Was sind die gängigen Anwendungsszenarien der XYT Präzisions-Aktivschwingungsisolations-Bewegungsplattform mit Granitsockel?

Halbleiterfertigung
Lithografie: Die Lithografie ist ein Schlüsselprozess in der Halbleiterfertigung, der die präzise Übertragung komplexer Schaltungsmuster auf Wafer erfordert. Die XYT-Präzisions-Aktivschwingungsisolations-Bewegungsplattform auf Granitbasis bietet stabile Unterstützung und genaue Positionierung für die Lithografieanlage. Dadurch wird sichergestellt, dass die Positionsgenauigkeit des Wafertisches im Belichtungsprozess im Nanometerbereich liegt. Vibrations- und thermische Verformungsbedingte Musterabweichungen werden effektiv reduziert, was die Fertigungsgenauigkeit und Chipausbeute verbessert.

Waferinspektion: Nach der Waferherstellung ist eine hochpräzise Inspektion erforderlich, um kleinste Defekte und Unregelmäßigkeiten zu erkennen. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsisolierung ermöglicht den Transport von Detektionsgeräten wie Elektronenstrahlmikroskopen und Rasterkraftmikroskopen. Sie gewährleistet eine stabile Bewegung und präzise Positionierung während des Detektionsprozesses, sodass die Geräte die Waferoberfläche genau abtasten und die Detektionsauflösung und -genauigkeit verbessern können.
Herstellung optischer Instrumente
Linsenschleifen und -polieren: Im Herstellungsprozess optischer Linsen ist ein hochpräzises Schleifen und Polieren unerlässlich, um optimale optische Eigenschaften zu erzielen. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsdämpfung ermöglicht die exakte Steuerung der Bewegungsbahn der Schleif- und Polierwerkzeuge. Gleichzeitig isoliert der Granitsockel externe Vibrationen und reduziert deren Auswirkungen auf die Bearbeitungsgenauigkeit. So wird sichergestellt, dass die Oberflächenebenheit und die Oberflächengüte der Linse den Designanforderungen entsprechen.
Montage des optischen Systems: Bei der Montage des optischen Systems müssen verschiedene optische Komponenten präzise positioniert werden, um eine korrekte Lichtausbreitung und Bildqualität zu gewährleisten. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsdämpfung und Granitsockel bietet eine stabile Plattform für die Installation und Justierung der optischen Komponenten und ermöglicht durch präzise Bewegungssteuerung deren hochpräzise Ausrichtung und Montage.
Luft- und Raumfahrt

Test von Trägheitsnavigationssystemen: Trägheitsnavigationssysteme sind wichtige Navigationsgeräte in der Luft- und Raumfahrt. Ihre Genauigkeit beeinflusst direkt die Navigationsgenauigkeit und Flugsicherheit von Flugzeugen. Für die Prüfung von Trägheitsnavigationssystemen ist ein hochpräziser Drehtisch erforderlich, um verschiedene Bewegungszustände des Flugzeugs zu simulieren. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsdämpfung dient als Trägerplattform für den Drehtisch. Durch präzise Bewegungssteuerung und gute Schwingungsdämpfung bietet sie eine stabile und genaue Bewegungsumgebung für die Trägheitsnavigationssystemprüfung und verbessert so die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Tests.
Bearbeitung von Triebwerkschaufeln: Die Bearbeitungsgenauigkeit von Triebwerkschaufeln hat einen wesentlichen Einfluss auf Leistung und Effizienz des Triebwerks. Die Präzisions-Bewegungsplattform von XYT mit aktiver Schwingungsisolierung kann für die Schaufelbearbeitung, beispielsweise in einem 5-Achs-Bearbeitungszentrum, eingesetzt werden. Durch die präzise Steuerung des Werkzeugwegs und die Aufrechterhaltung einer stabilen Bearbeitungsumgebung wird eine hochpräzise Bearbeitung der Schaufel erreicht, wodurch sichergestellt wird, dass Profilgenauigkeit und Oberflächenqualität den Konstruktionsanforderungen entsprechen.
Wissenschaftliche Forschungstests
Nanowissenschaftliche Forschung: In der nanowissenschaftlichen Forschung ist es notwendig, Objekte im Nanobereich zu handhaben und zu beobachten, beispielsweise bei der Herstellung von Nanomaterialien und der Montage von Nanobauteilen. Die Granitbasis der XYT-Präzisions-Aktivschwingungsisolations-Bewegungsplattform ermöglicht eine Positioniergenauigkeit im Submikrometer- oder sogar Nanometerbereich, bietet eine stabile und präzise experimentelle Plattform für die nanowissenschaftliche Forschung und unterstützt Wissenschaftler dabei, die Geheimnisse der Nanowelt besser zu erforschen.
Biomedizinische Bildgebung: In der Biomedizin, beispielsweise bei Fluoreszenzmikroskopie, Konfokalmikroskopie und anderen bildgebenden Verfahren, sind für hochauflösende biologische Bilder eine präzise Positionierung und stabile Abbildung der Probe erforderlich. Die XYT-Präzisions-Bewegungsplattform mit aktiver Vibrationsisolierung transportiert biologische Proben, reduziert deren Vibrationen und Drift durch genaue Bewegungssteuerung und hohe Vibrationsdämpfung, verbessert die Bildqualität und -genauigkeit und unterstützt biomedizinische Forscher bei der detaillierten Untersuchung von Zellen, Gewebe und anderen mikroskopischen Strukturen.