Die XYT-Präzisions-Aktivschwingungsisolations-Bewegungsplattform hat sich zur Kernausrüstung für hochpräzise Bewegungssteuerung in der Präzisionsfertigung, Forschung und Entwicklung entwickelt. Die Verwendung eines Granitsockels bietet dabei zahlreiche entscheidende Vorteile zur Leistungssteigerung der Plattform.
Hervorragende Stabilität, Isolation gegenüber externen Störungen
Der Granitsockel wurde über Millionen von Jahren geologischer Prozesse gehärtet. Die inneren Mineralien sind eng miteinander verwoben, wodurch eine dichte und gleichmäßige Struktur entsteht. Angesichts komplexer externer Vibrationsquellen, wie dem Betrieb großer Anlagen in der Fabrikhalle und den starken Vibrationen des umliegenden Verkehrs, wirkt er wie eine massive Festung. Dank seiner komplexen Kristallstruktur kann der Granitsockel Vibrationen effektiv blockieren und dämpfen. Dadurch wird die auf die XYT-Präzisions-Aktivvibrationsplattform übertragene Vibrationsamplitude um mehr als 80 % reduziert. Am Beispiel der Halbleiterfertigung lässt sich dies verdeutlichen: Der Fotolithografieprozess erfordert eine sehr hohe Stabilität der Plattform, da selbst geringe Vibrationen zu Abweichungen im Chipmuster führen können. In diesem Szenario gewährleistet die auf dem Granitsockel ruhende XYT-Plattform den präzisen Betrieb der Lithografieanlage, bietet eine stabile Grundlage für die Chipfertigung und trägt zur Steigerung der Chipausbeute bei.
Die hervorragende thermische Stabilität gewährleistet eine gleichbleibende Genauigkeit.
Temperaturschwankungen stellen ein erhebliches Problem für die Genauigkeit von Präzisionsgeräten dar. Dank des sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten der Granitbasis lässt sich dieses Problem jedoch problemlos lösen. Dieser liegt üblicherweise bei 5–7 × 10⁻⁶/℃, sodass sich die Abmessungen bei Temperaturänderungen kaum verändern. In der Astronomie ermöglicht die XYT-Präzisions-Aktivschwingungsisolations-Bewegungsplattform mit Granitbasis für die Feinjustierung von Teleskoplinsen selbst bei signifikanten Temperaturunterschieden zwischen Tag und Nacht die Aufrechterhaltung der Positioniergenauigkeit der Linse im Submikrometerbereich. Dies unterstützt Astronomen dabei, die subtilen Dynamiken ferner Himmelskörper zu erfassen.
Hohe Härte und Verschleißfestigkeit gewährleisten eine lange Lebensdauer.
Die XYT-Präzisions-Aktivschwingungsisolations-Bewegungsplattform weist im Langzeitbetrieb eine gewisse Reibung mit dem Sockel auf. Der Granitsockel zeichnet sich durch eine hohe Härte (Mohs-Härte 6–7) und exzellente Verschleißfestigkeit aus. Im materialwissenschaftlichen Labor wird die XYT-Plattform häufig eingesetzt. Ihr Granitsockel reduziert effektiv den langfristigen Reibungsverlust und verlängert im Vergleich zu herkömmlichen Sockeln den Wartungszyklus der Plattform um mehr als 50 %. Dies senkt die Wartungskosten und gewährleistet die Kontinuität der wissenschaftlichen Forschung.
Die XYT Precision-Bewegungsplattform mit aktiver Schwingungsisolierung und Granitsockel zeichnet sich durch hervorragende Stabilität, thermische Stabilität und Langlebigkeit aus und hebt sich dadurch von vielen anderen Präzisionsgeräten ab.
Veröffentlichungsdatum: 11. April 2025