♦Aluminiumoxid (Al2O3)
Die von der ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) hergestellten Präzisionskeramikteile können aus hochreinen Keramikrohstoffen, 92–97 % Aluminiumoxid, 99,5 % Aluminiumoxid, >99,9 % Aluminiumoxid und kaltisostatischem CIP-Pressen hergestellt werden.Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung, Maßgenauigkeit von ± 0,001 mm, Glätte bis zu Ra0,1, Einsatztemperatur bis zu 1600 Grad.Je nach Kundenwunsch können verschiedene Keramikfarben hergestellt werden, z. B. Schwarz, Weiß, Beige, Dunkelrot usw. Die von unserem Unternehmen hergestellten Präzisionskeramikteile sind beständig gegen hohe Temperaturen, Korrosion, Verschleiß und Isolierung und können dies auch tun lange Zeit in Umgebungen mit hohen Temperaturen, Vakuum und korrosiven Gasen verwendet.
Wird häufig in einer Vielzahl von Halbleiterproduktionsgeräten verwendet: Rahmen (Keramikhalterung), Substrat (Basis), Arm/Brücke (Manipulator), mechanische Komponenten und keramische Luftlager.
Produktname | Hochreines 99-Aluminiumoxid-Keramik-Vierkantrohr/Rohr/Stab | |||||
Index | Einheit | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Dichte | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Wasseraufnahme | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintertemperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Härte | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Biegefestigkeit (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Druckfestigkeit | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Langzeitarbeitstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max.Arbeitstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumenwiderstand | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Anwendung von hochreiner Aluminiumoxidkeramik:
1. Wird auf Halbleitergeräte angewendet: Keramik-Vakuumspannfutter, Trennscheibe, Reinigungsscheibe, Keramikspannfutter.
2. Wafer-Transferteile: Wafer-Handhabungsspannfutter, Wafer-Schneidscheiben, Wafer-Reinigungsscheiben, Saugnäpfe für die optische Wafer-Inspektion.
3. LED-/LCD-Flachbildschirmindustrie: Keramikdüse, Keramikschleifscheibe, LIFT PIN, PIN-Schiene.
4. Optische Kommunikation, Solarindustrie: Keramikrohre, Keramikstäbe, Leiterplatten-Siebdruck-Keramikschaber.
5. Hitzebeständige und elektrisch isolierende Teile: Keramiklager.
Derzeit kann Aluminiumoxidkeramik in hochreine und gewöhnliche Keramik unterteilt werden.Die hochreine Aluminiumoxid-Keramikserie bezieht sich auf das Keramikmaterial, das mehr als 99,9 % Al₂O₃ enthält.Aufgrund seiner Sintertemperatur von bis zu 1650 - 1990 °C und seiner Transmissionswellenlänge von 1 ~ 6 μm wird es üblicherweise zu geschmolzenem Glas anstelle von Platintiegeln verarbeitet: Dieses kann aufgrund seiner Lichtdurchlässigkeit und Korrosionsbeständigkeit als Natriumrohr verwendet werden Alkalimetall.In der Elektronikindustrie kann es als Hochfrequenz-Isoliermaterial für IC-Substrate verwendet werden.Je nach Gehalt an Aluminiumoxid kann die gängige Aluminiumoxid-Keramikserie in 99 Keramiken, 95 Keramiken, 90 Keramiken und 85 Keramiken unterteilt werden.Manchmal werden Keramiken mit 80 % oder 75 % Aluminiumoxid auch als gewöhnliche Aluminiumoxid-Keramikserien klassifiziert.Darunter wird 99 Aluminiumoxid-Keramikmaterial zur Herstellung von Hochtemperaturtiegeln, feuerfesten Ofenrohren und speziellen verschleißfesten Materialien wie Keramiklagern, Keramikdichtungen und Ventilplatten verwendet.95 Aluminiumkeramik wird hauptsächlich als korrosionsbeständiges, verschleißfestes Teil verwendet.85 Keramiken werden häufig in einigen Eigenschaften gemischt, wodurch die elektrische Leistung und die mechanische Festigkeit verbessert werden.Es können Molybdän-, Niob-, Tantal- und andere Metalldichtungen verwendet werden, und einige werden als elektrische Vakuumgeräte verwendet.
Qualitätsartikel (repräsentativer Wert) | Produktname | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Chemische Zusammensetzung, natriumarmes, leicht sinterbares Produkt | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Mittlerer Partikeldurchmesser (MT-3300, Laseranalyseverfahren) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Kristallgröße | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Umformdichte** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sinterdichte** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Schrumpfungsrate der Sinterlinie** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO wird bei der Berechnung der Reinheit von Al₂O₃ nicht berücksichtigt.
* Kein Zunderpulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), Sintertemperatur beträgt 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Fügen Sie 0,05 ~ 0,1 % MgO hinzu, die Sinterfähigkeit ist ausgezeichnet, sodass es auf Aluminiumoxidkeramik mit einer Reinheit von mehr als 99 % anwendbar ist.
AES-22S: Es zeichnet sich durch eine hohe Formdichte und eine geringe Schrumpfungsrate der Sinterlinie aus und eignet sich für Gleitformguss und andere großformatige Produkte mit der erforderlichen Maßgenauigkeit.
AES-23 / AES-31-03: Es hat eine höhere Formdichte, Thixotropie und eine niedrigere Viskosität als AES-22S.Ersteres wird für Keramik verwendet, während letzteres als Wasserreduzierer für feuerfeste Materialien verwendet wird und immer beliebter wird.
♦Eigenschaften von Siliziumkarbid (SiC).
Allgemeine Charakteristiken | Reinheit der Hauptkomponenten (Gew.-%) | 97 | |
Farbe | Schwarz | ||
Dichte (g/cm³) | 3.1 | ||
Wasseraufnahme (%) | 0 | ||
Mechanische Eigenschaften | Biegefestigkeit (MPa) | 400 | |
Young-Modul (GPa) | 400 | ||
Vickershärte (GPa) | 20 | ||
Thermische Eigenschaften | Maximale Betriebstemperatur (°C) | 1600 | |
Wärmeausdehnungskoeffizient | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Wärmeleitfähigkeit (W/m x K) | 130 110 | ||
Thermoschockbeständigkeit ΔT (°C) | 300 | ||
Elektrische Eigenschaften | Volumenwiderstand | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektrizitätskonstante | 10 GHz | - | |
Dielektrischer Verlust (x 10-4) | - | ||
Q-Faktor (x 104) | - | ||
Dielektrische Durchschlagsspannung (KV/mm) | - |
♦Siliziumnitrid-Keramik
Material | Einheit | Si₃N₄ |
Sintermethode | - | Gasdruckgesintert |
Dichte | g/cm³ | 3.22 |
Farbe | - | Dunkelgrau |
Wasseraufnahmerate | % | 0 |
Junger Modul | Gpa | 290 |
Vickers-Härte | Gpa | 18 - 20 |
Druckfestigkeit | Mpa | 2200 |
Biegefestigkeit | Mpa | 650 |
Wärmeleitfähigkeit | W/mK | 25 |
Wärmeschockbeständigkeit | Δ (°C) | 450 - 650 |
Maximale Betriebstemperatur | °C | 1200 |
Volumenwiderstand | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrizitätskonstante | - | 8.2 |
Spannungsfestigkeit | kV/mm | 16 |