Granit ist aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften wie hoher Steifigkeit, geringer Wärmeausdehnung und hervorragender Schwingungsdämpfung ein ausgezeichnetes Material für Maschinenfundamente, insbesondere für Waferbearbeitungsanlagen. Während traditionell Metall als Material für Maschinenfundamente verwendet wurde, hat sich Granit aus folgenden Gründen als überlegene Alternative etabliert:
Hohe Steifigkeit: Ein Maschinengestell muss steif und stabil sein, um Vibrationen zu minimieren und die Genauigkeit bei der Waferbearbeitung zu gewährleisten. Granit besitzt ein hohes Steifigkeits-Gewichts-Verhältnis, wodurch er extrem steif und stabil ist und somit Vibrationen reduziert und eine hervorragende Bearbeitungsgenauigkeit sichergestellt wird.
Geringe Wärmeausdehnung: Temperaturänderungen können bei Metallen zu Ausdehnung oder Zusammenziehen führen, was Maßänderungen am Maschinengestell und somit Ungenauigkeiten bei der Bearbeitung zur Folge hat. Granit hingegen besitzt einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Das bedeutet, dass er sich bei Temperaturänderungen kaum ausdehnt oder zusammenzieht, wodurch Stabilität und Präzision bei der Bearbeitung gewährleistet werden.
Hervorragende Schwingungsdämpfung: Vibrationen sind ein häufiges Problem bei Werkzeugmaschinen und können zu Maßabweichungen, Oberflächenproblemen und sogar vorzeitigem Verschleiß der Maschinenkomponenten führen. Granit ist für seine exzellenten Schwingungsdämpfungseigenschaften bekannt. Das bedeutet, dass er Vibrationen absorbieren und dämpfen kann und so eine reibungslose und präzise Bearbeitung gewährleistet.
Chemische Beständigkeit: Bei der Waferbearbeitung kommen verschiedene Chemikalien zum Einsatz, die mit der Zeit Korrosion und Materialermüdung der Maschinenbasis verursachen können. Granit ist äußerst beständig gegen chemische Korrosion und daher ein sicheres und langlebiges Material für Maschinenbasen in Waferbearbeitungsanlagen.
Geringer Wartungsaufwand: Granit benötigt nur minimale Pflege, ist leicht zu reinigen und korrodiert oder rostet nicht wie Metall. Dies führt zu geringeren Wartungskosten und weniger Ausfallzeiten der Geräte.
Die Wahl von Granit gegenüber Metall für das Maschinenfundament von Waferbearbeitungsanlagen bietet insgesamt mehrere Vorteile, darunter hohe Steifigkeit, geringe Wärmeausdehnung, hervorragende Schwingungsdämpfung, ausgezeichnete chemische Beständigkeit und geringer Wartungsaufwand. Diese Vorteile gewährleisten ein stabiles, präzises und langlebiges Maschinenfundament, was zu einer qualitativ hochwertigen Waferbearbeitung und gesteigerter Produktivität führt.
Veröffentlichungsdatum: 28. Dezember 2023