Material - Keramik

♦ Alumina (Al₂O3)

Die von der Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhimg) produzierten Präzisionskeramikteile können aus keramischen Rohstoffen mit hoher Purity, 92 ~ 97% Aluminiumoxid, 99,5% Aluminiumoxid,> 99,9% Alumina und CIP-Kaltisostat-Presse hergestellt werden. Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, dimensionale Genauigkeit von ± 0,001 mm, Glätte bis Ra0,1, verwenden Sie die Temperatur von bis zu 1600 Grad. Verschiedene Farben der Keramik können gemäß den Anforderungen der Kunden hergestellt werden, wie z.

In einer Vielzahl von Halbleiterproduktionsanlagen häufig verwendet: Frames (Keramikhalterung), Substrat (Basis), Arm/ Brücke (Manipulator), mechanische Komponenten und Keramikluftlager.

Anwendung von Alumina -Keramik mit hoher Reinheit:
1. auf Halbleiterausrüstung aufgetragen: Keramikvakuum, Schneidscheibe, Reinigungsscheibe, Keramik -Laune.
2. Waffentransferteile: Waffelhandhabung, Waferschneidscheiben, Waferreinigungsscheiben, optische Wafer -Inspektionssaugerbecher.
3..
4. Optische Kommunikation, Solarindustrie: Keramikrohre, Keramikstangen, Circuit Board Screen -Drucker -Keramikschaber.
5. Wärmefeste und elektrisch isolierende Teile: Keramiklager.
Gegenwärtig können Aluminiumoxidkeramik in eine hohe Reinheit und gemeinsame Keramik unterteilt werden. Die Serie mit hoher Reinheitaluminiumoxidkeramik bezieht sich auf das Keramikmaterial, das mehr als 99,9% Al₂o₃ enthält. Aufgrund seiner Sintertemperatur von bis zu 1650 bis 1990 ° C und seiner Transmissionswellenlänge von 1 ~ 6 & mgr; m wird es normalerweise in fusioniertes Glas anstelle von Platin -Tiegel verarbeitet, das aufgrund seiner Lichtübertragung und Korrosionsbeständigkeit gegen Alkali -Metall als Natriumrohr verwendet werden kann. In der Elektronikindustrie kann es als hochfrequentes Isoliermaterial für IC-Substrate verwendet werden. Nach verschiedenen Inhalten von Aluminiumoxid kann die gemeinsame Aluminiumoxid -Keramikserie in 99 Keramik, 95 Keramik, 90 Keramik und 85 Keramik unterteilt werden. Manchmal werden die Keramik mit 80% oder 75% Aluminiumoxid auch als gemeinsame Aluminiumoxid -Keramik -Serie klassifiziert. Unter ihnen wird 99 Aluminiumoxid-Keramikmaterial verwendet, um Hochtemperatur-Tiegel, feuerfeste Ofenrohr und spezielle Verschleißmaterialien wie Keramiklager, Keramikdichtungen und Ventilplatten herzustellen. 95 Aluminiumkeramik wird hauptsächlich als korrosionsbeständiges Verschleißenteil verwendet. 85 Keramik wird in einigen Eigenschaften oft gemischt, wodurch die elektrische Leistung und mechanische Festigkeit verbessert wird. Es kann Molybdän, Niob, Tantal und andere Metalldichtungen verwenden, und einige werden als elektrische Vakuumgeräte verwendet.

* MGO ist nicht in der Berechnung der Reinheit von Al₂o₃ enthalten.
* Kein Skalierungspulver 29,4mpa (300 kg/cm²), die Sintertemperatur beträgt 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Fügen Sie 0,05 ~ 0,1% MGO hinzu, die Sinterabilität ist ausgezeichnet, daher gilt sie für Aluminiumoxidkeramik mit einer Reinheit von mehr als 99%.
AES-22S: gekennzeichnet durch eine hohe Formdichte und eine niedrige schrumpfende Sinterrate, gilt es für Slip-Form-Gießen und andere groß angelegte Produkte mit der erforderlichen Genauigkeit.
AES-23 / AES-31-03: Es hat eine höhere Formdichte, Thixotropie und eine geringere Viskosität als AES-22s. Ersteres wird an Keramik gewöhnt, während letzteres als Wasserreduzierer für feuerfeste Materialien verwendet wird und an Popularität gewinnt.