In hochmodernen Bereichen wie der Halbleiterfertigung und der Quantenpräzisionsmessung, die höchst empfindlich auf elektromagnetische Umgebungen reagieren, können selbst kleinste elektromagnetische Störungen in Geräten zu Präzisionsabweichungen führen und so die Qualität des Endprodukts und die Versuchsergebnisse beeinträchtigen. Als Schlüsselkomponente von Präzisionsgeräten sind die magnetischen Suszeptibilitätseigenschaften von Präzisionsplattformen aus Granit zu einem wichtigen Faktor für den stabilen Betrieb der Geräte geworden. Eine gründliche Untersuchung der magnetischen Suszeptibilitätsleistung von Präzisionsplattformen aus Granit trägt zum Verständnis ihres unersetzlichen Werts in der High-End-Fertigung und in wissenschaftlichen Forschungsszenarien bei. Granit besteht hauptsächlich aus Mineralien wie Quarz, Feldspat und Glimmer. Die elektronische Struktur dieser Mineralkristalle bestimmt die magnetische Suszeptibilitätseigenschaften von Granit. Aus mikroskopischer Sicht kommen Elektronen in Mineralien wie Quarz (SiO_2) und Feldspat (z. B. Kalifeldspat (KAlSi_3O_8)) meist paarweise in kovalenten oder ionischen Bindungen vor. Gemäß dem Pauli-Prinzip in der Quantenmechanik sind die Spinrichtungen gepaarter Elektronen entgegengesetzt und ihre magnetischen Momente heben sich gegenseitig auf, wodurch die Gesamtreaktion des Minerals auf das externe Magnetfeld extrem schwach wird. Granit ist daher ein typisches diamagnetisches Material mit einer extrem niedrigen magnetischen Suszeptibilität, die normalerweise in der Größenordnung von \(-10^{-5}\) liegt und nahezu vernachlässigt werden kann. Verglichen mit metallischen Materialien ist der Vorteil von Granit hinsichtlich der magnetischen Suszeptibilität sehr signifikant. Die meisten metallischen Materialien wie Stahl sind ferromagnetische oder paramagnetische Substanzen mit einer großen Zahl ungepaarter Elektronen. Die magnetischen Spinmomente dieser Elektronen können sich unter der Einwirkung eines externen Magnetfelds schnell ausrichten und ausrichten, was zu einer magnetischen Suszeptibilität der metallischen Materialien von bis zu \(10^2-10^6\) führt. Bei elektromagnetischen Signalen von außen koppeln sich metallische Materialien stark an das Magnetfeld und erzeugen elektromagnetische Wirbelströme und Hystereseverluste, die wiederum den normalen Betrieb elektronischer Komponenten im Gerät stören. Präzisionsplattformen aus Granit interagieren aufgrund ihrer äußerst geringen magnetischen Suszeptibilität kaum mit externen Magnetfeldern. Dadurch wird die Entstehung elektromagnetischer Störungen wirksam vermieden und eine stabile Betriebsumgebung für Präzisionsgeräte geschaffen. In praktischen Anwendungen spielt die geringe magnetische Suszeptibilität von Präzisionsplattformen aus Granit eine Schlüsselrolle. In Quantencomputersystemen reagieren supraleitende Qubits äußerst empfindlich auf elektromagnetisches Rauschen. Schon eine Magnetfeldschwankung von 1 nT (Nanotel) kann zum Verlust der Kohärenz der Qubits und damit zu Rechenfehlern führen. Nachdem ein Forschungsteam die Versuchsplattform durch Granitmaterial ersetzt hatte, sank das magnetische Hintergrundrauschen um das Gerät erheblich von 5 nT auf unter 0,1 nT. Die Kohärenzzeit der Qubits konnte um das Dreifache verlängert und die Betriebsfehlerrate um 80 % gesenkt werden, wodurch die Stabilität und Genauigkeit des Quantencomputers deutlich verbessert wurde. Im Bereich der Halbleiterlithografiegeräte werden für die Extrem-Ultraviolett-Lichtquelle und die Präzisionssensoren während des Lithografieprozesses strenge Anforderungen an die elektromagnetische Umgebung gestellt. Nach der Einführung der Präzisionsplattform aus Granit widerstand die Ausrüstung wirksam externen elektromagnetischen Störungen, und die Positioniergenauigkeit wurde von ±10 nm auf ±3 nm verbessert, was eine solide Garantie für die stabile Produktion fortschrittlicher Prozesse von 7 nm und darunter bietet. Darüber hinaus gewährleisten Präzisionsplattformen aus Granit aufgrund ihrer geringen magnetischen Suszeptibilität auch in hochpräzisen Elektronenmikroskopen, Kernspintomographiegeräten und anderen Instrumenten, die empfindlich auf elektromagnetische Umgebungen reagieren, eine optimale Leistung der Ausrüstung. Die nahezu null magnetische Suszeptibilität von Präzisionsplattformen aus Granit macht sie zur idealen Wahl für Präzisionsausrüstung, die elektromagnetischen Störungen widerstehen muss. Mit dem technologischen Fortschritt hin zu höherer Präzision und komplexeren Systemen werden die Anforderungen an die elektromagnetische Verträglichkeit von Ausrüstung immer strenger. Präzisionsplattformen aus Granit werden mit diesem einzigartigen Vorteil auch weiterhin eine wichtige Rolle in der High-End-Fertigung und der Spitzenforschung spielen und der Branche helfen, technische Engpässe kontinuierlich zu überwinden und neue Höhen zu erreichen.
Veröffentlichungszeit: 14. Mai 2025