Jenseits der Maschine: Ein Blick in die 10.000 m² große vibrationsfreie Werkstatt von ZHHIMG

Was man nicht messen kann, kann man nicht herstellen. Das ist ein Grundsatz von ZHHIMG®. Doch selbst die besten Messinstrumente versagen, wenn die Umgebungsbedingungen nicht mitspielen.

Deshalb haben wir massiv in eine 10.000 m² große Werkstatt mit konstanter Temperatur und Luftfeuchtigkeit investiert. Aber wir haben nicht einfach nur einen Standard-Reinraum gebaut. Wir haben eine Festung gegen Vibrationen errichtet.
Der Boden besteht aus mindestens 1000 mm dickem, extrem hartem Beton. Um die gesamte Werkstatt herum verläuft ein massiver Antivibrationsgraben – 500 mm breit und 2000 mm tief. Im Inneren setzen wir geräuscharme Laufkräne ein, um mechanische Geräusche zu vermeiden. Wir verfügen sogar über einen separaten, staubfreien Montageraum, der die Bedingungen in der Halbleiterfertigung simuliert.
Warum dieser Aufwand? Weil Präzision zerbrechlich ist. Wenn man eine Ebenheit im Nanometerbereich anstrebt, …Granit-OberflächenplatteEin vorbeifahrender Gabelstapler oder eine geringfügige Temperaturänderung können die Kalibrierung beeinträchtigen. Unsere Messanordnung gewährleistet jedoch, dass die Messwerte unserer Techniker bei Verwendung deutscher Mahr-Messuhren (0,5 µm) oder Renishaw-Laserinterferometer hundertprozentig genau sind.
Bei ZHHIMG® glauben wir, dass wir nur dann das Beste für unsere Kunden liefern können, wenn wir von unserer Umwelt das Beste fordern.Halbleiter-Metrologie

Veröffentlichungsdatum: 23. Juni 2026