Ultrapräzise Granitbasis für Waferinspektion und Metrologie

1. Überlegene Materialwissenschaft: ZHHIMG® Schwarzer Granit

Im Gegensatz zu herkömmlichem Granit oder, schlimmer noch, minderwertigem Marmor, der von weniger skrupellosen Herstellern verwendet wird, werden die Sockel von ZHHIMG ausschließlich aus unserem firmeneigenen ZHHIMG® Black Granit gefertigt.

● Außergewöhnliche Dichte: Unser Material zeichnet sich durch eine beeindruckende Dichte von ≈ 3100 kg/m³ aus, die vielen herkömmlichen schwarzen Graniten aus Europa und Amerika überlegen ist.

● Thermische Stabilität: Die hohe Dichte und die minimale Wasseraufnahme gewährleisten eine hervorragende Dimensionsstabilität und reduzieren die Auswirkungen der thermischen Drift während kritischer Inspektionszyklen drastisch.

● Schwingungsdämpfung: Die natürliche Mineralstruktur bietet eine hervorragende interne Dämpfung, die für die Isolierung empfindlicher Optiken und Sensoren vor externen Vibrationen unerlässlich ist.

2. Unübertroffene Fertigungs- und Montagekapazitäten

Unser Anspruch an Präzision lässt sich mit unserer Grundüberzeugung zusammenfassen: „Das Präzisionsgeschäft darf nicht zu anspruchsvoll sein.“

● Meisterhafte Handwerkskunst: Unsere Sockel werden von erfahrenen Technikern, viele davon mit über 30 Jahren Erfahrung, von Hand geläppt. Sie erreichen eine Oberflächenebenheit und Parallelität bis in den Nanometerbereich – Präzision, die mit Renishaw Laser-Interferometern und WYLER-Elektronik-Nivelliergeräten überprüft wird.

● Kontrollierte Umgebung: Die Bearbeitung und Endmontage erfolgen in unserem 10.000 m² großen, temperatur- und feuchtigkeitskontrollierten Reinraum (der die strengen Bedingungen einer Halbleiterfertigung simuliert). Diese Anlage verfügt über ein 1000 mm dickes Betonfundament und 2000 mm tiefe Antivibrationsgräben, die eine absolut stabile Messumgebung gewährleisten.

3. Integriertes Präzisionsdesign (siehe Abbildung)

Die Basis wird typischerweise als komplexe Baugruppe geliefert, die oft Folgendes umfasst:

● L-förmige/Gantry-Strukturen: Entwickelt, um die vertikale Bewegung (Z-Achse) von Bildgebungsköpfen zu unterstützen und dabei Orthogonalität und geometrische Genauigkeit zu gewährleisten.

● Präzisionsnuten und -einsätze: Vorbearbeitete Oberflächen mit Gewindeeinsätzen aus Stahl und Präzisions-Dübellöchern zur Montage von Luftlagern, Linearmotoren (XY-Tisch), Bildverarbeitungssystemen und Führungsschienen (THK, HIWIN, Rexroth).

● Kundenspezifische Anpassung: Wir sind auf die Bearbeitung großer Werkstücke spezialisiert und können monolithische Granitfundamente mit einer Länge von bis zu 20 m und einem Gewicht von bis zu 100 Tonnen liefern, die präzise auf Ihre Anlagengröße zugeschnitten sind.