Granit-Luftlagersysteme werden in großem Umfang eingesetzt inUltrapräzisionBewegungsplattformen für die Halbleiterfertigung, optische Ausrichtung und Metrologie im Nanometerbereich.
Diese Systeme eliminieren den mechanischen Kontakt durch die Verwendung eines dünnen Druckluftfilms und erreichen so eine nahezu reibungslose Bewegung.
Luftlagerprinzip
Luftlager funktionieren, indem Druckluft zwischen zwei Oberflächen eingeleitet wird, wodurch ein 2–20 μm dicker Luftfilm entsteht.
Dies eliminiert:
- Mechanische Reibung
- Tragen
- Stick-Slip-Verhalten
Das System basiert auf der Dynamik von Flüssigkeitsfilmen und einer stabilen laminaren Strömung.
Die Rolle des Granits
Granit bietet:
- Strukturelle Stabilität
- Unterdrückung der thermischen Drift
- Schwingungsdämpfung
Sie dient als mechanische Bezugsbasis für das Bewegungssystem.
Systemkomponenten
- Granitsockel
- Luftlager
- Luftversorgungssystem
- Präzisions-Encoder
- Bewegungssteuerungssystem
Leistungsmerkmale
Typische Leistungsmerkmale umfassen:
- Submikron-Positionierungsgenauigkeit
- Hohe Geradlinigkeit über lange Strecken
- Null mechanisches Spiel
Zu den wichtigsten Fehlerquellen zählen Luftdruckinstabilität, thermische Drift und Encoderfehler.
Anwendungen
- Halbleiterwafer-Inspektion
- Lithographiesysteme
- Optische Ausrichtungsplattformen
- Hochwertige Messtechnikgeräte
Häufig gestellte Fragen
Verschleißen Luftlager?
Durch den fehlenden mechanischen Kontakt wird Verschleiß vermieden.
Warum Granit verwenden?
Zur Stabilisierung und Schwingungsdämpfung.
Was begrenzt die Genauigkeit?
Luftstabilität und thermische Effekte.
Können sie schwere Lasten tragen?
Ja, das hängt von der Ausführung ab.
Veröffentlichungsdatum: 03.07.2026