Granit ist aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften wie hoher Steifigkeit, geringer Wärmeausdehnung und hervorragender Vibrationsdämpfungseigenschaften ein hervorragendes Material für Maschinenbasen, insbesondere für Wafer-Verarbeitungsanlagen.Während Metall traditionell als Material für Maschinensockel verwendet wurde, hat sich Granit aus folgenden Gründen als überlegene Alternative herausgestellt:
Hohe Steifigkeit: Eine Maschinenbasis muss steif und stabil sein, um Vibrationen zu minimieren und die Genauigkeit während der Waferverarbeitung aufrechtzuerhalten.Granit verfügt über ein hohes Steifigkeits-Gewichts-Verhältnis, was ihn äußerst steif und stabil macht, wodurch Vibrationen reduziert und eine hervorragende Bearbeitungsgenauigkeit gewährleistet werden.
Geringe Wärmeausdehnung: Temperaturänderungen können dazu führen, dass sich Metall ausdehnt oder zusammenzieht, was zu Dimensionsänderungen im Maschinengestell und zu Ungenauigkeiten bei der Verarbeitung führt.Granit hingegen hat einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, was bedeutet, dass er sich bei Temperaturänderungen nicht stark ausdehnt oder zusammenzieht, was Stabilität und Genauigkeit bei der Verarbeitung gewährleistet.
Hervorragende Vibrationsdämpfung: Vibrationen sind ein häufiges Problem bei Werkzeugmaschinen und können zu Maßfehlern, Problemen mit der Oberflächengüte und sogar zu vorzeitigem Verschleiß der Maschinenkomponenten führen.Granit ist für seine hervorragenden vibrationsdämpfenden Eigenschaften bekannt, das heißt, er kann Vibrationen absorbieren und dämpfen und sorgt so für eine reibungslose und präzise Verarbeitung.
Chemische Beständigkeit: Bei der Waferverarbeitung werden verschiedene Chemikalien verwendet, und der Kontakt mit diesen Chemikalien kann im Laufe der Zeit zu Korrosion und einer Verschlechterung der Maschinenbasis führen.Granit ist äußerst beständig gegen chemische Korrosion und ist daher eine sichere und langlebige Materialwahl für Maschinenbasen in Wafer-Verarbeitungsanlagen.
Geringer Wartungsaufwand: Granit erfordert nur minimale Wartung, ist leicht zu reinigen und korrodiert oder rostet nicht wie Metall.Dies führt zu geringeren Wartungskosten und weniger Ausfallzeiten der Geräte.
Insgesamt bietet die Wahl von Granit gegenüber Metall als Maschinenbasis für Wafer-Verarbeitungsanlagen mehrere Vorteile, darunter hohe Steifigkeit, geringe Wärmeausdehnung, hervorragende Vibrationsdämpfung, hervorragende chemische Beständigkeit und geringer Wartungsaufwand.Diese Vorteile stellen sicher, dass die Maschinenbasis stabil, präzise und langlebig bleibt, was zu einer qualitativ hochwertigen Waferverarbeitung und einer höheren Produktivität führt.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 28. Dezember 2023