In zukunftsweisenden Bereichen wie der Halbleiterfertigung und der Quantenpräzisionsmessung, die hochsensibel auf elektromagnetische Umgebungen reagieren, können selbst geringste elektromagnetische Störungen in Geräten Präzisionsabweichungen verursachen und somit die Qualität des Endprodukts und die experimentellen Ergebnisse beeinträchtigen. Als Schlüsselkomponente von Präzisionsgeräten sind die magnetischen Suszeptibilitätseigenschaften von Granit-Präzisionsplattformen zu einem wichtigen Faktor für den stabilen Betrieb der Geräte geworden. Eine eingehende Untersuchung der magnetischen Suszeptibilität von Granit-Präzisionsplattformen trägt zum Verständnis ihres unersetzlichen Wertes in der High-End-Fertigung und der wissenschaftlichen Forschung bei. Granit besteht hauptsächlich aus Mineralien wie Quarz, Feldspat und Glimmer. Die elektronische Struktur dieser Mineralkristalle bestimmt die magnetischen Suszeptibilitätseigenschaften von Granit. Mikroskopisch betrachtet liegen Elektronen in Mineralien wie Quarz (SiO₂) und Feldspat (z. B. Kalifeldspat (KAlSi₃O₈)) meist paarweise in kovalenten oder ionischen Bindungen vor. Gemäß dem Pauli-Prinzip der Quantenmechanik sind die Spinrichtungen gepaarter Elektronen entgegengesetzt, und ihre magnetischen Momente heben sich gegenseitig auf. Dadurch ist die Gesamtreaktion des Minerals auf ein externes Magnetfeld extrem schwach. Granit ist daher ein typisches diamagnetisches Material mit einer extrem niedrigen magnetischen Suszeptibilität, üblicherweise in der Größenordnung von \(-10^{-5}\), die praktisch vernachlässigbar ist. Im Vergleich zu metallischen Werkstoffen ist der Vorteil der magnetischen Suszeptibilität von Granit sehr bedeutend. Die meisten metallischen Werkstoffe, wie beispielsweise Stahl, sind ferromagnetische oder paramagnetische Substanzen mit einer großen Anzahl ungepaarter Elektronen. Die Spinmomente dieser Elektronen können sich unter dem Einfluss eines externen Magnetfelds schnell ausrichten, was zu einer magnetischen Suszeptibilität metallischer Werkstoffe in der Größenordnung von \(10^2-10^6\) führt. Bei elektromagnetischen Signalen von außen koppeln metallische Werkstoffe stark mit dem Magnetfeld, wodurch elektromagnetische Wirbelströme und Hystereseverluste entstehen, die wiederum die normale Funktion elektronischer Bauteile in Geräten beeinträchtigen. Granit-Präzisionsplattformen mit ihrer extrem niedrigen magnetischen Suszeptibilität interagieren kaum mit externen Magnetfeldern. Dadurch wird die Entstehung elektromagnetischer Störungen effektiv vermieden und eine stabile Betriebsumgebung für Präzisionsgeräte geschaffen. In praktischen Anwendungen spielt die niedrige magnetische Suszeptibilität von Granit-Präzisionsplattformen eine Schlüsselrolle. In Quantencomputersystemen reagieren supraleitende Qubits äußerst empfindlich auf elektromagnetisches Rauschen. Selbst eine Magnetfeldfluktuation im Bereich von 1 nT (Nanotesla) kann zum Verlust der Kohärenz der Qubits und somit zu Rechenfehlern führen. Nachdem ein Forschungsteam die experimentelle Plattform durch Granit ersetzt hatte, sank das magnetische Hintergrundrauschen um die Geräte signifikant von 5 nT auf unter 0,1 nT. Die Kohärenzzeit der Qubits verlängerte sich um das Dreifache, und die Fehlerrate wurde um 80 % reduziert, wodurch die Stabilität und Genauigkeit des Quantencomputings deutlich verbessert wurde. Auch in der Halbleiterlithografie stellen die extrem ultraviolette Lichtquelle und die Präzisionssensoren während des Lithografieprozesses hohe Anforderungen an die elektromagnetische Umgebung. Nach der Einführung der Granit-Präzisionsplattform wurde die Anlage effektiv gegen externe elektromagnetische Störungen geschützt und die Positioniergenauigkeit von ±10 nm auf ±3 nm verbessert. Dies gewährleistet eine stabile Produktion fortschrittlicher Prozesse im Bereich von 7 nm und darunter. Darüber hinaus sorgen Granit-Präzisionsplattformen dank ihrer geringen magnetischen Suszeptibilität auch in hochpräzisen Elektronenmikroskopen, Kernspinresonanz-Geräten und anderen elektromagnetisch empfindlichen Instrumenten für optimale Leistung. Die nahezu nullwertige magnetische Suszeptibilität macht Granit-Präzisionsplattformen zur idealen Wahl für Präzisionsgeräte, die elektromagnetischen Störungen widerstehen müssen. Mit dem technologischen Fortschritt hin zu höherer Präzision und komplexeren Systemen steigen die Anforderungen an die elektromagnetische Verträglichkeit von Geräten stetig. Granit-Präzisionsplattformen mit diesem einzigartigen Vorteil werden auch weiterhin eine wichtige Rolle in der High-End-Fertigung und der Spitzenforschung spielen und der Industrie helfen, technische Herausforderungen zu meistern und neue Höchstleistungen zu erzielen.
Veröffentlichungsdatum: 14. Mai 2025
