Granit ist ein gängiges Material, das aufgrund seiner Langlebigkeit, Festigkeit und Verschleißfestigkeit in verschiedenen Branchen eingesetzt wird. Granit findet unter anderem Anwendung in der Halbleiterherstellung, wo er als Substrat für die Produktion von Mikrochips, integrierten Schaltkreisen und anderen elektronischen Bauteilen dient.
Ein wesentlicher Bestandteil der Halbleiterherstellung ist die Fotolithografie. Dabei werden mithilfe von Licht Muster auf Siliziumwafer übertragen. Granitplatten dienen dabei als Unterlage für die dünne Schicht, die zur Musterübertragung dient. Granit wird in der Fotolithografie aufgrund seiner natürlichen Ebenheit bevorzugt, die eine glatte und gleichmäßige Dünnschicht gewährleistet. Ein glattes und gleichmäßiges Auftragen der Dünnschicht ist entscheidend für die Genauigkeit und Präzision der auf dem Wafer erzeugten Muster.
Granit wird auch bei der Herstellung von Reinraum-Werkbänken und -Geräten verwendet. Bei der Herstellung von Halbleitern ist Sauberkeit von größter Bedeutung, da selbst kleinste Partikel oder Staub die Komponenten beschädigen können. Daher müssen die in Reinräumen verwendeten Materialien fusselfrei, nicht reaktiv und leicht zu reinigen sein. Granit erfüllt diese Anforderungen und ist somit ein ideales Material für die Herstellung von Werkbänken und anderen Geräten im Reinraum.
Ein weiteres Anwendungsgebiet von Granit in der Halbleiterfertigung ist der Bau von Vakuumsystemen. Das Vakuumsystem ist im Herstellungsprozess unerlässlich, da es eine Niederdruckumgebung erzeugt, die die hohe Qualität der produzierten Halbleiterbauelemente gewährleistet. Die hohe Festigkeit und der niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient von Granit machen ihn zu einem zuverlässigen Material für den Bau von Vakuumkammern.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass Granit aufgrund seiner außergewöhnlichen Eigenschaften wie Haltbarkeit, Festigkeit und thermischer Stabilität ein wertvolles Material in der Halbleiterfertigung ist. Seine Ebenheit und natürliche Reinheit machen Granit zu einem geeigneten Werkstoff für die Fotolithografie, Reinraumwerkbänke und Vakuumsysteme. Der Einsatz von Granit in der Halbleiterindustrie zeugt von seiner Vielseitigkeit und Anpassungsfähigkeit an verschiedene Anwendungen und beweist, dass er nicht nur ein dekoratives Material, sondern auch ein unverzichtbarer Bestandteil verschiedener industrieller Prozesse ist.
Veröffentlichungszeit: 05.12.2023