Granit ist ein natürlich vorkommendes Gestein, das seit langem in Geräten zur Waferverarbeitung verwendet wird.Es ist bekannt für seine hervorragenden Eigenschaften wie geringe Wärmeausdehnung, hohe Steifigkeit und gute Stabilität.Allerdings weist Granit wie alle Materialien seine eigenen Mängel auf, die die Qualität der Wafer-Verarbeitungsausrüstung beeinträchtigen können.
Einer der Hauptfehler von Granit ist seine Neigung zur Rissbildung oder zum Brechen.Dies ist auf das Vorhandensein von Mikrorissen zurückzuführen, die während der Gesteinsbildung auftreten können.Wenn diese Mikrorisse nicht erkannt und ordnungsgemäß behandelt werden, können sie sich ausbreiten und zum Ausfall der Ausrüstung führen.Um dies zu verhindern, müssen Hersteller von Verarbeitungsgeräten hochwertigen Granit verwenden, der behandelt und getestet wurde, um sicherzustellen, dass er frei von Mikrorissen ist.
Ein weiterer Nachteil von Granit ist seine Korrosionsanfälligkeit.Wenn Granitgeräte mit korrosiven Umgebungen in Kontakt kommen, kann es mit der Zeit zu einer Zersetzung kommen.Dies kann dazu führen, dass das Gerät beschädigt wird oder nicht mehr ordnungsgemäß funktioniert.Um dies zu verhindern, müssen Hersteller sicherstellen, dass der in ihren Geräten verwendete Granit ordnungsgemäß behandelt und beschichtet wird, um das Auftreten von Korrosion zu verhindern.
Granit neigt aufgrund seiner inhärenten thermischen Eigenschaften auch dazu, sich im Laufe der Zeit zu verziehen.Dies liegt daran, dass Granit einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten hat, was bedeutet, dass er sich bei Temperaturänderungen kaum ausdehnt oder zusammenzieht.Allerdings kann selbst eine geringfügige Ausdehnung oder Kontraktion mit der Zeit zu einer Verformung der Ausrüstung führen.Es ist wichtig, dass der Gerätehersteller bei der Konstruktion seiner Geräte die thermischen Eigenschaften des Granits berücksichtigt, um das Auftreten dieses Defekts zu verhindern.
Schließlich kann die poröse Beschaffenheit von Granit zu Kontaminationsproblemen führen.Wenn der Granit nicht ordnungsgemäß versiegelt ist, kann er Verunreinigungen aufnehmen, die die Qualität des Wafers beeinträchtigen können.Dies kann zu kostspieligen Ausfallzeiten und Produktionsausfällen führen.Um dies zu verhindern, müssen Hersteller den Granit ordnungsgemäß versiegeln, um zu verhindern, dass Verunreinigungen absorbiert werden.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit ein hervorragendes Material für den Einsatz in Wafer-Verarbeitungsanlagen ist.Es ist jedoch wichtig, sich der Mängel bewusst zu sein und die notwendigen Vorkehrungen zu treffen, um deren Auftreten zu verhindern.Bei richtiger Pflege und Wartung können Granitanlagen viele Jahre lang funktionieren und qualitativ hochwertige Wafer für die Halbleiterindustrie liefern.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 27. Dezember 2023