei richtiger Pflege und Wartung können Granitanlagen viele Jahre lang funktionsfähig bleiben und hochwertige Wafer für die Halbleiterindustrie liefern.
Veröffentlichungszeit: 27. Dezember 2023