Halbleiterfertigung
Lithografie: Die Lithografie ist ein Schlüsselprozess in der Halbleiterfertigung, der die präzise Übertragung komplexer Schaltungsmuster auf Wafer erfordert. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsisolierung auf Granitbasis bietet stabilen Halt und präzise Positionierung für die Lithografieausrüstung. Sie gewährleistet eine Positionsgenauigkeit des Wafertisches im Belichtungsprozess im Nanometerbereich, reduziert effektiv Musterabweichungen durch Vibration und thermische Verformung und verbessert die Fertigungsgenauigkeit und -ausbeute des Chips.
Waferinspektion: Nach Abschluss der Waferherstellung muss dieser mit hoher Präzision auf kleine Defekte und Mängel geprüft werden. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsisolierung kann Detektionsgeräte wie Elektronenstrahlmikroskope, Rasterkraftmikroskope usw. tragen, um während des Detektionsprozesses eine stabile Bewegung und genaue Positionierung aufrechtzuerhalten, sodass die Detektionsgeräte die Waferoberfläche präzise scannen und die Detektionsauflösung und -genauigkeit verbessern können.
Herstellung optischer Instrumente
Schleifen und Polieren von Linsen: Im Herstellungsprozess optischer Linsen ist es notwendig, die Linsen mit hoher Präzision zu schleifen und zu polieren, um gute optische Eigenschaften zu erzielen. Die präzise, aktive Schwingungsisolations-Bewegungsplattform von XYT ermöglicht die präzise Steuerung der Bewegungsbahn von Schleif- und Polierwerkzeugen. Die Granitbasis isoliert externe Vibrationen und reduziert deren Auswirkungen auf die Bearbeitungsgenauigkeit, um sicherzustellen, dass die Ebenheit und das Finish der Linsenoberfläche den Designanforderungen entsprechen.
Montage optischer Systeme: Bei der Montage optischer Systeme müssen verschiedene optische Komponenten präzise an einer bestimmten Position installiert werden, um eine präzise Lichtausbreitung und Bildqualität zu gewährleisten. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsisolierung und Granitbasis bietet eine stabile Plattform für die Installation und Justierung optischer Komponenten und ermöglicht durch präzise Bewegungssteuerung eine hochpräzise Ausrichtung und Montage optischer Komponenten.
Luft- und Raumfahrt
Test von Trägheitsnavigationssystemen: Trägheitsnavigationssysteme sind wichtige Navigationsgeräte in der Luft- und Raumfahrt. Ihre Genauigkeit wirkt sich direkt auf die Navigationsgenauigkeit und Flugsicherheit von Flugzeugen aus. Beim Testen von Trägheitsnavigationssystemen ist die Verwendung eines hochpräzisen Drehtisches erforderlich, um verschiedene Bewegungszustände des Flugzeugs zu simulieren. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsisolierung kann als Trägerplattform für den Drehtisch verwendet werden. Durch präzise Bewegungssteuerung und gute Schwingungsisolierung bietet sie eine stabile und präzise Bewegungsumgebung für den Test von Trägheitsnavigationssystemen und verbessert die Testgenauigkeit und -zuverlässigkeit.
Bearbeitung von Triebwerksschaufeln: Die Bearbeitungsgenauigkeit von Triebwerksschaufeln hat einen wichtigen Einfluss auf die Leistung und Effizienz des Triebwerks. Die präzise, aktive Schwingungsisolations-Bewegungsplattform von XYT kann im Bearbeitungsprozess der Schaufel, beispielsweise in einem Fünf-Achsen-Gestänge-Bearbeitungszentrum, eingesetzt werden. Durch die präzise Steuerung des Werkzeugbewegungspfads und die Aufrechterhaltung einer stabilen Verarbeitungsumgebung wird eine hochpräzise Bearbeitung der Schaufel erreicht, um sicherzustellen, dass die Genauigkeit des Schaufelprofils und die Oberflächenqualität den Konstruktionsanforderungen entsprechen.
Wissenschaftliche Forschungstests
Nanowissenschaftliche Forschung: In der nanowissenschaftlichen Forschung ist die Bedienung und Beobachtung von Objekten im Nanomaßstab erforderlich, beispielsweise bei der Herstellung von Nanomaterialien und der Montage von Nanogeräten. Die Granitbasis der XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsisolierung ermöglicht eine Positionierungsgenauigkeit im Submikrometer- oder sogar Nanometerbereich. Sie bietet eine stabile und präzise experimentelle Plattform für die nanowissenschaftliche Forschung und hilft Wissenschaftlern, die Geheimnisse der Nanowelt besser zu erforschen.
Biomedizinische Bildgebung: Im biomedizinischen Bereich, beispielsweise in der Fluoreszenzmikroskopie, der Konfokalmikroskopie und anderen bildgebenden Verfahren, sind zur Erzielung hochauflösender biologischer Bilder eine präzise Positionierung und stabile Abbildung der Probe erforderlich. Die präzise, aktive Schwingungsisolations-Bewegungsplattform von XYT kann biologische Proben transportieren, Vibrationen und Drift der Proben durch präzise Bewegungssteuerung und gute Schwingungsisolationsleistung reduzieren, die Qualität und Genauigkeit der Bildgebung verbessern und biomedizinischen Forschern die Durchführung eingehender Untersuchungen an Zellen, Gewebe und anderen mikroskopischen Strukturen ermöglichen.
Veröffentlichungszeit: 11. April 2025