Granit eignet sich aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften wie hoher Steifigkeit, geringer Wärmeausdehnung und hervorragender Schwingungsdämpfung hervorragend für Maschinensockel, insbesondere für Waferverarbeitungsanlagen. Während traditionell Metall als Werkstoff für Maschinensockel verwendet wurde, hat sich Granit aus folgenden Gründen als überlegene Alternative herausgestellt:
Hohe Steifigkeit: Ein Maschinensockel muss starr und stabil sein, um Vibrationen zu minimieren und die Genauigkeit bei der Waferbearbeitung zu gewährleisten. Granit verfügt über ein hohes Steifigkeits-Gewichts-Verhältnis, wodurch er extrem steif und stabil ist, Vibrationen reduziert und eine hervorragende Bearbeitungsgenauigkeit gewährleistet.
Geringe Wärmeausdehnung: Temperaturschwankungen können dazu führen, dass sich Metall ausdehnt oder zusammenzieht. Dies führt zu Maßänderungen im Maschinensockel und damit zu Ungenauigkeiten bei der Bearbeitung. Granit hingegen hat einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Das bedeutet, dass es sich bei Temperaturschwankungen kaum ausdehnt oder zusammenzieht. Dies gewährleistet Stabilität und Präzision bei der Bearbeitung.
Hervorragende Schwingungsdämpfung: Vibrationen sind ein häufiges Problem bei Werkzeugmaschinen und können zu Maßfehlern, Oberflächenfehlern und sogar vorzeitigem Verschleiß der Maschinenkomponenten führen. Granit ist für seine hervorragenden Schwingungsdämpfungseigenschaften bekannt. Das bedeutet, dass er Vibrationen absorbieren und dämpfen kann und so eine reibungslose und präzise Bearbeitung gewährleistet.
Chemische Beständigkeit: Bei der Waferverarbeitung kommen verschiedene Chemikalien zum Einsatz. Der Kontakt mit diesen Chemikalien kann mit der Zeit zu Korrosion und Verschleiß des Maschinenbetts führen. Granit ist äußerst beständig gegen chemische Korrosion und daher ein sicheres und langlebiges Material für Maschinenbetten in Waferverarbeitungsanlagen.
Geringer Wartungsaufwand: Granit erfordert nur minimalen Wartungsaufwand, ist leicht zu reinigen und korrodiert oder rostet nicht wie Metall. Dies führt zu geringeren Wartungskosten und weniger Ausfallzeiten der Geräte.
Insgesamt bietet die Wahl von Granit gegenüber Metall als Maschinenbasis für Waferverarbeitungsanlagen mehrere Vorteile, darunter hohe Steifigkeit, geringe Wärmeausdehnung, hervorragende Schwingungsdämpfung, ausgezeichnete chemische Beständigkeit und geringer Wartungsaufwand. Diese Vorteile gewährleisten die Stabilität, Präzision und Langlebigkeit der Maschinenbasis, was zu einer hochwertigen Waferverarbeitung und gesteigerter Produktivität führt.
Veröffentlichungszeit: 28. Dezember 2023