Ein Präzisionsgranit ist ein Werkzeug, das in der Halbleiter- und Solarindustrie eingesetzt wird, um höchste Genauigkeit, Stabilität und Präzision bei Messungen und Prozessen mit empfindlichen Materialien und Bauteilen zu gewährleisten. Er wird aus hochwertigem Granit gefertigt, der für seine außergewöhnliche Steifigkeit, Beständigkeit gegenüber thermischer und mechanischer Belastung sowie seinen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten bekannt ist.
In der Halbleiterindustrie werden Präzisionsgranite für die Herstellung und Prüfung von Mikrochips, integrierten Schaltungen und Nanotechnologie-Bauelementen eingesetzt. Sie bieten eine stabile und ebene Oberfläche für Wafer-Mapping- und Lithographieprozesse, bei denen mehrere Dünnschichten und Strukturen auf Siliziumwafern abgeschieden und geätzt werden.
Präzisionsgranite spielen auch eine entscheidende Rolle bei der Messtechnik und Inspektion von Halbleiterbauteilen und -anlagen. Sie dienen als Referenzstandard für die Kalibrierung von Koordinatenmessgeräten (KMG), optischen Profilometern und anderen Präzisionsinstrumenten, die zur Dimensionsanalyse und Fehlererkennung eingesetzt werden.
In der Solarindustrie werden Präzisionsgranite zur Herstellung von Photovoltaikzellen und -modulen eingesetzt, die Sonnenlicht in elektrische Energie umwandeln. Sie dienen als Basis für verschiedene Fertigungsschritte wie Reinigung, Texturierung, Dotierung und Elektrodenabscheidung.
Präzisionsgranite sind besonders nützlich bei der Herstellung großflächiger und Dünnschicht-Solarzellen, da hier eine hohe Ebenheit und Gleichmäßigkeit des Substrats für optimale Effizienz und Leistung unerlässlich sind. Sie tragen außerdem zur präzisen Ausrichtung und zum exakten Abstand der PV-Zellen im Modul bei.
Insgesamt sind Präzisionsgranite ein entscheidendes Werkzeug zur Steigerung der Qualität und Zuverlässigkeit von Halbleiter- und Solarprodukten. Sie ermöglichen es Herstellern, höhere Ausbeuten, kürzere Zykluszeiten und geringere Kosten zu erzielen und gleichzeitig die strengen Anforderungen der anspruchsvollen Anwendungen und Normen der Branche zu erfüllen.
Veröffentlichungsdatum: 11. Januar 2024