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Ist Präzisionsgranit das beste Material für Halbleiterlithografie-Komponenten?

Aufgrund seiner nichtmagnetischen Eigenschaften, seiner hohen Steifigkeit und seiner nahezu verschwindenden Wärmeausdehnung ist Präzisionsgranit das ideale Material, um Präzision im Nanometerbereich in der Lithographie und Metrologie zu gewährleisten.

Nichtmagnetische und chemische Stabilität

In den hochintensiven elektromagnetischen Umgebungen der Halbleiterfertigung,GranitkomponentenGranit verhindert Störungen aufgrund seiner nichtmagnetischen Eigenschaften. Darüber hinaus ist Granit chemisch inert, gibt keine Gase ab und produziert keine Partikel, wodurch er sich ideal für Reinräume der ISO-Klasse 1 eignet.

Höchste physikalische Steifigkeit und Kriechfestigkeit

Der von ZHHIMG ausgewählte hochdichte schwarze Granit zeichnet sich durch extreme Härte aus. Unter Langzeitbelastung zeigt er praktisch kein physikalisches Kriechen und bietet somit eine dauerhaft stabile Grundlage für XY-Tische. Dies gewährleistet über Jahre hinweg eine gleichbleibende und wiederholgenaue Positioniergenauigkeit.

Natürlicher Vorteil bei der Wärmeausdehnung

Halbleiterprozesse reagieren äußerst empfindlich auf Wärme. Der niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient von Granit kompensiert die von Präzisionsmotoren erzeugte Wärme. In Kombination mit unserer hochpräzisen Bearbeitung gewährleistet dies, dass die Bauteile ihre geometrische Integrität auch bei unterschiedlichen Betriebstemperaturen beibehalten.

Granitbauteile mit hoher Stabilität

Materialleistungsmatrix

Eigentum Schwarzer Granit (Jinan Black) Hochleistungskeramik Aluminiumlegierung
Dichte (g/cm³) 3.07 3,6 – 3,9 2.7
Elastizitätsmodul (GPa) 95 – 100 Mehr als 300 70
Wärmeausdehnung 5,0 – 7,0 (10⁻⁶/K) 4,0 – 8,0 23.0

Häufig gestellte Fragen: Präzisionsgranit

  1. Warum sollte man sich für „schwarzen“ Granit entscheiden? Er hat eine höhere Dichte, eine geringere Wasseraufnahme und eine bessere Stabilität als grauer Granit.

  2. Welche Präzisionsgüten bieten Sie an? Wir fertigen bis zur Norm DIN 876 Güteklasse 000.

  3. Was ist die maximale Größe? ZHHIMG kann Einzelstücke mit einer Länge von bis zu 12 Metern bearbeiten.

  4. Wie pflege ich Granitbauteile? Verwenden Sie spezielle pH-neutrale Reiniger und vermeiden Sie den Kontakt mit sauren Substanzen.

  5. Können Sie Löcher für Einsätze bohren? Ja, wir bieten Präzisionsbohrungen und sekundäre Verklebungen für Edelstahleinsätze an.

  6. Ist es für den Einsatz im Vakuum geeignet? Absolut, natürlicher Granit gibt unter Vakuumbedingungen keine Gase ab.

Veröffentlichungsdatum: 29. Mai 2026